DISCO mlinac za oblatne DFG8541

DISCO DFG8541 je potpuno automatizirani stroj za brušenje razvijen za potrebe stanjivanja pločica od 8 inča i manje. Kao nadogradnja svog prethodnika, najprodavanijeg DFG8540, može se pozicionirati kao "glavni model za stanjivanje pločica od 8 inča", poznat po svojoj visokoj preciznosti, visokoj čistoći i izvrsnoj stabilnosti, posebno pogodan za obradu tvrdih i krhkih materijala poput silicijevog karbida (SiC).

Slijedi detaljan uvod u njegov princip rada, osnovne funkcije, specifikacije i tržišnu vrijednost.

Princip rada: Sinergija učinkovitosti i preciznosti s dvije jezgre

DFG8541 usvaja arhitekturu s "dvostrukim vretenom i trima vakuumskim čašicama".

Jasna podjela rada: Jedno vreteno nosi grubi brusni kotač za brzo uklanjanje glavnog materijala sa stražnje strane pločice; drugo vreteno nosi fini brusni kotač za finu završnu obradu površine, postižući gladak, ravan i konačni rezultat bez oštećenja.

Visoko učinkovit proces: Pločica se vakuumski adsorbira na radni stol. Preciznim planiranjem procesa postiže se potpuno automatizirani tijek rada "jednokratno stezanje, kontinuirana obrada", čime se izbjegavaju rizici od kontaminacije i oštećenja uzrokovanih prijenosom materijala između različitih uređaja.

Primjene i uloge: Iznad silicija

Kao uređaj opće namjene, igra ključnu ulogu u području poluvodiča treće generacije.

Glavni zadatak: Stanjivanje pločica (Si/SiC) od 8 inča i manjih do ciljanih debljina, osiguravajući izvrsnu ujednačenost debljine (TTV) i uklanjajući površinske oštećene slojeve uzrokovane prethodnim procesima.

Novi oslonac: Odabirom vretena s visokim okretnim momentom, DFG8541 može stabilno obrađivati ​​materijale ultra visoke tvrdoće poput SiC-a. To je glavni razlog zašto je vrlo popularan na trenutnom tržištu poluvodiča snage.

Pregled ključnih parametara

Kategorija parametra | Specifične specifikacije

Primjenjivi radni komadi: Φ8 inča (200 mm) i manje; kompatibilno s pločicama Φ4, 5, 6 i 8 inča pomoću univerzalne stezne glave

Metoda brušenja: Rotacijsko uzdužno brušenje s uvlačenjem

Konfiguracija vretena: Dvostruka vretena (2 osi), vreteno s zračno-hidrostatskim ležajem (standardno)

Brzina vretena: 1.000 - 7.000 o/min

Snaga vretena: Standardno 4,2 kW

Konfiguracija radnog stola: Tri radna stola (3 stezna stola)

Specifikacije brusne ploče: Dijamantna brusna ploča Φ200 mm

Dimenzije opreme (Š x D x V): cca. 1100 × 2800 × 1800 mm

Težina opreme: cca. 3000 kg

Ključne funkcije i značajke

DFG8541 predstavlja značajno unapređenje u odnosu na DFG8540.

Detaljan opis značajki/funkcija

Vrhunske mogućnosti čišćenja: Višenamjenske mlaznice s dvije tekućine: U usporedbi s tradicionalnim čišćenjem zrakom i vodom, ovo snažno uklanja fine čestice prašine koje se lijepe za pločicu nakon brušenja. Ova se tehnologija široko koristi u osnovnim radnim stanicama kao što su vakuumske čašice i obratci, učinkovito smanjujući rizik od loma tanke pločice.

Beskontaktno poravnanje: Koristi kameru za lociranje središta pločice, zamjenjujući fizički kontakt i uklanjajući ogrebotine ili oštećenja rubova tijekom procesa poravnanja.

Inteligentna proizvodnja: Recept po pločici: Omogućuje automatsku obradu različitih pločica unutar iste kasete za pločice prema njihovim odgovarajućim unaprijed postavljenim receptima (debljina mljevenja, brzina itd.), savršeno se prilagođavajući proizvodnji više vrsta u malim serijama.

Funkcije zaštite pločice: Integrira više mehanizama zaštite, uključujući mapiranje pločice (zaštita od neusklađenosti/prazne pločice), prethodnu inspekciju debljine (zaštita od dvostrukog lijepljenja trake) i vakuumsko držanje (alarm za iznenadni nestanak struje), osiguravajući sigurnost visokovrijednih pločica.

Električno podesiva korekcija nagiba: Nagib vakuumske čašice može se električno fino podesiti putem vrijednosti na zaslonu, optimizirajući oblik obrade i smanjujući ručno vrijeme zastoja za kalibraciju.

Značajno poboljšana upotrebljivost: Veći 19-inčni grafički zaslon: U usporedbi s 15-inčnim zaslonom DFG8540, zaslon nije samo veći, već ima i intuitivno grafičko korisničko sučelje.

Optimizirano održavanje: Poboljšana unutarnja struktura čišćenja olakšava održavanje.

Ušteda energije i kompaktan dizajn: Novo zračno vreteno smanjuje potrošnju zraka za 50%; ugrađena vakuumska pumpa smanjuje zauzetu površinu za 15% u usporedbi s prethodnikom, postižući ekološke uštede i u hardveru i u radu.

Tržišno pozicioniranje i vrijednost: U usporedbi s vodećim modelom DGP8761 koji cilja na 12-inčno tržište, DFG8541 se više fokusira na 8-inčno tržište, što ga čini tipičnim vodećim modelom "visokoučinkovitih, isplativih" modela:

Pozicioniranje performansi: DFG8541 je mjerilo performansi za 8-inčne brusilice. Odabirom vretena s visokim okretnim momentom uspješno prevladava izazove stanjivanja tvrdih i krhkih materijala poput SiC-a, učvršćujući svoju apsolutnu prednost na tržištu 8-inčnih brusilica.

Vrijednost ulaganja: Kao stabilna nadogradnja zrele platforme, pouzdana je u smislu dugoročnog stabilnog rada i kontinuiranog učinka, što je čini visokoučinkovitim, niskorizičnim i pouzdanim izborom za ulaganje u opremu proizvodne linije od 8 inča. Vodeća domaća sveučilišta (poput Sveučilišta Xi'an Jiaotong) već su kupila ovu opremu za vrhunska istraživanja.

Zahtjevi za održavanje i instalaciju: Kako bi se osigurao dugoročan stabilan i visokoprecizan rad DFG8541, potrebno je strogo pridržavanje DISCO-ovih zahtjeva za okruženje instalacije:

Čistoća okoliša: Mora se instalirati u čistoj prostoriji s visokim stupnjem čistoće. Temperatura okoline mora biti stabilna na 20-25 ℃, s kontroliranim fluktuacijama unutar ±1 ℃. Relativna vlažnost zraka obično se mora nalaziti ispod 55%.

Napajanje:

Komprimirani zrak: Potreban je čist, suh i bezuljni komprimirani zrak visoke čistoće pod tlakom od 0,5 MPa ili više.

Električna energija: Potreban je trofazni izvor napajanja koji odgovara zahtjevima opreme za napajanje.

Rashladna voda: Za hlađenje vretena potrebna je deionizirana voda (DI voda) sa stabilnim protokom i konstantnom temperaturom. Temperatura vode obično bi trebala odgovarati sobnoj temperaturi s minimalnim temperaturnim fluktuacijama.

Redovita provjera i zamjena brusnih ploča, čišćenje vakuumskih steznih glava i održavanje zračnog vretena ključni su za produljenje vijeka trajanja opreme i osiguranje prinosa obrade.

Ukratko, DISCO DFG8541 je zrelo i pouzdano rješenje za stanjivanje 8-inčnih pločica. Postiže vodeće performanse u industriji u svojim ključnim područjima i sveobuhvatno je optimiziran za automatizaciju, čistoću i jednostavnost korištenja kako bi zadovoljio potrebe moderne proizvodnje.