டிஸ்கோ DFG8560 வேஃபர் அரைப்பான்

DFG800 தொடரின் மேம்படுத்தப்பட்ட பதிப்பாக, டிஸ்கோ DFG8560 ஒரு முழுமையான தானியங்கி வேஃபர் மெலிதாக்கும் இயந்திரமாகும். இது குறிப்பாக 12-அங்குல வேஃபர் மெலிதாக்குதலில் உள்ள சவால்களை எதிர்கொள்ளும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இதன் முக்கிய இயக்கக் கொள்கையானது, இரட்டைச் சுழல் தண்டு மற்றும் மும்முனைப் பிடிப்பான் உள்ளமைப்பை அடிப்படையாகக் கொண்டது. இது, மெலிதாக்கும் செயல்முறையின் "கரடுமுரடான அரைத்தல்" மற்றும் "நுண்ணிய அரைத்தல்" ஆகிய இரண்டு நிலைகளையும் ஒரே வேஃபர் இறுக்கும் செயல்பாட்டில் நிறைவு செய்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு, செயலாக்கத் திறனையும் துல்லியக் கட்டுப்பாட்டையும் கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

**செயல்பாட்டுக் கொள்கை**

DFG8560 ஆனது உயர்-துல்லியமான இயந்திர இயக்கத்தின் மூலம் வேஃபரை மெல்லியதாக்குகிறது:

**அதிக உறுதியான கட்டமைப்பு:** இந்த இயந்திரம், அதிக உறுதியான காற்றுத் தாங்கி சுழல் அச்சைப் பயன்படுத்துகிறது, இது அரைக்கும் செயல்முறை முழுவதும் சிறந்த நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

**இரண்டு-படி அரைக்கும் செயல்முறை:**

**கரடுமுரடான அரைத்தல்:** முதல் சுழல் அச்சு, சற்று பெரிய துகள்களைக் கொண்ட சக்கரத்தைப் பயன்படுத்துகிறது (உதாரணமாக, ரெசின் பிணைக்கப்பட்ட வைரச் சக்கரம்). அதிவேகச் சுழற்சியானது, வேஃபரின் பின்புறத்திலிருந்து பெரும்பாலான பொருளை விரைவாக அகற்றி, செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

**நுண்ணிய அரைத்தல்:** இரண்டாவது சுழல் அச்சு, வேஃபரைத் துல்லியமாக அரைப்பதற்காக, மிகவும் நுண்ணிய துகள்களைக் கொண்ட சக்கரத்தைப் (எ.கா., செராமிக் பிணைக்கப்பட்ட வைரச் சக்கரம்) பயன்படுத்துகிறது. இந்தச் செயல்முறை ஒரு மென்மையான, தட்டையான மேற்பரப்பை உருவாக்குவதோடு, கரடுமுரடான அரைத்தல் கட்டத்தின் போது உருவான சேதமடைந்த அடுக்கையும் நீக்குகிறது.

உண்மையான செயல்பாட்டில், சுழலும் சக்கில் உள்ள வேஃபர், வெற்றிட உறிஞ்சல் மூலம் நிலைநிறுத்தப்படுகிறது. அந்த சக், அதிவேக அரைக்கும் சக்கரத்திற்கு எதிர் திசையில் சுழல்கிறது; சக்கரம் செங்குத்தாகக் கீழ்நோக்கி நகர்ந்து, வேஃபரின் மேற்பரப்பை வெட்டுகிறது.

**முக்கிய அம்சங்கள்**

DFG8560-இன் முக்கிய செயல்பாடு வேஃபர் மெலிதாக்குதல் ஆகும். இதற்காக, இது பல முக்கிய செயல்பாடுகளை ஒருங்கிணைக்கிறது:

**முழுமையான தானியங்கி செயல்பாடு:** இந்த உபகரணம், வேஃபர் ஏற்றுதல், சீரமைத்தல், அரைத்தல், சுத்தம் செய்தல் முதல் இறக்குதல் வரையிலான முழுப் பணி ஓட்டத்தையும் தானியக்கமாக்குகிறது. இதன் மூலம், மனிதத் தலையீடு கணிசமாகக் குறைக்கப்பட்டு, உற்பத்தித் திறனும் மேம்படுகிறது.

**உயர்-துல்லியமான தடிமன் கட்டுப்பாடு:** உயர்-தெளிவுத்திறன் (0.1 μm) கொண்ட நேரடி தடிமன் அளவீட்டு அமைப்பை ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், இந்த உபகரணம் அரைக்கும் செயல்முறையின் மூடிய-சுற்று கட்டுப்பாட்டை அடைந்து, இறுதி வேஃபரின் தடிமனின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

**மிகவும் மெல்லிய வேஃபர் செயலாக்கம்:** அரைத்தல் மற்றும் செயலாக்க அமைப்பு அளவுருக்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம், DFG8560 ஆனது 100 μm அல்லது அதற்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட மிகவும் மெல்லிய வேஃபர்களை, வேஃபர் உடைவதற்கான அபாயத்தைக் குறைத்து, நிலையாகச் செயலாக்க முடியும்.

**குறை கண்டறிதல்:** இந்த அமைப்பு, வேஃபர் மேற்பரப்பில் உள்ள குறைபாடுகளைக் கண்டறிந்து, அடுத்தடுத்த பழுதுபார்க்கும் செயல்முறைகள் அல்லது பின்னூட்டச் சுழல்களுக்குத் தேவையான தரவு ஆதரவை வழங்குகிறது.

**பயனர்-நட்பு இடைமுகம்:** தொடுதிரை எல்சிடி மற்றும் வரைகலை பயனர் இடைமுகம் (GUI) ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ள இந்த அமைப்பு, செயலாக்கம் மற்றும் உபகரணத்தின் நிலையை நிகழ் நேரத்தில் காண்பித்து, செயல்பாடு மற்றும் பராமரிப்பை எளிமையாகவும் மேலும் உள்ளுணர்வுடனும் ஆக்குகிறது.

**இணையவழி ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் விரிவாக்கம்:** DFG8560-ஐ, பின்வரும் போன்ற மிகவும் சிக்கலான தானியங்கு உற்பத்தித் தொடர்களில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்க முடியும்:

**DBG (அச்சுக்குப் பிந்தைய அரைத்தல்) அமைப்பு:** சிறு துண்டுகளாக்குதல் மற்றும் மெல்லியதாக்கும் செயல்முறைகளை ஒருங்கிணைப்பதால், இது மிகவும் மெல்லிய சில்லுகளைத் தயாரிப்பதற்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக அமைகிறது.

**உலர் மெருகூட்டும் இயந்திரம் (எ.கா., DFP8160):** இது ஒரு ஒருங்கிணைந்த அமைப்பாகும். இது அரைத்தல் செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு உலர் மெருகூட்டலைச் செய்து, வேஃபர் மேற்பரப்பின் சொரசொரப்பை (Ry மதிப்பு) மேலும் குறைத்து, அரைப்பதால் ஏற்படும் சேதத்தையும் நீக்குகிறது.

**வேஃபர் லேமினேட்டர்/ஸ்ட்ரிப்பர்:** பாதுகாப்பு மெருகூட்டும் படலங்களைத் தானாகவே பூசுவதற்கும் அகற்றுவதற்கும் ஒருங்கிணைக்கப்பட்டு, ஒரு முழுமையான தானியங்கு பணிப்பாய்வை உருவாக்குகிறது.

**SECS/GEM தொடர்பு:** இந்தச் சாதனம் SECS/GEM தொடர்பு நெறிமுறையை ஆதரிக்கிறது, இது தொலைநிலை கண்காணிப்பு மற்றும் தானியங்கு உற்பத்தித் தரவு சேகரிப்புக்காக ஒரு தொழிற்சாலையின் உற்பத்திச் செயலாக்க அமைப்புடன் (MES) இணைக்க உதவுகிறது.

பயன்பாடுகள் மற்றும் செயல்பாடுகள்:

DFG8560-இன் முதன்மைச் செயல்பாடு, சிறு துண்டுகளாக்குதல் மற்றும் பொட்டலமிடுதல் போன்ற அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளுக்காக, சீரான தடிமன் மற்றும் சிறந்த மேற்பரப்புத் தரம் கொண்ட வேஃபர்களை வழங்குவதாகும்; மேலும், அதன் பரந்த மூலப்பொருள் இணக்கத்தன்மை, இதனைப் பலதரப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கும் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது.

**வேஃபர் மெலிதாக்குதல்:** வேஃபரின் தடிமனை அதன் அசல் தடிமனிலிருந்து ஒரு இலக்கு தடிமனுக்குக் குறைப்பது—இது ஏறக்குறைய அனைத்துப் பயன்பாடுகளுக்கும் ஒரு அடிப்படைத் தேவையாகும்.

**சேத அடுக்கு நீக்கம்:** சில்லின் இயந்திர வலிமையை உறுதி செய்வதில் ஒரு முக்கிய படியான, முந்தைய செயல்முறைகளில் (பின்புற அரைத்தல் போன்றவை) உருவாகும் அழுத்தத்தால் சேதமடைந்த அடுக்குகளை அகற்றுதல்.

**மேற்பரப்பு சமதளமாக்கல்:** ஒளிக்கற்கலை மற்றும் பிணைத்தல் போன்ற அடுத்தடுத்த துல்லியமான செயல்முறைகளுக்கு மிகவும் தட்டையான ஒரு அடித்தளத்தை வழங்குதல்—இது உயர்-துல்லியமான உற்பத்திக்கு ஒரு முன்நிபந்தனையாகும்.

**3D பேக்கேஜிங் மற்றும் TSV வெளிப்பாடு:** த்ரூ-சிலிக்கான் வயாஸ் (TSV) தொழில்நுட்பத்தை செயல்படுத்துவதற்குத் தேவையான மெல்லிய வேஃபர்களை வழங்குதல் மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கின் ஒரு முக்கிய அங்கமான TSV கட்டமைப்பின் அடிப்பகுதியைத் துல்லியமாக வெளிப்படுத்துதல்.

மின்சக்தி மற்றும் RF சாதன உற்பத்தி: ஆன்-ரெசிஸ்டன்ஸைக் குறைக்கவும், வெப்பச் சிதறலை மேம்படுத்தவும் SiC, GaN மற்றும் பிற கூட்டு குறைக்கடத்தித் தகடுகளை மெல்லியதாக்கப் பயன்படுகிறது.

ஒளியியல் சாதனம் மற்றும் வடிகட்டி உருவாக்கம்: நீலக்கல் (LED அடித்தளம்) மற்றும் லித்தியம் டான்டலேட்/லித்தியம் நையோபேட் (RF வடிகட்டி) போன்ற கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களைத் துல்லியமாக மெல்லியதாக்கவும் சமதளமாக்கவும் பயன்படுகிறது.

விரிவான விவரக்குறிப்புகள்

விவரக்குறிப்புகள் விவரக்குறிப்புகள்

பொருந்தக்கூடிய பணிப்பொருள் அளவு: Φ300 மிமீ (12 அங்குலம்). யுனிவர்சல் சக் Φ200 மிமீ/Φ300 மிமீ வேஃபர்களைத் தாங்கும்.

அரைக்கும் முறை: வேஃபர் சுழற்சி நீள்வட்ட உள்ளீட்டு அரைத்தல்.

சுழல் அச்சு கட்டமைப்பு: இரட்டை சுழல் அச்சுகள் (2 அச்சுகள்). உள்ளமைக்கப்பட்ட உயர் அதிர்வெண் மோட்டார் மூலம் இயக்கப்படும் காற்று நிலை சுழல் அச்சு.

சக் டேபிள் கட்டமைப்பு: சுழலும் டேபிள் அமைப்பைப் பயன்படுத்தும் மூன்று சக் டேபிள்கள். சக் வேகம்: 0-300 ஆர்பிஎம்.

சுழல் திறன்: மதிப்பிடப்பட்ட வெளியீடு 4.8 kW.

சுழல் வேகம்: 1,000 - 4,000 min⁻¹ (rpm).

Z-அச்சு நகர்வு: 120 மிமீ (ஆரம்பப் புள்ளி உட்பட).

Z-அச்சு அரைத்தல் ஊட்டு விகிதம்: 0.0001 - 0.08 மிமீ/வி (0.1 - 80 μm/வி).

குறைந்தபட்ச Z-அச்சு நகர்வு: 0.1 μm.

தடிமன் அளவீட்டு வரம்பு: 0 - 1,800 μm.

தடிமன் அளவீட்டுத் துல்லியத்தன்மை: 0.1 μm.

தடிமன் அளவீட்டின் மீள்நிகழ்வுத்தன்மை: ±0.5 μm.

அரைக்கும் சக்கரத்தின் விவரக்குறிப்புகள்: Φ300 மிமீ வைர அரைக்கும் சக்கரம்.

வேஃபருக்குள் தடிமன் விலகல் (TTV): 3.0 μm-க்கும் குறைவு (பிரத்யேக வேலைத்தளம், φ300 மிமீ வேஃபரைப் பயன்படுத்தி).

வேஃபர்களுக்கு இடையேயான தடிமன் விலகல்: ±3.0 μm-க்கும் குறைவு.

இறுதிப் பணிக்குப் பிந்தைய மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு: Ry தோராயமாக 0.13 μm (#2000 அரைக்கும் சக்கரத்தைப் பயன்படுத்தும்போது); Ry தோராயமாக 0.15 μm (#1400 அரைக்கும் சக்கரத்தைப் பயன்படுத்தும்போது).

உபகரணத்தின் பரிமாணங்கள் (அகலம் × ஆழம் × உயரம்): ஏறத்தாழ 1,400 × 3,190 × 1,800 மிமீ.

உபகரணத்தின் எடை: ஏறத்தாழ 4,000 கிலோகிராம்.

தேவையான மின்சக்தி: மூன்று-கட்ட 200/220/380/400 V, 50/60 Hz, அதிகபட்ச மின் நுகர்வு தோராயமாக 22 kVA.

தேவையான அழுத்தப்பட்ட காற்று: 0.5 MPa-க்கு மேல், சுத்தமான மற்றும் எண்ணெய் அற்றது, -15℃-க்குக் குறைவான பனிநிலை, பாய்வு விகிதம் தோராயமாக 1,000 NL/நிமிடம்.

நீர் வழங்கல் தேவைகள்: DI நீர் (அயனி நீக்கப்பட்ட நீர்), வெப்பநிலை 23±1℃, பாய்வு விகிதம் 6-10 லி/நிமிடம்.

முக்கிய நன்மைகள்

பின்வரும் நன்மைகளுடன், DFG8560 ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட வேஃபர் மெலிதாக்கும் சாதனமாக சந்தையில் தனது நிலையைத் தொடர்ந்து வலுப்படுத்தி வருகிறது:

உயர் அரைத்தல் துல்லியம்: உகந்த வடிவமைப்பின் மூலம், அரைத்தல் தரம் திறம்பட மேம்படுத்தப்பட்டு, சிறந்த வேஃபர் உள் தடிமன் சீரான தன்மை (TTV) மற்றும் வேஃபர் இடையேயான நிலைத்தன்மை அடையப்படுகிறது. இது மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் போன்ற சவாலான செயல்முறைகளுக்கான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

நிலையான அரைப்புத் தரம்: மேம்படுத்தப்பட்ட அரைப்பு மற்றும் கையாளும் அளவுருக்கள், மிக மெல்லிய வேஃபர்களை நிலையாக அரைக்க உதவுகின்றன. இது உடைப்பு விகிதத்தைத் திறம்படக் கட்டுப்படுத்துவதோடு, அதிக மதிப்புள்ள பெரிய அளவிலான வேஃபர்களுக்கு இது மிகவும் இன்றியமையாததாகும்.

மேம்பட்ட விரிவாக்கத் திறன்: உற்பத்தி வரிசை மேம்பாடுகளுக்கு ஏற்ப நெகிழ்வாகத் தகவமைத்து, பயனரின் முதலீட்டை முழுமையாகப் பாதுகாக்கும் வகையில், DBG மற்றும் உலர் மெருகூட்டல் போன்ற ஏராளமான நேரடி ஒருங்கிணைப்பு விருப்பங்களை வழங்குகிறது.

வலுவான இணக்கத்தன்மை: சிலிக்கான், SiC, GaN, சபையர், LT/LN போன்ற பல்வேறு பொருட்களைக் கையாளும் திறன் கொண்டது, இது பல்வேறு குறைக்கடத்திகள் மற்றும் ஒளியியல் மின்னணு சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கு குறிப்பிடத்தக்க செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்குகிறது.

பயன்படுத்துவதற்கு எளிதானது மற்றும் பராமரிக்க எளிதானது: பயன்படுத்துவதற்கு எளிதான வரைகலை பயனர் இடைமுகம் (GUI) மற்றும் தொடுதிரை ஆகியவை இயக்குவதற்கான சிரமத்தை வெகுவாகக் குறைக்கின்றன. அதே சமயம், முக்கிய பாகங்கள் 800 தொடருடன் ஒன்றுக்கொன்று மாற்றிக்கொள்ளக்கூடியவையாக இருப்பதால், உதிரி பாகங்களின் இருப்புச் செலவுகளும், இயந்திரம் இயங்காமல் போகும் அபாயங்களும் குறைகின்றன.

இலகு எடை வடிவமைப்பு: விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் செயல்திறனைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், 1.0 டன் எடை குறைப்பு (சுமார் 20%) அடையப்பட்டது. இந்த இலகுவான உபகரணம், நிறுவல் செயல்முறையை எளிதாக்குவதோடு, தொழிற்சாலைத் தளத்தின் சுமை தாங்கும் தேவைகளையும் குறைக்கிறது.

தொழில்நுட்ப அம்சங்களின் சுருக்கம்: இரட்டை அச்சு மூன்று உறிஞ்சிக் கோப்பை வடிவமைப்பு: கரடுமுரடான அரைத்தல் மற்றும் நுண் அரைத்தல் ஆகியவற்றைத் தனித்தனியாகப் பிரித்து, ஒரே இறுக்கும் செயல்பாட்டில் அவற்றை நிறைவுசெய்து, செயல்திறனை மேம்படுத்துவதோடு துல்லியத்தையும் உறுதி செய்கிறது.

காற்று நிலை சுழல் அச்சு: காற்று நிலை சுழல் அச்சைப் பயன்படுத்துவதால், இந்த வடிவமைப்பு இயந்திரத் தொடர்பை நீக்குகிறது. இதன் விளைவாக, தேய்மானம் குறைவாக இருப்பதுடன், நீண்ட காலத்திற்கு உயர் சுழற்சித் துல்லியமும் பராமரிக்கப்படுகிறது. இது மிக உயர்ந்த எந்திரத் துல்லியத்தை அடைவதற்கான ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.

இரட்டை அரைப்புப் புள்ளி சீரமைப்புத் தொழில்நுட்பம்: இந்தத் தொழில்நுட்பம், இரண்டு சுழல் அச்சுகள் ஒரே இயற்பியல் அரைப்பு நிலையைப் பகிர்ந்துகொள்ள அனுமதிக்கிறது. இதன்மூலம், செயலாக்கப் புள்ளிகளின் சீரற்ற தன்மையால் ஏற்படும் அமைப்பு ரீதியான பிழைகள் நீக்கப்படுகின்றன. இது ஒரே நேரத்தில், ஒரே சிலிக்கான் தகட்டிற்குள் தடிமன் சீரான தன்மையையும் (TTV) மற்றும் சிலிக்கான் தகடுகளுக்கு இடையில் தடிமன் நிலைத்தன்மையையும் மேம்படுத்துகிறது. இதனால், இது நிலையான மிக மெல்லிய அரைத்தலை அடைவதற்கான ஒரு முக்கியத் தொழில்நுட்பமாக விளங்குகிறது.

சுருக்கம்: முடிவாக, டிஸ்கோ DFG8560 என்பது பெருமளவு உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, முழுமையாகத் தானியங்குபடுத்தப்பட்ட 12-அங்குல வேஃபர் மெலிதாக்கும் ஒரு தீர்வாகும். இதன் முக்கிய அம்சங்களில் துல்லியமான இரட்டைச் சுழல் அச்சு கட்டமைப்பு மற்றும் மேம்பட்ட அமைப்பு நிலைத்தன்மை ஆகியவை அடங்கும். இவை, பெரிய மற்றும் மிக மெல்லிய வேஃபர்களைச் செயலாக்கும்போது, ​​மிக உயர்ந்த சீரான தன்மையையும் மேற்பரப்புத் தரத்தையும் வழங்குவதோடு, சக்திவாய்ந்த தானியங்கு ஒருங்கிணைப்புத் திறன்களையும் அளிக்கின்றன.