டிஸ்கோ DFG8830 வேஃபர் கிரைண்டர்

ஜப்பானின் டிஸ்கோ கார்ப்பரேஷனால் அறிமுகப்படுத்தப்பட்ட டிஸ்கோ DFG8830 என்பது, கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களுக்கான ஒரு முழுமையான தானியங்கி மெலிதாக்கும் மற்றும் மெருகூட்டும் இயந்திரமாகும். SiC மற்றும் சபையர் போன்ற மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி/ஒளியியல் சார்ந்த கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களைத் திறமையாகவும், குறைந்த சேதத்துடனும் மெலிதாக்குவதே இதன் முக்கிய நோக்கமாகும். 4-அச்சு, 5-நிலை கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ள இது, அதிக உற்பத்தித் திறனையும் உயர் துல்லியத்தையும் சமநிலைப்படுத்துவதால், 6-8 அங்குல கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய வேஃபர்களை மெலிதாக்குவதற்கான ஒரு பிரதான இயந்திரமாகத் திகழ்கிறது.

I. மைய நிலைப்படுத்தல் மற்றும் பயன்பாட்டுச் சூழ்நிலைகள்

1. மைய நிலைப்படுத்தல்

அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் எளிதில் உடையக்கூடிய தன்மை கொண்ட பொருட்களுக்காக (SiC, நீலக்கல், பீங்கான், கண்ணாடி போன்றவை) பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முழுமையான தானியங்கி மெருகூட்டும் மற்றும் மெலிதாக்கும் இயந்திரம். இது பாரம்பரிய உபகரணங்களில் காணப்படும் குறைந்த செயலாக்கத் திறன், அதிக சேதம் மற்றும் குறைந்த உற்பத்தி அளவு போன்ற பெரும் சிக்கல்களுக்குத் தீர்வு காண்கிறது.

2. பொதுவான பயன்பாடுகள்

குறைக்கடத்திகள்: SiC/GaN பவர் வேஃபர்களை (6-8 அங்குலம்) மெல்லியதாக்குதல், சபையர் சப்ஸ்ட்ரேட்களை (LED சிப்புகள்) மெல்லியதாக்குதல்.

ஒளியியல்: ஒளிக்கண்ணாடி, பீங்கான் தளங்கள் மற்றும் அகச்சிவப்புப் பொருட்களை மெல்லியதாக்குதல்.

மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்: கண்ணாடி/பீங்கான் ஆதரவுத் தளங்களைக் கொண்ட கூட்டுத் தகடுகளை மெல்லியதாக்குதல் (மொத்த தடிமன் ≤ 3.5 மிமீ).

3. பொருந்தக்கூடிய அளவுகள்

பதப்படுத்தப்பட்ட வேஃபர்கள்: Φ4/5/6 அங்குலம் (அதிகபட்ச Φ150மிமீ).

ஆதரவுத் தளங்கள்: Φ5/6/8 அங்குலம் (6-அங்குல வேஃபர்களைத் தாங்கும் 8-அங்குலத் தளங்களுடன் இணக்கமானது).

II. ஒட்டுமொத்த கட்டமைப்பு மற்றும் மைய உள்ளமைவு

1. ஒட்டுமொத்த கட்டமைப்பு

அமைப்பு: 4 சுழல் அச்சுகள் + 5 சக் மேசைகள் + 1 சுழல் மேசை, ஏற்றுதல், அரைத்தல், சுத்தம் செய்தல், உலர்த்துதல் மற்றும் இறக்குதல் ஆகிய முழு செயல்முறையையும் ஒருங்கிணைத்து, வெறும் 3.5㎡ இடத்தை மட்டுமே ஆக்கிரமித்து, கச்சிதமாகவும் திறமையாகவும் செயல்படுகிறது.

பரிமாணங்கள் (அகலம்×ஆழம்×உயரம்): 1400×2500×2000 மிமீ; எடை: சுமார் 6000 கிலோ.

2. முக்கிய கூறுகள்

(1) சுழல் அமைப்பு (4 அச்சுகள், Z1-Z4)

திறன்: Z1-Z3 ஆகியவை 6.3kW (அதிக விறைப்புத்தன்மை, அதிக முறுக்குவிசை, கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களின் மீது அதிக பளுவைத் தாங்குவதற்கு ஏற்றது); Z4 என்பது இறுதி மெருகூட்டும் அச்சு. சுழற்சி வேகம்: 1000-4000 min⁻¹ (நிலையான திறன் வெளியீடு, கரடுமுரடான/நுண்ணிய அரைத்தலுக்கு ஏற்றது).

அரைக்கும் சக்கரம்: தரமான Φ300மிமீ வைர அரைக்கும் சக்கரம் (பெரிய விட்டம், அதிக அகற்றும் திறன், கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களுக்கு ஏற்றது).

(2) பணிமேசை அமைப்பு

5 வெற்றிட உறிஞ்சும் கோப்பை வேலை மேசைகள் மற்றும் 1 சுழலும் மேசை ஆகியவை, DFG8340 போன்ற ஒற்றை-அச்சு உபகரணங்களை விட மூன்று மடங்கு அதிக UPH (மணிநேரத்திற்கான உச்சபட்ச கொள்ளளவு) உடன், இணைச் செயலாக்கத்தையும் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டையும் சாத்தியமாக்குகின்றன.

வெற்றிட உறிஞ்சுதல் மற்றும் ±2μm நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் ஆகியவை, மெல்லியதாக்கப்பட்ட பிறகு வேஃபரின் மொத்த தடிமன் விலகல் (TTV) ≤2μm ஆக இருப்பதை உறுதி செய்கின்றன.

(3) கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு

இயக்க இடைமுகம்: 15-அங்குல தொடுதிரை வரைகலை பயனர் இடைமுகம் (GUI), ஐகான் அடிப்படையிலான செயல்பாடு, நிகழ்நேரக் கண்காணிப்பு, அளவுரு சேமிப்பு மற்றும் அசாதாரண எச்சரிக்கைகளை ஆதரிக்கிறது.

கட்டுப்பாட்டு மையம்: உயர்-துல்லிய செர்வோ + கிரேட்டிங் மூடிய-சுற்று, தடிமன் கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியம் ±0.1μm, மைக்ரான்-நிலை மெலிதாக்கத்தை (50μm வரை) ஆதரிக்கிறது. 3. முக்கிய தொகுதிகள்

அரைக்கும் தொகுதி: 4-அச்சு வேலைப் பகிர்வு (Z1 கரடுமுரடான அரைத்தல் → Z2 நடுத்தர அரைத்தல் → Z3 நுண் அரைத்தல் → Z4 மெருகூட்டுதல்/பினிஷிங்), ஒரே இறுக்கத்தில் பல செயல்முறைகளை நிறைவுசெய்து, கையாளும் போது ஏற்படும் சேதத்தைக் குறைக்கிறது.

சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்தும் கூறு: அரைத்த பிறகு தூய நீரைத் தெளித்து + அயனி காற்றால் உலர்த்துதல், இதனால் எந்த எச்சமோ அல்லது நீர் கறைகளோ ஏற்படாது, மேலும் இது குறைக்கடத்தித் தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

தானியங்கி ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல்: இரட்டைப் பொருள் பெட்டிகள் (ஒரு பெட்டிக்கு 25 வேஃபர்கள்), வேஃபர்கள்/அடி மூலக்கூறுகளைத் தானாகவே அடையாளம் கண்டு, மனிதத் தலையீட்டைக் குறைக்கிறது.

III. செயல்பாட்டுக் கொள்கை மற்றும் செயல்முறை ஓட்டம்

1. அரைத்தல் கொள்கை

வேஃபர் சுழற்சி + உள்ளீட்டு அரைத்தல் முறையைப் பயன்படுத்துகிறது: வேஃபர் வேலை மேசையுடன் அதிவேகத்தில் சுழல்கிறது, மேலும் வைர அரைக்கும் சக்கரம் அச்சு வழியே நகர்ந்து, உராய்வு வெட்டு + நுண்-பிளவு மூலம் பொருளை நீக்குகிறது. கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களுக்கு, உடையக்கூடிய தன்மையை நீக்குவதே முதன்மை முறையாகும், இது நெகிழ்வு நீக்கத்துடன் கூடுதலாகச் செய்யப்பட்டு, பிளவு ஆழம் ≤5μm எனக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.

2. நிலையான செயல்முறை ஓட்டம்

ஏற்றுதல்: ஒரு ரோபோ கை மூலப்பொருள் பெட்டியிலிருந்து வேஃபரை எடுத்து → அதை சரியான இடத்தில் வைத்து → வேலை மேசையின் மீது வெற்றிட உறிஞ்சல் மூலம் பொருத்துகிறது.

கரடுமுரடான அரைத்தல் (Z1): அதிக அகற்றும் விகிதம் (50-100μm/நிமிடம்), இலக்குத் தடிமன் + 20μm வரை விரைவாக மெலிதாக்குகிறது.

நடுத்தர அரைத்தல் (Z2): நடுத்தர அகற்றும் விகிதம் (20-50μm/நிமிடம்), சேதமடைந்த அடுக்கை இலக்குத் தடிமன் + 5μm அளவிற்கு குறைக்கிறது.

நுண்ணிய அரைத்தல் (Z3): குறைந்த அகற்றும் விகிதம் (5-10μm/நிமிடம்), TTV ≤ 2μm, சேதமடைந்த அடுக்கு ≤ 2μm.

மெருகூட்டல்/மேற்பரப்பு இறுதிப்படுத்தல் (Z4): கண்ணாடி போன்ற பளபளப்பு, மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு Ra ≤ 0.1μm.

சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்துதல்: சுத்தமான நீர் தெளித்தல் → அயனிக் காற்றில் உலர்த்துதல் → பொருள் பெட்டியில் இறக்குதல்.

3. அடி மூலக்கூறு செயலாக்க ஓட்டத்திற்கான ஆதரவு: கண்ணாடி/பீங்கான் அடி மூலக்கூறு கலப்பு வேஃபர்களுக்கு (மொத்த தடிமன் ≤ 3.5 மிமீ) ஏற்றது, அடி மூலக்கூறின் வெற்றிட உறிஞ்சலானது வேஃபரின் முன்பக்கத்தைப் பாதுகாக்கிறது, பின்பக்கத்தை மட்டும் அரைப்பதன் மூலம், மிக மெல்லிய வேஃபர்களில் ஏற்படும் வளைதல் மற்றும் உடைதல் சிக்கல்களைத் தீர்க்கிறது.

IV. முக்கிய தொழில்நுட்ப நன்மைகள்

1. கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களுக்கு வலுவான ஏற்புத்திறன்

உயர் சக்தி சுழல் அச்சு (6.3kW) மற்றும் பெரிய விட்டம் கொண்ட வைர அரைக்கும் சக்கரம் ஆகியவற்றின் மூலம், SiC/நீலக்கல் பதப்படுத்தும் செயல்திறன் 3 மடங்கு அதிகரிக்கப்பட்டு, சக்கரத்தின் ஆயுட்காலம் 50% நீட்டிக்கப்படுகிறது.

குறைந்த சேத அரைத்தல் செயல்முறை: சேத அடுக்கு ≤2μm, உற்பத்தி அளவு ≥99%, இது பாரம்பரிய மெருகூட்டல் செயல்முறைகளை விட மிகவும் சிறந்தது.

2. உயர் செயல்திறன் உற்பத்தித் திறன் (4 அச்சுகள், 5 பணிமேசைகள்)

இணை செயலாக்கம்: 4 அச்சுகள் ஒரே நேரத்தில் இயங்குதல், 5 பணிமேசைகள் தொடர்ச்சியாகச் சுழலுதல், UPH≥30 வேஃபர்கள் (6-அங்குல SiC), இது ஒற்றை-அச்சு உபகரணத்தை விட 3 மடங்கு அதிகம்.

முழுமையாகத் தானியங்குபடுத்தக்கூடியது: ஏற்றுதல், இறக்குதல், அரைத்தல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்துதல் ஆகியவை ஒருங்கிணைந்தவை; 24 மணி நேரமும் ஆளில்லாமல் தொடர்ச்சியாக இயங்கும்.

3. உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் நிலைத்தன்மை

தடிமன் கட்டுப்பாடு: ±0.1μm, TTV≤2μm, இது வாகனத் தர SiC வேஃபர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

திடமான கட்டமைப்பு: வார்ப்பிரும்பு உடல் + அதிர்வு தணிக்கும் வடிவமைப்பு, அதிர்வு ≤0.5μm, நீண்ட கால செயல்பாட்டின் போது துல்லியத்தில் எந்த மாற்றமும் ஏற்படாது. 4. நெகிழ்வான தகவமைப்பு மற்றும் குறைந்த இயக்கச் செலவுகள்

பல்அளவு இணக்கத்தன்மை: 6-அங்குல வேஃபர்கள் மற்றும் 8-அங்குல சப்ஸ்ட்ரேட்டுகளுடன் இணக்கமானது, இது பல்நோக்கு பயன்பாட்டை அனுமதிப்பதோடு, உபகரண முதலீட்டையும் குறைக்கிறது.

பசுமைச் செயலாக்கம்: தூய நீரை மட்டுமே பயன்படுத்துவதால், மெருகூட்டும் கூழ்மக் கலப்படம் நீக்கப்படுகிறது; கழிவுநீரை நேரடியாக வெளியேற்ற முடிவதால், இயக்கச் செலவுகள் 30% குறைகின்றன.

V. முக்கிய தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள் அட்டவணை

அட்டவணை அளவுரு மதிப்பு

செயலாக்க வேஃபர் அளவு Φ4/5/6 அங்குலம் (அதிகபட்சம் Φ150மிமீ)

ஆதரவு அடித்தள அளவு Φ5/6/8 அங்குலம்

சுழல் அச்சுகளின் எண்ணிக்கை / திறன் 4 அச்சுகள், Z1-Z3: 6.3kW

சுழல் வேகம் 1000-4000 நிமிடம்⁻¹

அரைக்கும் சக்கரத்தின் விவரக்குறிப்பு Φ300மிமீ வைர அரைக்கும் சக்கரம்

தடிமன் கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியம் ±0.1μm

TTV (மொத்த தடிமன் விலகல்) ≤2μm

மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு Ra≤0.1μm

கொள்ளளவு (6-அங்குல SiC) UPH≥30 வேஃபர்கள்

இயந்திரத்தின் ஒட்டுமொத்த பரிமாணங்கள் (அகலம்×ஆழம்×உயரம்) 1400×2500×2000மிமீ

எடை தோராயமாக 6000 கிலோ

தரைப்பரப்பு 3.5㎡

VI. ஒத்த உபகரணங்களுடன் ஒப்பீடு (DFG8830 மற்றும் DFG8340 ஒப்பீடு)

மேசை ஒப்பீட்டுப் பொருள் DFG8830 (4 அச்சுகள், 5 வேலை மேசைகள்) DFG8340 (1-அச்சு, 2-நிலை)

சுழல் அச்சு கட்டமைப்பு: 4×6.3kW, கரடுமுரடான/மென்மையான/பளபளப்பான பிரிவு: 1×4.2kW, ஒற்றை செயல்முறை

கொள்ளளவு: UPH≥30 வேஃபர்கள் (6-அங்குல SiC), UPH≤10 வேஃபர்கள் (6-அங்குல SiC)

செயலாக்கத் துல்லியம்: TTV≤2μm, சேத அடுக்கு≤2μm, TTV≤5μm, சேத அடுக்கு≤5μm

பொருத்தமான பொருட்கள்: SiC, சபையர், கூட்டுத் தகடுகள் (அடிதளத்துடன்), சிலிக்கான் தகடுகள், குறைந்த கடினத்தன்மை கொண்ட பீங்கான்கள்

மரபு: 3.5㎡, 2㎡

பொருந்தக்கூடிய சூழல்கள்: பெருமளவு உற்பத்தி, அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்கள்; சிறு தொகுதி, சிலிக்கான் தகடுகள்/குறைந்த கடினத்தன்மை கொண்ட பொருட்கள்

VII. சுருக்கம் மற்றும் தொழில்துறை மதிப்பு

டிஸ்கோ DFG8830, அதன் 4-அச்சு, 5-நிலை கட்டமைப்பு, உயர்-சக்தி சுழல் தண்டு மற்றும் குறைந்த சேத செயல்முறை ஆகியவற்றால், மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள் (SiC/GaN) மற்றும் சபையர் ஒளியியல் அடிமூலக்கூறுகளை மெல்லியதாக்குவதற்கான ஒரு அளவுகோல் சாதனமாக மாறியுள்ளது. இது கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களைப் பதப்படுத்துவதில் உள்ள குறைந்த செயல்திறன், அதிக சேதம் மற்றும் குறைந்த உற்பத்தி போன்ற தொழில்துறையின் முக்கிய சிக்கல்களைத் தீர்க்கிறது. புதிய ஆற்றல் வாகனங்கள், 5G தகவல் தொடர்பு மற்றும் LED விளக்குகள் போன்ற துறைகளில், DFG8830 ஆனது SiC சக்தி சாதனங்கள் மற்றும் சபையர் LED சில்லுகள் பெருமளவில் உற்பத்தி செய்ய உதவுகிறது. மேலும், இது குறைக்கடத்தித் தொழில்துறையை அகன்ற பட்டை இடைவெளி, மெல்லிய வடிவங்கள் மற்றும் உயர் செயல்திறனை நோக்கி செலுத்துகிறது.