Szlifierka do płytek DISCO DFG8541

DISCO DFG8541 to w pełni zautomatyzowana szlifierka opracowana z myślą o potrzebach pocieniania wafli o średnicy 8 cali i mniejszych. Jako udoskonalenie swojego poprzednika, bestsellerowego modelu DFG8540, może być pozycjonowana jako „podstawowy model do pocieniania wafli o średnicy 8 cali”, znany z wysokiej precyzji, wysokiej czystości i doskonałej stabilności, szczególnie przydatny do obróbki twardych i kruchych materiałów, takich jak węglik krzemu (SiC).

Poniżej znajduje się szczegółowy opis zasady działania, głównych funkcji, specyfikacji i wartości rynkowej.

Zasada działania: dwurdzeniowa synergia wydajności i precyzji

W DFG8541 zastosowano architekturę „dwóch wrzecion, trzech przyssawek”.

Przejrzysty podział pracy: Jedno wrzeciono przenosi grubą tarczę szlifierską, która szybko usuwa główny materiał z tylnej części płytki; drugie wrzeciono przenosi drobną tarczę szlifierską, która dokładnie wykańcza powierzchnię, zapewniając gładki, płaski i wolny od uszkodzeń efekt końcowy.

Wysoce wydajny proces: Płytka jest adsorbowana próżniowo na stole roboczym. Dzięki precyzyjnemu planowaniu procesu, uzyskano w pełni zautomatyzowany proces „jednorazowego zaciskania i ciągłego przetwarzania”, eliminując ryzyko zanieczyszczenia i uszkodzeń spowodowanych przenoszeniem materiałów między różnymi urządzeniami.

Zastosowania i role: poza krzemem

Jako urządzenie uniwersalne odgrywa kluczową rolę w dziedzinie półprzewodników trzeciej generacji.

Główne zadanie: cienienie płytek o średnicy 8 cali i mniejszych (Si/SiC) do docelowej grubości, zapewnienie doskonałej jednorodności grubości (TTV) oraz usunięcie warstw uszkodzeń powierzchni powstałych w wyniku poprzednich procesów.

Nowy filar: Dzięki zastosowaniu wrzeciona o wysokim momencie obrotowym, DFG8541 może stabilnie obrabiać materiały o bardzo wysokiej twardości, takie jak SiC. To główny powód, dla którego jest on tak ceniony na obecnym rynku półprzewodników mocy.

Przegląd kluczowych parametrów

Kategoria parametrów | Specyfikacje szczegółowe

Zakres stosowania elementów obrabianych: Φ8 cali (200 mm) i mniej; zgodność z płytkami o średnicy Φ4, 5, 6 i 8 cali przy użyciu uniwersalnego uchwytu

Metoda szlifowania: szlifowanie obrotowe wzdłużne z posuwem

Konfiguracja wrzeciona: Podwójne wrzeciona (2 osie), wrzeciono z łożyskiem hydrostatycznym pneumatycznym (standard)

Prędkość wrzeciona: 1000 - 7000 obr./min

Moc wrzeciona: standardowa 4,2 kW

Konfiguracja stołu roboczego: Trzy stoły robocze (3 stoły uchwytowe)

Specyfikacja tarczy szlifierskiej: diamentowa tarcza szlifierska o średnicy Φ200 mm

Wymiary urządzenia (szer. x gł. x wys.): ok. 1100 × 2800 × 1800 mm

Waga sprzętu: ok. 3000 kg

Główne funkcje i cechy

DFG8541 stanowi znaczącą modernizację w stosunku do modelu DFG8540.

Cechy/Funkcje Szczegółowy opis

Doskonałe możliwości czyszczenia: Wielostanowiskowe dysze dwupłynowe: W porównaniu z tradycyjnym czyszczeniem powietrzem i wodą, ta technologia skutecznie usuwa drobne cząsteczki pyłu przylegające do płytki po szlifowaniu. Technologia ta jest szeroko stosowana w kluczowych stanowiskach roboczych, takich jak przyssawki i elementy obrabiane, skutecznie zmniejszając ryzyko pęknięcia cienkiej płytki.

Wyrównywanie bezkontaktowe: Wykorzystuje kamerę do zlokalizowania środka płytki, zastępując kontakt fizyczny i eliminując zarysowania lub uszkodzenia krawędzi podczas procesu wyrównywania.

Inteligentna produkcja: Receptura na każdą płytkę: Umożliwia automatyczną obróbkę różnych płytek w tej samej kasecie zgodnie z ich odpowiednimi, wstępnie ustawionymi recepturami (grubość mielenia, prędkość itp.), doskonale dostosowując się do produkcji wielowariantowej i małoseryjnej.

Funkcje ochrony wafli: Integruje wiele mechanizmów zabezpieczających, w tym mapowanie wafli (zapobiegające nieprawidłowemu ułożeniu/pustemu waflowi), wstępną kontrolę grubości (zapobiegającą podwójnej taśmie) i podtrzymywanie próżniowe (alarm nagłej awarii zasilania), zapewniając bezpieczeństwo cennych wafli.

Elektrycznie regulowana korekta nachylenia: Nachylenie przyssawki można precyzyjnie regulować elektrycznie za pomocą wartości wyświetlanych na ekranie, co optymalizuje kształt przetwarzania i zmniejsza czas przestoju potrzebny na ręczną kalibrację.

Znacznie lepsza użyteczność: Większy o 19 cali ekran graficzny: W porównaniu z 15-calowym ekranem DFG8540 wyświetlacz jest nie tylko większy, ale również wyposażony w intuicyjny graficzny interfejs użytkownika.

Zoptymalizowana konserwacja: Ulepszona struktura wewnętrznego czyszczenia ułatwia konserwację.

Oszczędność energii i kompaktowa konstrukcja: nowe wrzeciono pneumatyczne zmniejsza zużycie powietrza o 50%; wbudowana pompa próżniowa zmniejsza powierzchnię o 15% w porównaniu z poprzednim modelem, co przekłada się na oszczędności w zakresie sprzętu i eksploatacji.

Pozycjonowanie rynkowe i wartość: W porównaniu do flagowego modelu DGP8761 przeznaczonego na rynek 12-calowy, DFG8541 skupia się bardziej na rynku 8-calowym, co czyni go typowym „wydajnym, ekonomicznym” flagowym urządzeniem:

Pozycjonowanie wydajności: DFG8541 to punkt odniesienia dla wydajności szlifierek 8-calowych. Dzięki zastosowaniu wrzeciona o wysokim momencie obrotowym, skutecznie pokonuje wyzwania związane z przerzedzaniem twardych i kruchych materiałów, takich jak SiC, umacniając swoją absolutną przewagę na rynku szlifierek 8-calowych.

Wartość inwestycji: Jako stabilna modernizacja dojrzałej platformy, jest ona niezawodna pod względem długoterminowej, stabilnej pracy i ciągłej wydajności, co czyni ją wysokowydajnym, bezpiecznym i bezpiecznym wyborem w przypadku inwestycji w sprzęt do linii produkcyjnej 8-calowej. Wiodące krajowe uniwersytety (takie jak Uniwersytet Xi'an Jiaotong) zakupiły już ten sprzęt do prowadzenia nowatorskich badań.

Wymagania dotyczące konserwacji i instalacji: Aby zagwarantować długotrwałą, stabilną i precyzyjną pracę urządzenia DFG8541, konieczne jest ścisłe przestrzeganie wymagań DISCO dotyczących środowiska instalacji:

Czystość środowiska: Urządzenie musi być zainstalowane w pomieszczeniu czystym o wysokim poziomie czystości. Temperatura otoczenia musi utrzymywać się na stabilnym poziomie 20–25°C, z kontrolowanymi wahaniami w zakresie ±1°C. Wilgotność względna zazwyczaj musi być poniżej 55%.

Zasilanie:

Sprężone powietrze: Wymagane jest czyste, suche i wolne od oleju sprężone powietrze o wysokiej czystości i ciśnieniu 0,5 MPa lub wyższym.

Prąd: Wymagane jest zasilanie trójfazowe odpowiadające zapotrzebowaniu sprzętu na energię elektryczną.

Woda chłodząca: Do chłodzenia wrzeciona wymagana jest woda dejonizowana (DI) o stabilnym przepływie i stałej temperaturze. Temperatura wody powinna zazwyczaj odpowiadać temperaturze pokojowej, z minimalnymi wahaniami.

Regularna kontrola i wymiana tarcz szlifierskich, czyszczenie uchwytów próżniowych i konserwacja wrzeciona pneumatycznego mają kluczowe znaczenie dla wydłużenia żywotności sprzętu i zapewnienia wydajności obróbki.

Podsumowując, DISCO DFG8541 to dojrzałe i niezawodne rozwiązanie do pocieniania wafli krzemowych 8-calowych. Osiąga wiodącą w branży wydajność w kluczowych obszarach i jest kompleksowo zoptymalizowane pod kątem automatyzacji, czystości i łatwości obsługi, aby sprostać potrzebom nowoczesnego sektora produkcyjnego.