DISCO vahvliveski DFG8541

DISCO DFG8541 on täisautomaatne lihvimismasin, mis on välja töötatud 8-tolliste ja väiksemate vahvlite õhendamise vajaduste rahuldamiseks. Oma eelkäija, enimmüüdud DFG8540, uuendusena saab seda positsioneerida kui "8-tolliste vahvlite õhendamise põhimudelit", mis on tuntud oma suure täpsuse, puhtuse ja suurepärase stabiilsuse poolest, eriti sobides kõvade ja haprate materjalide, näiteks ränikarbiidi (SiC), töötlemiseks.

Järgnevalt on üksikasjalik ülevaade selle tööpõhimõttest, põhifunktsioonidest, spetsifikatsioonidest ja turuväärtusest.

Tööpõhimõte: kahetuumaline efektiivsuse ja täpsuse sünergia

DFG8541 kasutab "kahe spindliga, kolme iminapaga" arhitektuuri.

Selge tööjaotus: Ühel spindlil on jämedateraline lihvketas põhimaterjali kiireks eemaldamiseks vahvli tagaküljelt; teisel spindlil on peenlihvketas pinna viimistlemiseks, saavutades sileda, tasase ja kahjustusteta lõpptulemuse.

Väga tõhus protsess: vahvel adsorbeeritakse vaakumis töölauale. Täpse protsessi planeerimise abil saavutatakse täisautomaatne "ühekordne kinnitus, pidev töötlemine" töövoog, vältides saastumise ja kahjustuste ohtu, mis tekivad materjalide ülekandmisel erinevate seadmete vahel.

Rakendused ja rollid: ränist kaugemale

Üldotstarbelise seadmena mängib see kolmanda põlvkonna pooljuhtide valdkonnas olulist rolli.

Põhiülesanne: 8-tolliste ja väiksemate vahvlite (Si/SiC) õhendamine sihtpaksuse saavutamiseks, tagades suurepärase paksuse ühtluse (TTV) ja eemaldades eelmiste protsesside tagajärjel tekkinud pinnakahjustuste kihid.

Tärkav tugisammas: Suure pöördemomendiga spindli valimisega suudab DFG8541 stabiilselt töödelda ülikõvasid materjale, näiteks ränikarbiidi (SiC). See on peamine põhjus, miks see on praegusel pooljuhtide turul väga populaarne.

Põhiparameetrite ülevaade

Parameetri kategooria | Spetsifikatsioonid

Sobivad toorikud: Φ8 tolli (200 mm) ja alla selle; ühildub Φ4, 5, 6 ja 8-tolliste vahvlitega, kasutades universaalset padrunit

Lihvimismeetod: pöörlev pikisuunaline lihvimine

Spindli konfiguratsioon: kaks spindlit (2 telge), õhuhüdrostaatilise laagriga spindl (standard)

Spindli kiirus: 1000–7000 p/min

Spindli võimsus: standardne 4,2 kW

Töölaua konfiguratsioon: kolm töölauda (3 padrunilauda)

Lihvketta spetsifikatsioonid: Φ200 mm teemantlihvketas

Seadme mõõtmed (L x S x K): u 1100 × 2800 × 1800 mm

Seadme kaal: Ligikaudu 3000 kg

Põhifunktsioonid ja omadused

DFG8541 kujutab endast olulist uuendust võrreldes DFG8540-ga.

Omadused/funktsioonid Üksikasjalik kirjeldus

Suurepärased puhastusvõimalused: Mitmejaamalised kahe vedelikuga pihustid: Võrreldes traditsioonilise õhk-vesi puhastusega eemaldab see tõhusalt peened tolmuosakesed, mis pärast jahvatamist kiibile kleepuvad. Seda tehnoloogiat kasutatakse laialdaselt põhitööjaamades, näiteks iminappade ja toorikute puhul, vähendades tõhusalt õhukeste kiipide purunemise ohtu.

Kontaktivaba joondamine: Kasutab kaamerat kiibi keskpunkti leidmiseks, asendades füüsilise kontakti ja kõrvaldades kriimustused või servakahjustused joondamise ajal.

Intelligentne tootmine: vahvlipõhine retsept: võimaldab samas vahvlikassettides olevaid erinevaid vahvleid automaatselt töödelda vastavalt nende vastavatele eelseadistatud retseptidele (jahvatuspaksus, kiirus jne), kohandudes ideaalselt mitme sordi ja väikepartiide tootmiseks.

Kiipide kaitsefunktsioonid: Integreerib mitu kaitsemehhanismi, sealhulgas kiipide kaardistamise (valesti joondamise/tühjade kiipide vastane), paksuse eelkontrolli (topeltlindi vastane) ja vaakumhoidmise (ootamatu voolukatkestuse alarm), tagades väärtuslike kiipide ohutuse.

Elektriliselt reguleeritav kalde korrigeerimine: Iminapa kallet saab ekraanil kuvatavate väärtuste abil elektriliselt peenhäälestada, optimeerides töötlemiskuju ja vähendades käsitsi kalibreerimiseks kuluvat seisakut.

Märkimisväärselt parem kasutatavus: 19-tolline suurem ekraan. GUI: Võrreldes DFG8540 15-tollise ekraaniga on ekraan mitte ainult suurem, vaid sellel on ka intuitiivne graafiline kasutajaliides.

Optimeeritud hooldus: Täiustatud sisemine puhastusstruktuur muudab hoolduse lihtsamaks.

Energiasääst ja kompaktne disain: Uus õhuvõll vähendab õhutarbimist 50%; sisseehitatud vaakumpumba disain vähendab jalajälge 15% võrreldes eelkäijaga, saavutades keskkonnasäästu nii riistvara kui ka töö osas.

Turupositsioon ja väärtus: Võrreldes lipulaevaga DGP8761, mis on suunatud 12-tollisele turule, keskendub DFG8541 rohkem 8-tollisele turule, muutes selle tüüpiliseks "suure jõudlusega ja kulutõhusaks" lipulaevaks:

Jõudluse positsioneerimine: DFG8541 on 8-tolliste lihvimispinkide jõudluse etalon. Suure pöördemomendiga spindli valimisega saab see edukalt hakkama kõvade ja haprate materjalide, näiteks ränikarbiidi (SiC), hõrenemisega seotud väljakutsetega, kindlustades oma absoluutse eelise 8-tolliste turul.

Investeeringu väärtus: Küpse platvormi stabiilse uuendusena on see usaldusväärne pikaajalise stabiilse töö ja pideva väljundi osas, muutes selle 8-tollise tootmisliini seadmete investeeringuks suure tõhususega, madala riskiga ja usaldusväärseks valikuks. Tipptasemel kodumaised ülikoolid (näiteks Xi'ani Jiaotongi ülikool) on selle seadme juba tipptasemel uurimistöö jaoks ostnud.

Hooldus- ja paigaldusnõuded: DFG8541 pikaajalise stabiilse ja suure täpsusega töö tagamiseks on vaja rangelt järgida DISCO nõudeid paigalduskeskkonnale:

Keskkonna puhtus: See tuleb paigaldada kõrge puhtusastmega puhasruumi. Ümbritseva õhu temperatuur peab olema stabiilne 20–25 ℃ juures, kõikumised peavad olema kontrollitud ±1 ℃ piires. Suhteline õhuniiskus peab tavaliselt olema alla 55%.

Toiteallikas:

Suruõhk: Vajalik on puhas, kuiv ja õlivaba kõrge puhtusastmega suruõhk rõhuga 0,5 MPa või kõrgem.

Elekter: Vajalik on seadme võimsusnõuetele vastav kolmefaasiline toiteallikas.

Jahutusvesi: Spindli jahutamiseks on vaja stabiilse voolukiiruse ja konstantse temperatuuriga deioniseeritud vett (DI-vett). Vee temperatuur peaks tavaliselt vastama toatemperatuurile, minimaalsete temperatuurikõikumistega.

Lihvketaste regulaarne kontrollimine ja vahetamine, vaakumpadrunite puhastamine ja õhuvõlli hooldamine on seadmete eluea pikendamiseks ja töötlemissaagise tagamiseks üliolulised.

Kokkuvõttes on DISCO DFG8541 küps ja usaldusväärne 8-tollise vahvli hõrenemislahendus. See saavutab oma põhivaldkondades tööstusharu juhtiva jõudluse ning on igakülgselt optimeeritud automatiseerimise, puhtuse ja kasutusmugavuse osas, et rahuldada tänapäevase tootmise vajadusi.