DISCO vafeļu dzirnaviņas DFG8541

DISCO DFG8541 ir pilnībā automatizēta slīpmašīna, kas izstrādāta, lai apmierinātu 8 collu un mazāku vafeļu retināšanas vajadzības. Kā uzlabojums savam priekšgājējam, vislabāk pārdotajam DFG8540, to var pozicionēt kā "galveno modeli 8 collu vafeļu retināšanai", kas ir pazīstams ar savu augsto precizitāti, tīrību un izcilo stabilitāti, īpaši piemērots cietu un trauslu materiālu, piemēram, silīcija karbīda (SiC), apstrādei.

Tālāk sniegts detalizēts ievads par tā darbības principu, pamatfunkcijām, specifikācijām un tirgus vērtību.

Darbības princips: divkodolu efektivitātes un precizitātes sinerģija

DFG8541 izmanto "divu vārpstu, trīs piesūcekņu" arhitektūru.

Skaidra darba dalīšana: Vienai vārpstai ir rupja slīpripa, lai ātri noņemtu galveno materiālu no vafeļu aizmugures; otrai vārpstai ir smalka slīpripa, lai smalki apstrādātu virsmu, panākot gludu, plakanu un bez bojājumiem gala rezultātu.

Augsti efektīvs process: Vafele tiek vakuumā adsorbēta uz darba galda. Pateicoties precīzai procesa plānošanai, tiek panākta pilnībā automatizēta darbplūsma "vienreizēja iespīlēšana, nepārtraukta apstrāde", novēršot piesārņojuma un bojājumu risku, ko rada materiālu pārvietošana starp dažādām ierīcēm.

Pielietojumi un lomas: ārpus silīcija

Kā universāla ierīce tai ir izšķiroša loma trešās paaudzes pusvadītāju jomā.

Pamatuzdevums: 8 collu un mazāku vafeļu (Si/SiC) retināšana līdz mērķa biezumam, nodrošinot izcilu biezuma vienmērīgumu (TTV) un iepriekšējo procesu radīto virsmas bojājumu slāņu noņemšanu.

Jaunais pamatsastāvs: Izvēloties vārpstu ar augstu griezes momentu, DFG8541 var stabili apstrādāt īpaši cietus materiālus, piemēram, SiC. Tas ir galvenais iemesls, kāpēc tas ir ļoti iecienīts pašreizējā jaudas pusvadītāju tirgū.

Galveno parametru pārskats

Parametra kategorija | Īpašas specifikācijas

Piemērojamās sagataves: Φ8 collas (200 mm) un mazākas; saderīgas ar Φ4, 5, 6 un 8 collu plāksnēm, izmantojot universālu patronu

Slīpēšanas metode: rotācijas gareniskā padeves slīpēšana

Vārpstas konfigurācija: Divkāršas vārpstas (2 asis), pneimatiskā hidrostatiskā gultņa vārpsta (standarta)

Vārpstas ātrums: 1000–7000 apgr./min

Vārpstas jauda: standarta 4,2 kW

Darbagalda konfigurācija: Trīs darbagaldi (3 patronu galdi)

Slīpripas specifikācijas: Φ200 mm dimanta slīpripa

Iekārtas izmēri (P x Dz x A): aptuveni 1100 × 2800 × 1800 mm

Iekārtas svars: aptuveni 3000 kg

Galvenās funkcijas un iespējas

DFG8541 ir būtisks DFG8540 uzlabojums.

Funkciju/iespēju detalizēts apraksts

Izcilas tīrīšanas iespējas: Daudzstaciju divu šķidrumu sprauslas: Salīdzinot ar tradicionālo gaisa-ūdens tīrīšanu, šī tehnoloģija spēcīgi noņem smalkas putekļu daļiņas, kas pēc slīpēšanas pielīp pie vafeles. Šī tehnoloģija tiek plaši izmantota galvenajās darbstacijās, piemēram, piesūcekņos un sagatavēs, efektīvi samazinot plānu vafeļu lūzuma risku.

Bezkontakta izlīdzināšana: Izmanto kameru, lai atrastu plāksnītes centru, aizstājot fizisko kontaktu un novēršot skrāpējumus vai malu bojājumus izlīdzināšanas procesa laikā.

Inteliģenta ražošana: Recepte katrai vafelei: Ļauj automātiski apstrādāt dažādas vafeles vienā vafeļu kasetē atbilstoši to attiecīgajām iepriekš iestatītajām receptēm (maltā biezuma, ātruma utt.), lieliski pielāgojoties dažādu šķirņu, mazu partiju ražošanai.

Plākšņu aizsardzības funkcijas: integrē vairākus aizsardzības mehānismus, tostarp plākšņu kartēšanu (pret neatbilstību/tukšu plākšņu), biezuma iepriekšēju pārbaudi (pret dubultlenti) un vakuuma noturēšanu (pēkšņas strāvas padeves pārtraukuma trauksme), nodrošinot augstas vērtības plākšņu drošību.

Elektriski regulējama slīpuma korekcija: Piesūcekņa slīpumu var elektriski precīzi noregulēt, izmantojot ekrānā redzamās vērtības, optimizējot apstrādes formu un samazinot manuālo dīkstāvi kalibrēšanas dēļ.

Ievērojami uzlabota lietojamība: Par 19 collām lielāks ekrāns. GUI: Salīdzinot ar DFG8540 15 collu ekrānu, displejs ir ne tikai lielāks, bet arī tam ir intuitīvs grafiskais lietotāja interfeiss.

Optimizēta apkope: Uzlabota iekšējā tīrīšanas struktūra atvieglo apkopi.

Enerģijas taupīšana un kompakts dizains: Jaunā gaisa vārpsta samazina gaisa patēriņu par 50%; iebūvētais vakuumsūkņa dizains samazina aizņemto vietu par 15% salīdzinājumā ar iepriekšējo modeli, tādējādi panākot videi draudzīgus ietaupījumus gan aparatūrā, gan darbībā.

Tirgus pozicionēšana un vērtība: Salīdzinot ar vadošo modeli DGP8761, kas paredzēts 12 collu tirgum, DFG8541 vairāk koncentrējas uz 8 collu tirgu, padarot to par tipisku "augstas veiktspējas, rentablu" vadošo ierīci:

Veiktspējas pozicionēšana: DFG8541 ir 8 collu slīpmašīnu veiktspējas etalons. Izvēloties vārpstu ar augstu griezes momentu, tā veiksmīgi pārvar cieto un trauslo materiālu, piemēram, SiC, retināšanas izaicinājumus, nostiprinot savu absolūto priekšrocību 8 collu tirgū.

Investīciju vērtība: Kā stabils jauninājums nobriedušai platformai, tas ir uzticams ilgtermiņa stabilas darbības un nepārtrauktas ražošanas ziņā, padarot to par augstas efektivitātes, zema riska un uzticamu izvēli investīcijām 8 collu ražošanas līnijas iekārtās. Vadošās vietējās universitātes (piemēram, Sjiānas Dzjaotunas Universitāte) jau ir iegādājušās šo aprīkojumu progresīviem pētījumiem.

Apkopes un uzstādīšanas prasības: Lai nodrošinātu DFG8541 ilgtermiņa stabilu un augstas precizitātes darbību, ir stingri jāievēro DISCO prasības attiecībā uz uzstādīšanas vidi:

Apkārtējās vides tīrība: Tā jāuzstāda tīrtelpā ar augstu tīrības pakāpi. Apkārtējās vides temperatūrai jābūt stabilai 20–25 ℃ robežās, un svārstības jākontrolē ±1 ℃ robežās. Relatīvajam mitrumam parasti jābūt zem 55%.

Barošanas avots:

Saspiests gaiss: Nepieciešams tīrs, sauss un bez eļļas augstas tīrības pakāpes saspiests gaiss ar spiedienu 0,5 MPa vai augstāku.

Elektrība: Nepieciešams trīsfāžu barošanas avots, kas atbilst iekārtas jaudas prasībām.

Dzesēšanas ūdens: Vārpstas dzesēšanai nepieciešams dejonizēts ūdens (DI ūdens) ar stabilu plūsmas ātrumu un nemainīgu temperatūru. Ūdens temperatūrai parasti jāatbilst istabas temperatūrai ar minimālām temperatūras svārstībām.

Regulāra slīpripu pārbaude un nomaiņa, vakuuma patronu tīrīšana un gaisa vārpstas apkope ir ļoti svarīga, lai pagarinātu iekārtu kalpošanas laiku un nodrošinātu apstrādes ražu.

Rezumējot, DISCO DFG8541 ir nobriedis un uzticams 8 collu vafeļu retināšanas risinājums. Tas sasniedz nozarē vadošo veiktspēju savās galvenajās jomās un ir vispusīgi optimizēts automatizācijai, tīrībai un lietošanas vienkāršībai, lai apmierinātu mūsdienu ražošanas vajadzības.