DISCO DFG8830 vöfflukvörn

DISCO DFG8830 er fullkomlega sjálfvirk þynningar- og fægingarvél fyrir hörð og brothætt efni, sett á markað af DISCO Corporation í Japan. Megináherslan er á skilvirka og skemmdalitla þynningu á þriðju kynslóð hálfleiðara/ljósfræðilegra hörðra og brothættra efna eins og SiC og safír. Með 4-ása, 5-þrepa arkitektúr jafnar hún mikinn afköst og mikla nákvæmni, sem gerir hana að almennri vél fyrir þynningu 6-8 tommu harðra og brothættra skífa.

I. Kjarnastaðsetning og notkunarsviðsmyndir

1. Kjarnastaða

Fullsjálfvirk pússunar- og þynningarvél, sérstaklega hönnuð fyrir efni með mikla hörku og brothættni (SiC, safír, keramik, gler o.s.frv.), sem leysir vandamál eins og lág vinnsluhagkvæmni, miklar skemmdir og lágt afköst í hefðbundnum búnaði.

2. Dæmigert notkunarsvið

Hálfleiðarar: Þynning SiC/GaN aflplötur (6-8 tommur), þynning safírundirlaga (LED-flögur).

Ljósfræði: Þynning á ljósgleri, keramikundirlögum og innrauðum efnum.

Ítarleg pökkun: Þynning samsettra skífa með gler-/keramikundirlagi (heildarþykkt ≤ 3,5 mm).

3. Samhæfðar stærðir

Unnar vöfflur: Φ4/5/6 tommur (hámark Φ150 mm).

Stuðningsundirlag: Φ5/6/8 tommur (samhæft við 8 tommu undirlag sem styðja 6 tommu skífur).

II. Heildarbygging og kjarnauppsetning

1. Heildararkitektúr

Skipulag: 4 spindlar + 5 chuckborð + 1 snúningsborð, sem samþættir allt ferlið við hleðslu, mala, hreinsun, þurrkun og affermingu, tekur aðeins 3,5㎡ pláss, er nett og skilvirkt.

Stærð (B×D×H): 1400×2500×2000 mm; Þyngd: Um það bil 6000 kg.

2. Kjarnaþættir

(1) Snældukerfi (4 ásar, Z1-Z4)

Afl: Z1-Z3 eru 6,3 kW (mikil stífleiki, mikið tog, hentug fyrir mikið álag á hörð og brothætt efni); Z4 er frágangsásinn. Snúningshraði: 1000-4000 mín⁻¹ (stöðug afköst, hentug fyrir gróf-/fínslípun).

Slípihjól: Staðlað Φ300mm demantslípihjól (stórt þvermál, mikil slítahraði, hentugt fyrir hörð og brothætt efni).

(2) Vinnuborðskerfi

Fimm vinnuborð með sogbollum og eitt snúningsborð gera kleift að vinna samsíða og vera stöðugt í notkun, með efri afkastagetu á klukkustund (UPH) sem er þrefalt meiri en hjá búnaði með einum ás (eins og DFG8340).

Tómarúmsadsorption + staðsetningarnákvæmni ±2μm tryggir að TTV (heildarþykktarfrávik) skífunnar eftir þynningu sé ≤2μm.

(3) Stjórnkerfi

Stýrikerfi: 15 tommu snertiskjár, táknbundin notkun, styður rauntíma eftirlit, geymslu breytu og óeðlilegar viðvaranir.

Stýrikjarni: Hánákvæm servó + rif með lokuðu lykkjakerfi, nákvæmni þykktarstýringar ±0,1μm, styður þynningu á míkronstigi (niður í 50μm). 3. Lykileiningar

Slípunareining: 4-ása verkaskipting (Z1 grófslípun → Z2 meðalslípun → Z3 fínslípun → Z4 pússun/frágangur), lýkur mörgum ferlum í einni klemmu, sem dregur úr skemmdum við meðhöndlun.

Þrif- og þurrkunareining: Úða með hreinu vatni + jónþurrkun í lofti eftir mala, skilur ekki eftir leifar eða vatnsmerki, uppfyllir kröfur um hreinleika hálfleiðara.

Sjálfvirk hleðsla og afferming: Tvöfaldur efniskassi (25 skífur í hverjum kassa), sem greinir skífur/undirlag sjálfkrafa og dregur úr handvirkri íhlutun.

III. Vinnuregla og ferlisflæði

1. Kvörnunarregla

Notar snúning á skífum + innmatsslípunaraðferð: Skífan snýst á miklum hraða með vinnuborðinu og demantslíphjólið færir áslægt og fjarlægir efnið með slípiskurði + örsprungu. Fyrir hörð og brothætt efni er aðalaðferðin að fjarlægja brothætt efni, ásamt plastfjarlægingu, sem stjórnar sprungudýpt ≤5μm.

2. Staðlað ferli

Hleðsla: Vélmenni tekur upp skífuna úr efniskassanum → staðsetur hana → lofttæmir hana á vinnuborðið.

Grófmalun (Z1): Mikil hreinsunarhraði (50-100μm/mín), hraðþynning niður í markþykkt + 20μm.

Miðlungs mala (Z2): Miðlungshraði fjarlægingar (20-50μm/mín), sem minnkar skemmda lagið niður í markþykkt + 5μm.

Fínmala (Z3): Lágt hreinsunarhraði (5-10μm/mín), TTV ≤ 2μm, skemmt lag ≤ 2μm.

Pólun/Yfirborðsfrágangur (Z4): Spegilglær áferð, yfirborðsgrófleiki Ra ≤ 0,1μm.

Þrif og þurrkun: Úði með hreinu vatni → jónþurrkun → losun í efniskassann.

3. Stuðningur við vinnsluflæði undirlags: Aðlagast samsettum skífum úr gleri/keramik undirlagi (heildarþykkt ≤ 3,5 mm), lofttæmisadsorption undirlagsins verndar framhlið skífunnar, malar aðeins bakhliðina, sem leysir vandamál með aflögun og brot í öfgaþunnum skífum.

IV. Helstu tæknilegir kostir

1. Sterk aðlögunarhæfni að hörðum og brothættum efnum

Öflugur snælda (6,3 kW) + demantslípiskífa með stóru þvermál, sem þrefaldar skilvirkni SiC/safírvinnslu og lengir líftíma skífunnar um 50%.

Lítið tjón á malaferli: Tjónlag ≤2μm, afköst ≥99%, sem er langt umfram hefðbundnar malaaðferðir.

2. Hágæða framleiðslugeta (4 ásar, 5 vinnuborð)

Samsíða vinnsla: 4 ásar vinna samtímis, 5 vinnuborð snúast stöðugt, UPH≥30 skífur (6 tommu SiC), þrisvar sinnum meiri en einása búnaður.

Full sjálfvirkni: Samþætt hleðsla, afferming, kvörnun, hreinsun og þurrkun; eftirlitslaus samfelld rekstur í 24 klukkustundir.

3. Mikil nákvæmni og mikill stöðugleiki

Þykktarstýring: ±0,1μm, TTV≤2μm, uppfyllir kröfur um SiC-skífur fyrir bílaiðnað.

Stíf uppbygging: Steypujárnshús + titringsdempandi hönnun, titringur ≤0,5μm, engin frávik í nákvæmni við langtíma notkun. 4. Sveigjanlegur aðlögunarhæfni og lágur rekstrarkostnaður

Samhæfni við margar stærðir: Samhæft við 6 tommu skífur og 8 tommu undirlag, sem gerir kleift að nota í mörgum tilgangi og draga úr fjárfestingu í búnaði.

Græn vinnsla: Notar eingöngu hreint vatn, sem útilokar mengun frá fægiefni; skólp er hægt að losa beint, sem lækkar rekstrarkostnað um 30%.

V. Tafla yfir helstu tæknilegar breytur

Gildi töflubreytu

Vinnslustærð á skífu Φ4/5/6 tommur (hámark Φ150 mm)

Stærð undirlags á stuðningi Φ5/6/8 tommur

Fjöldi spindla / Afl 4 ása, Z1-Z3: 6,3 kW

Snúningshraði 1000-4000 mín⁻¹

Upplýsingar um slípihjól: Φ300mm demantslípihjól

Nákvæmni þykktarstýringar ±0,1μm

TTV (heildarþykktarfrávik) ≤2μm

Yfirborðsgrófleiki Ra≤0,1μm

Rúmmál (6 tommu SiC) UPH≥30 skífur

Heildarvídd vélarinnar (B×D×H) 1400×2500×2000 mm

Þyngd u.þ.b. 6000 kg

Gólfflatarmál 3,5㎡

VI. Samanburður við svipaðan búnað (DFG8830 vs. DFG8340)

Borðsamanburðarhlutur DFG8830 (4 ásar, 5 vinnuborð) DFG8340 (1 ás, 2 þrep)

Snældustilling: 4×6,3 kW, grófsmíði/frágangur/pússunardeild: 1×4,2 kW, ein ferli

Rými: UPH≥30 skífur (6 tommu SiC), UPH≤10 skífur (6 tommu SiC)

Vinnslunákvæmni: TTV≤2μm, skemmdalag≤2μm, TTV≤5μm, skemmdalag≤5μm

Hentug efni: SiC, safír, samsettar skífur (með undirlagi), kísillskífur, keramik með lágum hörku

Arfleifð: 3,5㎡, 2㎡

Viðeigandi aðstæður: Fjöldaframleiðsla, efni með mikla hörku og brothætt efni; Lítil framleiðslulota, kísilplötur/efni með litla hörku

VII. Yfirlit og gildi atvinnugreinarinnar

DISCO DFG8830, með 4 ása, 5 þrepa arkitektúr, öflugri snældu og litlum skemmdum, hefur orðið viðmiðunarbúnaður fyrir þynningu þriðju kynslóðar hálfleiðara (SiC/GaN) og safírljósundirlaga, og leysir þar með vandamál iðnaðarins eins og lága skilvirkni, mikla skemmda og lága afköst í vinnslu á hörðum og brothættum efnum. Á sviðum eins og nýrra orkugjafa, 5G fjarskipta og LED lýsingar, hjálpar DFG8830 SiC aflgjafatækjum og safír LED flísum að ná fjöldaframleiðslu, sem knýr hálfleiðaraiðnaðinn í átt að breiðara bandbili, þynnri sniðum og meiri afköstum.