เครื่องบดเวเฟอร์ DISCO รุ่น DFG8541

เครื่องเจียรแผ่นเวเฟอร์ DISCO DFG8541 เป็นเครื่องเจียรอัตโนมัติเต็มรูปแบบที่พัฒนาขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการในการเจียรแผ่นเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วและเล็กกว่า โดยเป็นการพัฒนาต่อยอดจากรุ่นก่อนหน้า DFG8540 ซึ่งเป็นรุ่นขายดีที่สุด และสามารถวางตำแหน่งให้เป็น "รุ่นหลักสำหรับการเจียรแผ่นเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว" ซึ่งเป็นที่รู้จักในด้านความแม่นยำสูง ความสะอาดสูง และความเสถียรที่ยอดเยี่ยม เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการแปรรูปวัสดุที่แข็งและเปราะ เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)

ต่อไปนี้เป็นการแนะนำโดยละเอียดเกี่ยวกับหลักการทำงาน ฟังก์ชันหลัก คุณสมบัติ และมูลค่าทางการตลาดของผลิตภัณฑ์ดังกล่าว

หลักการทำงาน: การทำงานร่วมกันอย่างลงตัวของประสิทธิภาพและความแม่นยำในระบบสองแกน

DFG8541 ใช้สถาปัตยกรรมแบบ "แกนหมุนคู่ สามตัวดูด"

การแบ่งงานที่ชัดเจน: แกนหมุนหนึ่งมีล้อเจียรหยาบเพื่อขจัดวัสดุหลักออกจากด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์อย่างรวดเร็ว ส่วนแกนหมุนอีกอันมีล้อเจียรละเอียดเพื่อขัดผิวให้เรียบเนียน แบนราบ และปราศจากความเสียหาย

กระบวนการที่มีประสิทธิภาพสูง: แผ่นเวเฟอร์จะถูกดูดติดบนโต๊ะทำงานด้วยระบบสุญญากาศ ด้วยการวางแผนกระบวนการอย่างแม่นยำ ทำให้ได้กระบวนการทำงานแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ "หนีบครั้งเดียว ประมวลผลต่อเนื่อง" ซึ่งช่วยหลีกเลี่ยงความเสี่ยงจากการปนเปื้อนและความเสียหายที่เกิดจากการเคลื่อนย้ายวัสดุระหว่างอุปกรณ์ต่างๆ

การใช้งานและบทบาท: นอกเหนือจากเทคโนโลยีซิลิคอน

ในฐานะอุปกรณ์อเนกประสงค์ มันมีบทบาทสำคัญอย่างยิ่งในวงการเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม

ภารกิจหลัก: การลดความหนาของเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วและเล็กกว่า (Si/SiC) ให้ได้ความหนาตามเป้าหมาย เพื่อให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอของความหนา (TTV) ที่ดีเยี่ยม และการกำจัดชั้นความเสียหายบนพื้นผิวที่เกิดจากกระบวนการก่อนหน้านี้

ศักยภาพที่โดดเด่น: ด้วยการเลือกใช้แกนหมุนแรงบิดสูง DFG8541 สามารถประมวลผลวัสดุที่มีความแข็งสูงมาก เช่น SiC ได้อย่างเสถียร นี่คือเหตุผลหลักที่ทำให้เครื่องจักรนี้ได้รับความนิยมอย่างสูงในตลาดเซมิคอนดักเตอร์กำลังในปัจจุบัน

ภาพรวมพารามิเตอร์หลัก

หมวดหมู่พารามิเตอร์ | ข้อกำหนดเฉพาะ

ชิ้นงานที่ใช้งานได้: เส้นผ่านศูนย์กลาง 8 นิ้ว (200 มม.) หรือต่ำกว่า; สามารถใช้ได้กับแผ่นเวเฟอร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 4, 5, 6 และ 8 นิ้ว โดยใช้หัวจับอเนกประสงค์

วิธีการเจียร: การเจียรแบบป้อนเข้าตามแนวยาวแบบหมุน

การกำหนดค่าแกนหมุน: แกนหมุนคู่ (2 แกน) แกนหมุนแบริ่งไฮดรอลิกแบบใช้ลม (มาตรฐาน)

ความเร็วรอบแกนหมุน: 1,000 - 7,000 รอบต่อนาที

กำลังมอเตอร์แกนหมุน: มาตรฐาน 4.2 กิโลวัตต์

การจัดวางโต๊ะทำงาน: โต๊ะทำงานสามโต๊ะ (โต๊ะจับชิ้นงาน 3 ตัว)

ข้อมูลจำเพาะของล้อเจียร: ล้อเจียรเพชรขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม.

ขนาดของอุปกรณ์ (กว้าง x ลึก x สูง): ประมาณ 1,100 × 2,800 × 1,800 มม.

น้ำหนักอุปกรณ์: ประมาณ 3,000 กิโลกรัม

ฟังก์ชันและคุณสมบัติหลัก

DFG8541 นับเป็นการอัพเกรดครั้งสำคัญจาก DFG8540

คุณสมบัติ/ฟังก์ชัน คำอธิบายโดยละเอียด

ประสิทธิภาพการทำความสะอาดที่เหนือกว่า: หัวฉีดแบบสองของเหลวหลายสถานี: เมื่อเทียบกับการทำความสะอาดด้วยลมและน้ำแบบดั้งเดิม เทคโนโลยีนี้สามารถกำจัดฝุ่นละอองขนาดเล็กที่เกาะติดบนแผ่นเวเฟอร์หลังการเจียรได้อย่างมีประสิทธิภาพ เทคโนโลยีนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในสถานีงานหลัก เช่น ถ้วยดูดและชิ้นงาน ช่วยลดความเสี่ยงต่อการแตกหักของแผ่นเวเฟอร์บางได้อย่างมีประสิทธิภาพ

การจัดตำแหน่งแบบไม่สัมผัส: ใช้กล้องในการระบุตำแหน่งกึ่งกลางของแผ่นเวเฟอร์ แทนที่การสัมผัสทางกายภาพ และขจัดรอยขีดข่วนหรือความเสียหายที่ขอบระหว่างกระบวนการจัดตำแหน่ง

การผลิตอัจฉริยะ: สูตรการผลิตต่อแผ่นเวเฟอร์: ช่วยให้สามารถประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ต่างๆ ภายในตลับเวเฟอร์เดียวกันได้โดยอัตโนมัติ ตามสูตรการผลิตที่ตั้งไว้ล่วงหน้า (ความหนาในการบด ความเร็ว ฯลฯ) ซึ่งปรับให้เข้ากับการผลิตแบบหลายสายพันธุ์ในปริมาณน้อยได้อย่างสมบูรณ์แบบ

ฟังก์ชันการปกป้องเวเฟอร์: ผสานรวมกลไกการป้องกันหลายอย่าง รวมถึงการแมปเวเฟอร์ (ป้องกันการวางตำแหน่งผิดพลาด/เวเฟอร์เปล่า), การตรวจสอบความหนาเบื้องต้น (ป้องกันเทปซ้อน) และการรักษาสุญญากาศ (สัญญาณเตือนเมื่อไฟฟ้าดับกะทันหัน) เพื่อความปลอดภัยของเวเฟอร์ที่มีมูลค่าสูง

การปรับแก้ความเอียงด้วยระบบไฟฟ้า: สามารถปรับความเอียงของตัวดูดได้อย่างละเอียดด้วยระบบไฟฟ้าผ่านค่าที่แสดงบนหน้าจอ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของรูปทรงในการประมวลผลและลดเวลาหยุดทำงานด้วยตนเองสำหรับการปรับเทียบ

การใช้งานที่ได้รับการปรับปรุงอย่างเห็นได้ชัด: หน้าจอ GUI ขนาด 19 นิ้วที่ใหญ่ขึ้น: เมื่อเทียบกับหน้าจอขนาด 15 นิ้วของ DFG8540 หน้าจอนี้ไม่เพียงแต่มีขนาดใหญ่ขึ้นเท่านั้น แต่ยังมีอินเทอร์เฟซผู้ใช้แบบกราฟิกที่ใช้งานง่ายอีกด้วย

การบำรุงรักษาที่เหมาะสมยิ่งขึ้น: โครงสร้างการทำความสะอาดภายในที่ได้รับการปรับปรุงทำให้การบำรุงรักษาง่ายขึ้น

ประหยัดพลังงานและดีไซน์กะทัดรัด: แกนหมุนลมแบบใหม่ช่วยลดการใช้ลมลง 50%; การออกแบบปั๊มสุญญากาศในตัวช่วยลดพื้นที่ติดตั้งลง 15% เมื่อเทียบกับรุ่นก่อนหน้า ทำให้ประหยัดพลังงานทั้งในด้านฮาร์ดแวร์และการใช้งาน

การวางตำแหน่งทางการตลาดและมูลค่า: เมื่อเทียบกับรุ่นเรือธง DGP8761 ที่มุ่งเป้าไปที่ตลาดขนาด 12 นิ้ว รุ่น DFG8541 จะเน้นไปที่ตลาดขนาด 8 นิ้วมากกว่า ทำให้เป็นเครื่องรุ่นเรือธงที่ "ประสิทธิภาพสูง คุ้มค่า" อย่างแท้จริง:

การวางตำแหน่งประสิทธิภาพ: เครื่องเจียร DFG8541 เป็นมาตรฐานประสิทธิภาพสำหรับเครื่องเจียรขนาด 8 นิ้ว ด้วยการเลือกใช้แกนหมุนแรงบิดสูง ทำให้สามารถเอาชนะความท้าทายในการเจียรวัสดุที่แข็งและเปราะ เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ตอกย้ำความได้เปรียบอย่างแท้จริงในตลาดเครื่องเจียรขนาด 8 นิ้ว

มูลค่าการลงทุน: ในฐานะที่เป็นการอัพเกรดที่เสถียรจากแพลตฟอร์มที่พัฒนามาอย่างดีแล้ว อุปกรณ์นี้มีความน่าเชื่อถือในแง่ของการทำงานที่เสถียรในระยะยาวและการผลิตที่ต่อเนื่อง ทำให้เป็นตัวเลือกที่มีประสิทธิภาพสูง ความเสี่ยงต่ำ และน่าเชื่อถือสำหรับการลงทุนในอุปกรณ์สายการผลิตขนาด 8 นิ้ว มหาวิทยาลัยชั้นนำในประเทศ (เช่น มหาวิทยาลัยซีอานเจียวตง) ได้ซื้ออุปกรณ์นี้เพื่อใช้ในการวิจัยล้ำสมัยแล้ว

ข้อกำหนดด้านการบำรุงรักษาและการติดตั้ง: เพื่อให้มั่นใจได้ว่า DFG8541 จะทำงานได้อย่างเสถียรและมีความแม่นยำสูงในระยะยาว จำเป็นต้องปฏิบัติตามข้อกำหนดของ DISCO เกี่ยวกับสภาพแวดล้อมการติดตั้งอย่างเคร่งครัด:

ความสะอาดของสภาพแวดล้อม: ต้องติดตั้งในห้องปลอดเชื้อที่มีความสะอาดสูง อุณหภูมิแวดล้อมต้องคงที่ที่ 20-25℃ โดยมีการเปลี่ยนแปลงไม่เกิน ±1℃ ความชื้นสัมพัทธ์โดยทั่วไปต้องต่ำกว่า 55%

แหล่งจ่ายไฟ:

อากาศอัด: จำเป็นต้องใช้อากาศอัดบริสุทธิ์สูง สะอาด แห้ง และปราศจากน้ำมัน ที่ความดัน 0.5 MPa หรือสูงกว่า

ระบบไฟฟ้า: จำเป็นต้องใช้แหล่งจ่ายไฟสามเฟสที่ตรงกับความต้องการพลังงานของอุปกรณ์

น้ำหล่อเย็น: จำเป็นต้องใช้น้ำปราศจากไอออน (DI water) ที่มีอัตราการไหลคงที่และอุณหภูมิคงที่สำหรับการระบายความร้อนของแกนหมุน โดยทั่วไปอุณหภูมิของน้ำควรใกล้เคียงกับอุณหภูมิห้องและมีการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิน้อยที่สุด

การตรวจสอบและเปลี่ยนล้อเจียรอย่างสม่ำเสมอ การทำความสะอาดหัวจับสุญญากาศ และการบำรุงรักษาแกนหมุนลม เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งต่อการยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์และรับประกันผลผลิตในกระบวนการผลิต

โดยสรุปแล้ว DISCO DFG8541 เป็นโซลูชันการลดความหนาของเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วที่ครบวงจรและเชื่อถือได้ มีประสิทธิภาพชั้นนำในอุตสาหกรรมในด้านหลักๆ และได้รับการปรับแต่งอย่างครอบคลุมเพื่อการทำงานอัตโนมัติ ความสะอาด และความสะดวกในการใช้งาน เพื่อตอบสนองความต้องการของการผลิตสมัยใหม่