ເຄື່ອງບົດເວເຟີ DISCO DFG8541

DISCO DFG8541 ເປັນເຄື່ອງບົດອັດຕະໂນມັດຢ່າງຄົບຖ້ວນທີ່ພັດທະນາຂຶ້ນເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການບາງແຜ່ນເວເຟີສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 8 ນິ້ວ ແລະ ນ້ອຍກວ່າ. ເປັນການຍົກລະດັບຈາກລຸ້ນກ່ອນ, DFG8540 ທີ່ຂາຍດີທີ່ສຸດ, ມັນສາມາດວາງຕຳແໜ່ງເປັນ "ຮຸ່ນຫຼັກສຳລັບການບາງແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 8 ນິ້ວ", ທີ່ມີຊື່ສຽງໃນດ້ານຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ຄວາມສະອາດສູງ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ດີເລີດ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນເໝາະສົມສຳລັບການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸແຂງ ແລະ ແຕກຫັກງ່າຍເຊັ່ນ: ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC).

ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນການແນະນຳລະອຽດກ່ຽວກັບຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງມັນ, ໜ້າທີ່ຫຼັກ, ສະເປັກ ແລະ ມູນຄ່າຕະຫຼາດ.

ຫຼັກການເຮັດວຽກ: ການຮ່ວມມືກັນແບບ Dual-Core ຂອງປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາ

DFG8541 ຮັບຮອງເອົາສະຖາປັດຕະຍະກຳ "dual-spindle, three-suction-cup".

ແບ່ງວຽກຢ່າງຈະແຈ້ງ: ແກນໝູນໜຶ່ງມີລໍ້ບົດຫຍາບເພື່ອເອົາວັດສະດຸຫຼັກອອກຈາກດ້ານຫຼັງຂອງແຜ່ນແພໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ; ແກນໝູນອີກອັນໜຶ່ງມີລໍ້ບົດລະອຽດເພື່ອຂັດໜ້າຜິວໃຫ້ລະອຽດ, ບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບສຸດທ້າຍທີ່ລຽບ, ຮາບພຽງ ແລະ ບໍ່ເສຍຫາຍ.

ຂະບວນການທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ: ແຜ່ນເວເຟີຖືກດູດຊຶມດ້ວຍສູນຍາກາດໃສ່ໂຕະເຮັດວຽກ. ຜ່ານການວາງແຜນຂະບວນການທີ່ຊັດເຈນ, ຂະບວນການເຮັດວຽກແບບອັດຕະໂນມັດຢ່າງຄົບຖ້ວນ "ການໜີບຄັ້ງດຽວ, ການປະມວນຜົນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ" ຈະບັນລຸໄດ້, ຫຼີກລ່ຽງຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກການໂອນວັດສະດຸລະຫວ່າງອຸປະກອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ ແລະ ບົດບາດ: ນອກເໜືອໄປຈາກຊິລິໂຄນ

ໃນຖານະທີ່ເປັນອຸປະກອນທົ່ວໄປ, ມັນມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂະແໜງການເຄິ່ງຕົວນຳລຸ້ນທີສາມ.

ໜ້າວຽກຫຼັກ: ການເຮັດໃຫ້ແຜ່ນບາງໆ (Si/SiC) ຂະໜາດ 8 ນິ້ວ ແລະ ນ້ອຍກວ່າ ເພື່ອຄວາມໜາເປົ້າໝາຍ, ຮັບປະກັນຄວາມສະເໝີພາບຂອງຄວາມໜາທີ່ດີເລີດ (TTV), ແລະ ກຳຈັດຊັ້ນຄວາມເສຍຫາຍຂອງພື້ນຜິວທີ່ເກີດຈາກຂະບວນການກ່ອນໜ້ານີ້.

ຫຼັກທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາ: ໂດຍການເລືອກ spindle ທີ່ມີແຮງບິດສູງ, DFG8541 ສາມາດປະມວນຜົນວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມແຂງສູງພິເສດເຊັ່ນ SiC ໄດ້ຢ່າງໝັ້ນຄົງ. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນຫຼັກທີ່ວ່າເປັນຫຍັງມັນຈຶ່ງໄດ້ຮັບຄວາມນິຍົມຫຼາຍໃນຕະຫຼາດ power semiconductor ໃນປະຈຸບັນ.

ພາບລວມຂອງພາລາມິເຕີຫຼັກ

ໝວດໝູ່ພາລາມິເຕີ | ລາຍລະອຽດສະເພາະ

ຊິ້ນສ່ວນເຮັດວຽກທີ່ໃຊ້ໄດ້: Φ8 ນິ້ວ (200 ມມ) ແລະຕ່ຳກວ່າ; ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບແຜ່ນເວເຟີ Φ4, 5, 6, ແລະ 8 ນິ້ວໂດຍໃຊ້ຫົວຈັບທົ່ວໄປ

ວິທີການຂັດ: ການຂັດໃນອາຫານແບບໝຸນຕາມລວງຍາວ

ການຕັ້ງຄ່າແກນ: ແກນຄູ່ (2 ແກນ), ແກນແບຣິ່ງໄຮໂດຣສະຖິດອາກາດ (ມາດຕະຖານ)

ຄວາມໄວຂອງແກນໝູນ: 1,000 - 7,000 rpm

ພະລັງງານ Spindle: ມາດຕະຖານ 4.2 kW

ການຕັ້ງຄ່າໂຕະເຮັດວຽກ: ສາມໂຕະເຮັດວຽກ (3 ໂຕະ chuck)

ລາຍລະອຽດຂອງລໍ້ຂັດ: ລໍ້ຂັດເພັດຂະໜາດ Φ200 ມມ

ຂະໜາດອຸປະກອນ (ກວ້າງ x ເລິກ x ສູງ): ປະມານ 1,100 × 2,800 × 1,800 ມມ

ນ້ຳໜັກອຸປະກອນ: ປະມານ 3,000 ກິໂລກຣາມ

ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ຄຸນສົມບັດຕ່າງໆ

DFG8541 ເປັນຕົວແທນໃຫ້ແກ່ການຍົກລະດັບທີ່ສຳຄັນຈາກ DFG8540.

ຄຸນສົມບັດ/ໜ້າທີ່ ລາຍລະອຽດ

ຄວາມສາມາດໃນການທຳຄວາມສະອາດທີ່ດີເລີດ: ຫົວສີດສອງຫົວຫຼາຍສະຖານີ: ເມື່ອປຽບທຽບກັບການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍອາກາດ-ນ້ຳແບບດັ້ງເດີມ, ສິ່ງນີ້ຈະຊ່ວຍກຳຈັດອະນຸພາກຝຸ່ນລະອຽດທີ່ຕິດຢູ່ກັບແຜ່ນແພຫຼັງຈາກການບົດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ເທັກໂນໂລຢີນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນສະຖານີເຮັດວຽກຫຼັກເຊັ່ນ: ຈອກດູດ ແລະ ຊິ້ນວຽກ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການແຕກຫັກຂອງແຜ່ນແພບາງໆໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ການຈັດລຽນແບບບໍ່ສຳຜັດ: ໃຊ້ກ້ອງຖ່າຍຮູບເພື່ອຊອກຫາຈຸດໃຈກາງຂອງແຜ່ນແພ, ປ່ຽນການສຳຜັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ກຳຈັດຮອຍຂີດຂ່ວນ ຫຼື ຄວາມເສຍຫາຍຂອງຂອບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຈັດລຽນ.

ການຜະລິດທີ່ສະຫຼາດ: ສູດຕໍ່ແຜ່ນເວເຟີ: ອະນຸຍາດໃຫ້ແຜ່ນເວເຟີທີ່ແຕກຕ່າງກັນພາຍໃນເທບແຜ່ນເວເຟີດຽວກັນຖືກປະມວນຜົນໂດຍອັດຕະໂນມັດຕາມສູດທີ່ຕັ້ງໄວ້ລ່ວງໜ້າ (ຄວາມໜາຂອງການບົດ, ຄວາມໄວ, ແລະອື່ນໆ), ປັບຕົວໄດ້ຢ່າງສົມບູນແບບກັບການຜະລິດຫຼາຍຊະນິດ, ການຜະລິດເປັນກຸ່ມນ້ອຍ.

ໜ້າທີ່ປ້ອງກັນແຜ່ນເວເຟີ: ປະສົມປະສານກົນໄກການປົກປ້ອງຫຼາຍຢ່າງ, ລວມທັງການສ້າງແຜນທີ່ແຜ່ນເວເຟີ (ຕ້ານການບໍ່ສອດຄ່ອງ/ແຜ່ນເວເຟີຫວ່າງເປົ່າ), ການກວດສອບຄວາມໜາກ່ອນ (ຕ້ານເທບຄູ່), ແລະ ການຮັກສາສູນຍາກາດ (ສັນຍານເຕືອນໄຟດັບກະທັນຫັນ), ຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພຂອງແຜ່ນເວເຟີມູນຄ່າສູງ.

ການແກ້ໄຂການອຽງທີ່ສາມາດປັບໄດ້ດ້ວຍໄຟຟ້າ: ການອຽງຂອງຈອກດູດສາມາດປັບໄດ້ດ້ວຍໄຟຟ້າຜ່ານຄ່າຕ່າງໆໃນໜ້າຈໍ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຮູບຮ່າງການປະມວນຜົນດີຂຶ້ນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ຢຸດເຮັດວຽກດ້ວຍຕົນເອງສຳລັບການປັບທຽບ.

ການໃຊ້ງານທີ່ດີຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ: GUI ໜ້າຈໍໃຫຍ່ກວ່າ 19 ນິ້ວ: ເມື່ອປຽບທຽບກັບໜ້າຈໍ 15 ນິ້ວຂອງ DFG8540, ໜ້າຈໍບໍ່ພຽງແຕ່ໃຫຍ່ກວ່າເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງມີອິນເຕີເຟດຜູ້ໃຊ້ແບບກຣາບຟິກທີ່ເຂົ້າໃຈງ່າຍອີກດ້ວຍ.

ການບຳລຸງຮັກສາທີ່ດີທີ່ສຸດ: ໂຄງສ້າງການທຳຄວາມສະອາດພາຍໃນທີ່ດີຂຶ້ນເຮັດໃຫ້ການບຳລຸງຮັກສາງ່າຍຂຶ້ນ.

ປະຫຍັດພະລັງງານ ແລະ ການອອກແບບທີ່ກະທັດຮັດ: ແກນໝູນວຽນອາກາດແບບໃໝ່ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການໃຊ້ອາກາດລົງ 50%; ການອອກແບບປໍ້າສູນຍາກາດໃນຕົວຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຮອຍຕີນລົງ 15% ເມື່ອທຽບກັບລຸ້ນກ່ອນ, ເຊິ່ງບັນລຸການປະຫຍັດສິ່ງແວດລ້ອມທັງໃນດ້ານຮາດແວ ແລະ ການດຳເນີນງານ.

ການວາງຕຳແໜ່ງ ແລະ ມູນຄ່າຂອງຕະຫຼາດ: ເມື່ອປຽບທຽບກັບ DGP8761 ລຸ້ນເຮືອທຸງທີ່ແນໃສ່ຕະຫຼາດຂະໜາດ 12 ນິ້ວ, DFG8541 ສຸມໃສ່ຕະຫຼາດຂະໜາດ 8 ນິ້ວຫຼາຍກວ່າ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄື່ອງເຮືອທຸງທີ່ "ມີປະສິດທິພາບສູງ, ປະຫຍັດຕົ້ນທຶນ" ທົ່ວໄປ:

ການວາງຕຳແໜ່ງປະສິດທິພາບ: DFG8541 ແມ່ນມາດຕະຖານປະສິດທິພາບສຳລັບເຄື່ອງບົດຂະໜາດ 8 ນິ້ວ. ໂດຍການເລືອກແກນໝຸນທີ່ມີແຮງບິດສູງ, ມັນສາມາດເອົາຊະນະສິ່ງທ້າທາຍທີ່ບາງລົງຂອງວັດສະດຸແຂງ ແລະ ແຕກຫັກງ່າຍເຊັ່ນ SiC ໄດ້ຢ່າງສຳເລັດຜົນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມີຄວາມໄດ້ປຽບຢ່າງແທ້ຈິງໃນຕະຫຼາດຂະໜາດ 8 ນິ້ວ.

ມູນຄ່າການລົງທຶນ: ເປັນການຍົກລະດັບທີ່ໝັ້ນຄົງໄປສູ່ເວທີທີ່ເຕີບໃຫຍ່ເຕັມທີ່, ມັນມີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນດ້ານການດຳເນີນງານທີ່ໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ ແລະ ຜົນຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ຄວາມສ່ຽງຕ່ຳ, ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖືສຳລັບການລົງທຶນໃນອຸປະກອນສາຍການຜະລິດຂະໜາດ 8 ນິ້ວ. ມະຫາວິທະຍາໄລຊັ້ນນຳພາຍໃນປະເທດ (ເຊັ່ນ: ມະຫາວິທະຍາໄລ Xi'an Jiaotong) ໄດ້ຊື້ອຸປະກອນນີ້ແລ້ວສຳລັບການຄົ້ນຄວ້າທີ່ທັນສະໄໝ.

ຂໍ້ກຳນົດການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ການຕິດຕັ້ງ: ເພື່ອຮັບປະກັນການດຳເນີນງານທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳສູງໃນໄລຍະຍາວຂອງ DFG8541, ການປະຕິບັດຕາມຂໍ້ກຳນົດຂອງ DISCO ສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມການຕິດຕັ້ງແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນຢ່າງເຂັ້ມງວດ:

ຄວາມສະອາດຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ: ຕ້ອງຕິດຕັ້ງໃນຫ້ອງທີ່ມີຄວາມສະອາດສູງ. ອຸນຫະພູມອາກາດຕ້ອງຄົງທີ່ຢູ່ທີ່ 20-25°C, ໂດຍມີການຄວບຄຸມຄວາມຜັນຜວນພາຍໃນ ±1°C. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສຳພັດຕ້ອງຕ່ຳກວ່າ 55%.

ແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟ:

ອາກາດອັດ: ຕ້ອງການອາກາດອັດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ສະອາດ, ແຫ້ງ, ແລະ ບໍ່ມີນໍ້າມັນ ທີ່ມີຄວາມດັນ 0.5 MPa ຫຼື ສູງກວ່າ.

ໄຟຟ້າ: ຕ້ອງການແຫຼ່ງພະລັງງານສາມເຟສທີ່ກົງກັບຄວາມຕ້ອງການພະລັງງານຂອງອຸປະກອນ.

ນ້ຳເຢັນ: ນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ (ນ້ຳ DI) ທີ່ມີອັດຕາການໄຫຼທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ອຸນຫະພູມຄົງທີ່ແມ່ນຈຳເປັນສຳລັບການເຮັດຄວາມເຢັນຂອງແກນ. ອຸນຫະພູມຂອງນ້ຳໂດຍທົ່ວໄປຄວນຈະກົງກັບອຸນຫະພູມຫ້ອງໂດຍມີການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໜ້ອຍທີ່ສຸດ.

ການກວດກາ ແລະ ປ່ຽນລໍ້ບົດເປັນປະຈຳ, ການທຳຄວາມສະອາດຫົວສູບສູນຍາກາດ, ແລະ ການຮັກສາແກນລະບາຍອາກາດແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ການຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ ແລະ ຮັບປະກັນຜົນຜະລິດໃນການປຸງແຕ່ງ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, DISCO DFG8541 ເປັນໂຊລູຊັ່ນການຫຼຸດຄວາມບາງຂອງແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 8 ນິ້ວທີ່ມີຄວາມຍືນຍົງ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖື. ມັນບັນລຸປະສິດທິພາບຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາໃນຂົງເຂດຫຼັກຂອງມັນ ແລະ ໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດສໍາລັບລະບົບອັດຕະໂນມັດ, ຄວາມສະອາດ ແລະ ຄວາມສະດວກໃນການນໍາໃຊ້ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ.