Broyeur à plaquettes DISCO DFG8541

La rectifieuse DISCO DFG8541 est une machine entièrement automatisée conçue pour répondre aux besoins d'amincissement des plaquettes de 8 pouces et moins. Version améliorée de son prédécesseur, la DFG8540, modèle à succès, elle s'impose comme une référence pour l'amincissement des plaquettes de 8 pouces. Reconnue pour sa haute précision, sa propreté et son excellente stabilité, elle est particulièrement adaptée au traitement de matériaux durs et fragiles tels que le carbure de silicium (SiC).

Vous trouverez ci-dessous une présentation détaillée de son principe de fonctionnement, de ses fonctions principales, de ses spécifications et de sa valeur marchande.

Principe de fonctionnement : synergie à double cœur entre efficacité et précision

Le DFG8541 adopte une architecture « à double broche et trois ventouses ».

Division claire du travail : une broche porte une meule à gros grain pour enlever rapidement la matière principale de l’arrière de la plaquette ; l’autre broche porte une meule à grain fin pour finir la surface avec précision, obtenant ainsi un résultat final lisse, plat et sans dommage.

Procédé hautement efficace : la plaquette est fixée sous vide sur la table de travail. Grâce à une planification précise du processus, un flux de travail entièrement automatisé de type « fixation unique, traitement continu » est obtenu, évitant ainsi les risques de contamination et de dommages liés au transfert de matériaux entre différents appareils.

Applications et rôles : au-delà du silicium

En tant que dispositif à usage général, il joue un rôle crucial dans le domaine des semi-conducteurs de troisième génération.

Tâche principale : Amincir des plaquettes de 8 pouces et moins (Si/SiC) aux épaisseurs cibles, en assurant une excellente uniformité d'épaisseur (TTV) et en éliminant les couches endommagées en surface causées par les processus précédents.

Solution émergente incontournable : grâce à sa broche à couple élevé, la DFG8541 assure un traitement stable des matériaux ultra-durs comme le SiC. C’est la principale raison de son succès sur le marché actuel des semi-conducteurs de puissance.

Aperçu des paramètres clés

Catégorie de paramètres | Spécifications spécifiques

Pièces applicables : Φ8 pouces (200 mm) et moins ; compatible avec les plaquettes de Φ4, 5, 6 et 8 pouces utilisant un mandrin universel

Méthode de broyage : Broyage rotatif longitudinal en entrée

Configuration de la broche : Broches doubles (2 axes), broche à palier hydrostatique pneumatique (standard)

Vitesse de broche : 1 000 à 7 000 tr/min

Puissance de broche : 4,2 kW (standard)

Configuration des tables de travail : Trois tables de travail (3 tables à plateaux)

Caractéristiques de la meule : Meule diamantée de 200 mm de diamètre

Dimensions de l'équipement (L x P x H) : env. 1 100 × 2 800 × 1 800 mm

Poids de l'équipement : environ 3 000 kg

Fonctions et caractéristiques principales

Le DFG8541 représente une amélioration significative par rapport au DFG8540.

Caractéristiques/Fonctions - Description détaillée

Capacités de nettoyage supérieures : Buses multi-stations à deux fluides : Comparé au nettoyage air-eau traditionnel, ce système élimine efficacement les fines particules de poussière adhérant à la plaquette après le meulage. Cette technologie est largement utilisée dans les stations de travail critiques telles que les ventouses et les pièces à usiner, réduisant ainsi le risque de casse des plaquettes fines.

Alignement sans contact : utilise une caméra pour localiser le centre de la plaquette, remplaçant ainsi le contact physique et éliminant les rayures ou les dommages aux bords pendant le processus d’alignement.

Production intelligente : Recette par plaquette : Permet de traiter automatiquement différentes plaquettes d'une même cassette selon leurs recettes prédéfinies respectives (épaisseur de meulage, vitesse, etc.), s'adaptant parfaitement à la production multivariée en petits lots.

Fonctions de protection des plaquettes : Intègre de multiples mécanismes de protection, notamment la cartographie des plaquettes (anti-désalignement/plaquette vide), la pré-inspection de l'épaisseur (anti-double ruban adhésif) et le maintien sous vide (alarme de coupure de courant soudaine), assurant la sécurité des plaquettes de grande valeur.

Correction d'inclinaison réglable électriquement : l'inclinaison de la ventouse peut être ajustée électriquement avec précision via des valeurs affichées à l'écran, optimisant ainsi la forme de traitement et réduisant les temps d'arrêt manuels pour l'étalonnage.

Ergonomie considérablement améliorée : Interface utilisateur graphique sur écran plus grand de 19 pouces : Comparé à l’écran de 15 pouces du DFG8540, l’écran est non seulement plus grand, mais il dispose également d’une interface utilisateur graphique intuitive.

Maintenance optimisée : La structure de nettoyage interne améliorée facilite la maintenance.

Économies d'énergie et conception compacte : la nouvelle broche pneumatique réduit la consommation d'air de 50 % ; la conception de la pompe à vide intégrée réduit l'encombrement de 15 % par rapport à son prédécesseur, permettant ainsi des économies écologiques tant au niveau du matériel que de l'exploitation.

Positionnement et valeur sur le marché : Comparé au modèle phare DGP8761 ciblant le marché des 12 pouces, le DFG8541 se concentre davantage sur le marché des 8 pouces, ce qui en fait une machine phare typique « haute performance et économique » :

Positionnement en matière de performances : La DFG8541 est la référence en matière de performances pour les rectifieuses de 200 mm (8 pouces). Grâce à sa broche à couple élevé, elle relève avec succès les défis de l’amincissement des matériaux durs et cassants tels que le SiC, consolidant ainsi son avantage indéniable sur le marché des rectifieuses de 200 mm (8 pouces).

Valeur de l'investissement : Évoluant de manière stable vers une plateforme éprouvée, cette solution garantit un fonctionnement stable et continu sur le long terme, ce qui en fait un choix rentable, fiable et à faible risque pour l'investissement dans une ligne de production de 8 pouces. De prestigieuses universités chinoises (telles que l'université Jiaotong de Xi'an) ont déjà acquis cet équipement pour leurs recherches de pointe.

Exigences de maintenance et d'installation : Pour garantir le fonctionnement stable et de haute précision à long terme du DFG8541, il est nécessaire de respecter scrupuleusement les exigences de DISCO en matière d'environnement d'installation :

Propreté de l'environnement : L'installation doit être réalisée en salle blanche à haute propreté. La température ambiante doit être stable entre 20 et 25 °C, avec des fluctuations maîtrisées à ±1 °C près. L'humidité relative doit généralement être inférieure à 55 %.

Alimentation électrique :

Air comprimé : De l'air comprimé de haute pureté, propre, sec et sans huile, à une pression de 0,5 MPa ou plus, est requis.

Électricité : Une alimentation triphasée correspondant aux besoins en énergie de l'équipement est nécessaire.

Eau de refroidissement : L’eau déminéralisée (eau DI) à débit stable et à température constante est nécessaire au refroidissement de la broche. Sa température doit idéalement correspondre à la température ambiante, avec des fluctuations minimales.

L'inspection et le remplacement réguliers des meules, le nettoyage des mandrins à vide et l'entretien de la broche pneumatique sont essentiels pour prolonger la durée de vie des équipements et garantir le rendement de traitement.

En résumé, la DISCO DFG8541 est une solution d'amincissement de plaquettes de 8 pouces éprouvée et fiable. Elle offre des performances de pointe dans ses domaines clés et est entièrement optimisée pour l'automatisation, la propreté et la facilité d'utilisation afin de répondre aux exigences de la production moderne.