டிஸ்கோ வேஃபர் கிரைண்டர் DGP8761

டிஸ்கோ DGP8761 என்பது அதன் தொழில்நுட்பத்தின் உச்சத்தை பிரதிநிதித்துவப்படுத்தும் ஒரு முழுமையான தானியங்கி அரைத்தல்/மெருகூட்டல் இயந்திரமாகும். இது குறிப்பாக அதிக செயல்திறன் கொண்ட 12-அங்குல (300மிமீ) வேஃபர் மெலிதாக்கும் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இதன் முக்கிய அம்சம், பின்புற கரடுமுரடான அரைத்தல் மற்றும் நுண் அரைத்தல் முதல் அழுத்தத்தை நீக்குதல் வரையிலான முழு செயல்முறையையும் ஒரே தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டில் முடிக்கும் திறன் ஆகும். இது வேஃபர்களை 25μm-க்கும் குறைவான மிக மெல்லிய தடிமனுக்குத் தொடர்ந்து பதப்படுத்துகிறது.

நன்கு அறியப்பட்ட மற்றும் அதிகம் விற்பனையாகும் DGP8760-இன் அதிகாரப்பூர்வ மேம்படுத்தலாக, இது உலகெங்கிலும் உள்ள முன்னணி உற்பத்தியாளர்களிடையே சிறந்த விற்பனை செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளதுடன், மேம்பட்ட பேக்கேஜிங், மின் சாதனங்கள் மற்றும் மிக மெல்லிய வேஃபர் உருவாக்கம் தேவைப்படும் பிற செயல்முறைகளுக்கு ஒரு இன்றியமையாத உபகரணமாகவும் திகழ்கிறது.

வன்பொருள் உள்ளகம்: மூன்று-அச்சு வடிவமைப்பின் புத்திசாலித்தனமும் பரிணாம வளர்ச்சியும்

DGP8761-இன் செயல்திறன் பரிணாம வளர்ச்சியின் மையமானது, அதன் துல்லியமான மூன்று-அச்சு (3 அச்சுகள்) மற்றும் நான்கு-சக்-டேபிள்கள் (4 சக் டேபிள்கள்) கொண்ட கட்டமைப்பில் அடங்கியுள்ளது.

வேலைவாய்ப்பின் மூன்று-அச்சுப் பங்கீடு:

Z1 அச்சு (கரடுமுரடான அரைத்தல்): வேஃபரின் பின்புறத்திலிருந்து பெரும்பாலான பொருளை விரைவாக அகற்றுவதற்குப் பொறுப்பானது.

Z2 அச்சு (நுண் அரைத்தல்): வேஃபர் மேற்பரப்பில் நுண் அரைத்தலைச் செய்து, துல்லியமான தடிமன் கட்டுப்பாட்டை அடைகிறது.

Z3 அச்சு (பல்நோக்கு செயலாக்கம்): இதுவே இதன் நெகிழ்வுத்தன்மைக்கு முக்கியக் காரணமாகும். பயனர்கள், செயல்முறைத் தேவைகளைப் பொறுத்து, அழுத்தத்தை நீக்குதல், கெட்டரை அகற்றுதல் மற்றும் பிற செயல்பாடுகளை அடைவதற்காக, உலர் மெருகூட்டல் (அழுத்த நிவாரணம்), அதிதுல்லியமான அரைத்தல் (பாலிகிரைண்ட்/அல்ட்ராபாலிகிரைண்ட்) அல்லது சிறப்பு CMP தொகுதிகளைத் தேர்ந்தெடுக்கலாம்.

புதிதாக உருவாக்கப்பட்ட சுழல் அச்சு: இந்தப் புதிய சுழல் அச்சு அதிவேக அரைத்தலை ஆதரித்து, மெல்லிய வேஃபர்களுக்கான செயலாக்க நேரத்தைத் திறம்படக் குறைக்கிறது. அதே சமயம், மேம்படுத்தப்பட்ட போக்குவரத்து அமைப்பு, செயலாக்கமற்ற நேரத்தைக் குறைத்து, ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

உயர் சுழல் தண்டு செயல்திறன் விவரக்குறிப்புகள்:

Z1/Z2 அச்சு: சுழல் திறன் 6.3 kW ஆக அதிகரிக்கப்பட்டது, வேகம் 1,000 - 4,000 min⁻¹, Z-அச்சு நகர்வு 120 மிமீ.

Z3 அச்சு: சுழல் திறன் 5.3 kW, Z-அச்சு நகர்வு 65 மிமீ.

Z-அச்சுத் துல்லியம்: 0.0001 - 0.08 மிமீ/வி செங்குத்து ஊட்டு விகிதம், 0.1 μm குறைந்தபட்ச நகர்வு ஆகியவை எந்திரப் பணித் துல்லியத்தை உறுதி செய்கின்றன.

விரிவான விவரக்குறிப்புகளின் கண்ணோட்டம்

அளவுரு வகை | குறிப்பிட்ட குறிகாட்டிகள்

பொருந்தக்கூடிய பணிப்பொருள் அளவு: Φ200 மிமீ / Φ300 மிமீ (8 அங்குலம் / 12 அங்குலம்)

அரைக்கும் முறை: Z1/Z2 அச்சு: உள்ளீட்டு அரைத்தல் (வேஃபர் சுழற்சி)

Z3 அச்சு: இயல்புக்கு மாறான உள்ளீட்டு அரைத்தல் (சிறப்பு வேஃபர் சுழற்சி)

சுழல் அச்சு கட்டமைப்பு: மூன்று சுழல் அச்சுகள் (3 அச்சுகள்)

பணிமேசை கட்டமைப்பு: சுழலும் மேசை அமைப்பைப் பயன்படுத்தும் நான்கு சக் மேசைகள் (4 சக் மேசைகள்).

அரைக்கும்/மெருகேற்றும் கருவிகள்: Z1/Z2 அச்சு: Φ300 மிமீ வைர அரைக்கும் சக்கரம்

Z3 அச்சு (DP): Φ450 மிமீ உலர் மெருகூட்டும் திண்டு

Z3 அச்சு (CMP): Φ450 மிமீ CMP பாலிஷிங் பேட்

சாதனத்தின் பரிமாணங்கள்: 1,690 மிமீ (அகலம்) × 3,315 மிமீ (ஆழம்) × 1,800 மிமீ (உயரம்)

FOUP பொருத்தப்பட்ட மாதிரி: × 3,452 மிமீ (விட்டம்)

உபகரண எடை: சுமார் 6,700 கிலோகிராம் (டிபி, பாலிகிரிண்ட் கட்டமைப்பு)

சுமார் 6,900 கிலோகிராம் (CMP கட்டமைப்பு)

மின்சாரத் தேவைகள்: மூன்று கட்டம் 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

அழுத்தப்பட்ட காற்று: 0.5 MPa-க்கு மேல், தூய்மையான மற்றும் எண்ணெய் அற்ற, பனிநிலை -15℃-க்குக் கீழ்

முக்கிய செயல்பாடுகள் மற்றும் செயல்முறை நன்மைகள்:

DGP8761-இன் முக்கியப் போட்டித்திறன், பல செயல்முறைகளை வெற்றிகரமாக ஒருங்கிணைத்து, "1+1>2" என்ற விளைவை ஏற்படுத்துவதில் அடங்கியுள்ளது.

முழுமையான தீர்வு: உள்ளமைந்த ரோபோ கை மூலம், வேஃபர் ஆனது கரடுமுரடான அரைத்தல் → நுண் அரைத்தல் → உலர் மெருகூட்டல் → சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்துதல் ஆகிய முழு செயல்முறையையும் தானாகவே நிறைவு செய்கிறது. இது பலமுறை கையாளுவதால் ஏற்படும் துண்டு துண்டாகும் அபாயத்தைத் தவிர்த்து, உற்பத்திச் சுழற்சியை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. DGP8761 ஆனது, அதிக வளைவு வலிமையைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், 3μm-க்கும் குறைவான மொத்த தடிமன் மாறுபாட்டை (TTV) சீராக அடைய முடியும்.

உலர் மெருகூட்டல் மற்றும் கூழ்மப் பிரித்தெடுத்தல் (கெட்டிங்): இது DGP8761-இன் மிகவும் பாராட்டப்பட்ட அம்சங்களில் ஒன்றாகும். இது அரைக்கும் அழுத்த அடுக்கை அகற்ற Z3-அச்சு உலர் மெருகூட்டலைப் பயன்படுத்துகிறது. இது பாரம்பரிய ஈர செயல்முறைகளை விட சுற்றுச்சூழலுக்கு உகந்தது மட்டுமல்ல (இரசாயனங்கள் அல்லது நீர் பயன்படுத்தப்படுவதில்லை), மேலும் இது வேஃபரின் உள்ளே கட்டுப்படுத்தக்கூடிய நுண்-சேத அடுக்கை உருவாக்குகிறது. இது உலோக அசுத்தங்களைப் பிடிப்பதற்கான ஒரு "கெட்டர் மண்டலமாக" செயல்பட்டு, உற்பத்தி அளவையும் சில்லு நம்பகத்தன்மையையும் மேம்படுத்துகிறது. DISCO-வின் தனித்துவமான UltraPoligrind நுண்-தேய்மானத் தொழில்நுட்பம், கெட்டர் விளைவைத் தக்கவைத்துக்கொண்டு, முன்பு அடைய முடியாத உயர் சில்லு வலிமையையும் வழங்குகிறது.

நெகிழ்வான உள்ளமைவு மற்றும் பயன்பாட்டுச் சூழல்

DGP8761 ஒரு தனித்த சாதனம் அல்ல; அதை பல்வேறு தானியங்கு அமைப்புகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்க முடியும்.

இணைப்பு விரிவாக்கம்: மெல்லியதாக்கிய பிறகு, நேரடி DAF (டை அட்டாச் ஃபிலிம்) இணைப்பிற்காக, இதை DFM2800 பல்நோக்கு வேஃபர் அட்டாச்சருடன் இணைக்க முடியும். மெல்லிய வேஃபர்களின் உற்பத்தியை மேம்படுத்துவதற்காக, DBG (டைசிங் பிஃபோர் கிரைண்டிங்) போன்ற மேம்பட்ட செயல்முறை அமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கும் இதைப் பயன்படுத்தலாம்.

பராமரிப்பு மற்றும் உதிரி பாகங்கள்: டிஸ்கோவுடன் இணக்கமானது. 8000 தொடரானது உயர் இணக்கத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது, இதில் அரைக்கும் சக்கரங்கள் மற்றும் சீர்செய்யும் தகடுகள் போன்ற முக்கிய பாகங்கள் ஒன்றுக்கொன்று மாற்றிக்கொள்ளக்கூடியவையாக இருப்பதால், பராமரிப்பை எளிதாக்கி, உதிரி பாகங்களின் செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

மென்பொருள் மற்றும் செயல்பாடு: மேம்பட்ட 8000 தொடர் தொழில்நுட்பத்தை அடிப்படையாகக் கொண்ட வரைகலை பயனர் இடைமுகத்தைப் (GUI) பயன்படுத்துவதால், ஒருங்கிணைந்த இயக்க முறைமையானது இயக்குபவரின் பயிற்சி நேரத்தைக் குறைக்கிறது.

சந்தை நிலை மற்றும் பயன்பாடுகள்: DGP8761 ஆனது மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் (HPC/AI/3D IC), பவர் செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் MEMS சாதனங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மேலும், டிஸ்கோ தனது உலகளாவிய தொழில்நுட்ப மையங்களில் (சீனா மற்றும் சிங்கப்பூர் போன்றவை) இந்த உபகரணத்தைப் பயன்படுத்தி டைசிங் மற்றும் கிரைண்டிங் ஃபவுண்டரி சேவைகளையும் வழங்குகிறது.

பராமரிப்புக் கவனங்கள்: துல்லியத்தை உறுதிசெய்ய, DISCO-வின் சுற்றுச்சூழல் (வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் ±1°C வரம்பிற்குள், தூய்மையான அழுத்தப்பட்ட காற்று) மற்றும் நுகர்பொருள் தேவைகளைக் கண்டிப்பாகப் பின்பற்றுவது அவசியம். மேலும், Z3 அச்சு இயக்கத் தர்க்கம் (5 எந்திரச் செயலாக்க வரிசைகள் மற்றும் நிலை அளவுருக்கள் உட்பட) எந்திரச் செயலாக்க விளைச்சலை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது; தவறான அளவுரு அமைப்புகள் செயல்முறைச் சிக்கல்களுக்கு வழிவகுக்கும்.

சுருக்கம்: டிஸ்கோ DGP8761 என்பது உயர் துல்லியம், உயர் செயல்திறன் மற்றும் செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மை ஆகியவற்றை கச்சிதமாக ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு உயர்தர அரைக்கும்/மெருகூட்டல் இயந்திரமாகும். இது அதிநவீன, மிக மெல்லிய சில்லு உற்பத்திக்கு வழி வகுப்பது மட்டுமல்லாமல், அதன் சக்திவாய்ந்த அமைப்பு விரிவாக்கத் திறன் மூலம், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி ஸ்மார்ட் தொழிற்சாலைகளைக் கட்டமைப்பதில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகவும் மாறுகிறது. மிக உயர்ந்த செயல்திறன் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை நாடும் முன்னணி உற்பத்தியாளர்களுக்கு, இது ஒரு குறிப்பிடத்தக்க மூலோபாய முதலீடாக விளங்குகிறது.