Mashiinka shiidiyaha wafer-ka ee DISCO DGP8761

DISCO DGP8761 waa mashiin si buuxda otomaatig ah u shaqeeya oo matalaya heerka ugu sarreeya ee tiknoolajiyaddiisa, oo si gaar ah loogu talagalay hababka khafiifinta wafer-ka 12-inji (300mm) ee waxtarka sare leh. Astaamaheeda ugu muhiimsan waa awooddiisa uu ku dhammaystiro geeddi-socodka oo dhan - laga bilaabo shiididda qallafsan ee dhinaca dambe iyo shiididda wanaagsan ilaa ka saarista cadaadiska - hal hawlgal oo joogto ah, oo si joogto ah u farsameeya wafer-ka ilaa dhumuc aad u khafiif ah oo ka hooseeya 25μm.

Iyada oo ah casriyeynta rasmiga ah ee loo sameeyay DGP8760 oo caan ah oo ugu iibsiga badan, waxay ku faantaa waxqabad iib oo heer sare ah oo ka dhex jira soosaarayaasha ugu sarreeya adduunka oo dhan waana qalab muhiim u ah baakadaha horumarsan, aaladaha korontada, iyo hababka kale ee u baahan sameynta wafer aad u khafiif ah.

Xudunta Qalabka: Caqliga iyo Horumarka Naqshadeynta Saddexda Dhinac

Xudunta horumarka waxqabadka DGP8761 waxay ku jirtaa qaab-dhismeedka saxda ah ee saddex-dhidib (3 dhidib) iyo afar-jibbaaran (4 jadwal oo jajaban).

Qaybta Shaqada ee Saddex-dhidib:

Axis Z1 (Shiididda Qalafsan): Mas'uul ka ah in si dhakhso ah looga saaro inta badan walxaha dhinaca dambe ee wafer-ka.

Axis Z2 (Shiididda Fiican): Waxay ku shiiddaa shiidid fiican dusha sare ee wafer-ka, iyadoo la gaarayo xakamaynta dhumucda saxda ah.

Dhidibka Z3 (Hab-soo-saarid Kala Duwan): Tani waa furaha dabacsanaanteeda. Isticmaalayaashu waxay dooran karaan nadiifin qalalan (yaraynta walbahaarka), shiidid aad u sax ah (Poligrind/UltraPoligrind), ama qaybo gaar ah oo CMP ah si loo gaaro ka saarista walbahaarka, ka saarista helista, iyo shaqooyin kale, iyadoo ku xiran shuruudaha habka.

Spindle Cusub oo La Sameeyay: Spindle-ka cusub wuxuu taageeraa shiididda xawaaraha sare leh, isagoo si wax ku ool ah u soo gaabinaya wakhtiga farsamaynta ee waferada khafiifka ah. Isla mar ahaantaana, qaab-dhismeedka gaadiidka ee la hagaajiyay wuxuu yareeyaa waqtiga aan farsamaynta lahayn, taasoo hagaajinaysa hufnaanta guud.

Tilmaamaha Waxqabadka Spindle-ka Sare:

Dhidibka Z1/Z2: Awoodda is-beddelka ayaa la kordhiyay ilaa 6.3 kW, xawaaraha 1,000 - 4,000 daqiiqo⁻¹, safarka dhidibka Z waa 120 mm.

Dhidibka Z3: Awoodda is-beddelka 5.3 kW, safarka dhidibka Z 65 mm.

Saxnaanta Z-Axis: Heerka quudinta toosan ee 0.0001 - 0.08 mm/s, safarka ugu yar ee 0.1 μm wuxuu hubiyaa saxnaanta mashiinka.

Guudmarka Faahfaahinta Guudmarka

Qaybta Halbeegga | Tilmaamayaasha Gaarka ah

Cabbirka Shaqada ee Khuseysa: Φ200 mm / Φ300 mm (8 inji / 12 inji)

Habka Shiidida: Dhidibka Z1/Z2: Shiidida ku dhex jirta quudinta (wafer rogidda)

Dhidibka Z3: Shiidi aan caadi ahayn oo ku jirta quudinta (wareeg gaar ah oo wafer ah)

Qaabeynta Isgoysyada: Saddex isgoys (3 dhidib)

Qaabeynta Miiska Shaqada: Afar miisas oo jajab ah (4 miisas oo jajab ah), iyadoo la adeegsanayo nidaamka miiska wareega

Qalabka Shiididda/Naqshadeynta: Dhidibka Z1/Z2: Giraangiraha dheemanka Φ300 mm

Dhidibka Z3 (DP): Φ450 mm suufka qalajinta qalalan

Dhidibka Z3 (CMP): Φ450 mm suufka dhalaalinta CMP

Cabbirka Qalabka: 1,690 mm (W) × 3,315 mm (D) × 1,800 mm (H)

Qaabka Ku rakiban FOUP: × 3,452 mm (D)

Miisaanka Qalabka: Qiyaastii 6,700 kg (DP, qaabaynta Poligrind)

Qiyaastii. 6,900 kg (qaabeynta CMP)

Shuruudaha Awoodda: Saddex-waji 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Hawada La Cadaadiyay: Ka Sarreeya 0.5 MPa, nadiif ah oo aan saliid lahayn, dhibic dharab ah oo ka hooseysa -15℃

Hawlaha Muhiimka ah iyo Faa'iidooyinka Habka:

Tartanka ugu muhiimsan ee DGP8761 wuxuu ku jiraa isku-darka guusha leh ee habab badan, isagoo gaaraya saameyn "1+1>2".

Xal Hal-Joogsi ah: Iyada oo loo marayo gacan robot ah oo gudaha ah, waferku si toos ah ayuu u dhammaystiri karaa dhammaan geeddi-socodka shiididda qallafsan → shiididda wanaagsan → nadiifinta qalalan → nadiifinta iyo qalajinta, iyadoo laga fogaanayo khatarta kala-goynta oo ay keento gacan-ku-haynta badan iyo si weyn u gaabinaysa wareegga wax-soo-saarka. DGP8761 wuxuu si joogto ah u gaari karaa kala duwanaansho dhumucdeed oo dhan (TTV) oo ka yar 3μm isagoo ilaalinaya xoogga leexashada sare.

Nadiifinta Qallalan iyo Soo Qaadista Gooey (Helitaanka): Tani waa mid ka mid ah sifooyinka ugu caansan ee DGP8761. Waxay isticmaashaa nadiifinta qalalan ee Z3-axis si ay uga saarto lakabka cadaadiska shiididda, kaas oo aan ahayn oo keliya mid deegaanka u fiican marka loo eego hababka qoyan ee dhaqameed (aan la isticmaalin kiimikooyin ama biyo), laakiin sidoo kale wuxuu abuuraa lakab waxyeello yar oo la xakameyn karo oo ku jira wafer-ka, isagoo u dhaqma sidii "aag helid" si loo qabto wasakhda birta, taasoo hagaajinaysa wax soo saarka iyo isku halaynta jajabka. Tiknoolajiyadda gaarka ah ee DISCO ee UltraPoligrind micro-abrasive waxay ilaalisaa saameynta helida iyadoo la gaarayo xoogga jajabka sare ee aan hore loo gaari karin.

Qaabeynta Dabacsan iyo Nidaamka Codsiga

DGP8761 ma aha qalab go'doonsan; si habsami leh ayuu ugu dhex milmi karaa nidaamyada otomaatiga ah ee kala duwan.

Ballaarinta Isku-xirka: Waxaa lagu xiri karaa DFM2800 oo ah qalab badan oo loogu talagalay ku-xidhka tooska ah ee DAF (Die Attach Film) ka dib marka la khafiifiyo. Waxa kale oo loo isticmaali karaa in lagu dhiso nidaamyada habka horumarsan sida DBG (Dicing Before Shiiding) si loo hagaajiyo wax-soo-saarka buskudka khafiifka ah.

Dayactirka iyo Qaybaha Kaydka ah: La jaanqaadaya DISCO Taxanaha 8000 wuxuu ilaaliyaa iswaafajin sare, iyadoo qaybaha muhiimka ah sida giraangiraha shiidi iyo taarikada dharka la isku beddeli karo, taasoo fududeynaysa dayactirka iyo yaraynta kharashyada qaybaha dayactirka.

Software-ka iyo Hawlgalka: Iyada oo la adeegsanayo interface GUI oo ku salaysan tignoolajiyada taxanaha 8000 ee bisil, macquulka hawlgalka midaysan wuxuu soo gaabiyaa waqtiga tababarka hawlwadeenka.

Goobta Suuqa iyo Adeegsiga: DGP8761 waxaa si weyn loogu isticmaalaa baakadaha horumarsan (HPC/AI/3D IC), semiconductor-yada awoodda, iyo aaladaha MEMS. DISCO waxay sidoo kale bixisaa adeegyada jarista iyo shiididda macdanta iyadoo la adeegsanayo qalabkan xarumaha tignoolajiyada adduunka (sida Shiinaha iyo Singapore).

Tixgelinta Dayactirka: Si loo hubiyo saxnaanta, u hoggaansanaanta adag ee deegaanka ee DISCO (heerkulka iyo qoyaanka gudaha ±1°C, hawo nadiif ah oo la cadaadiyey) iyo shuruudaha la isticmaalo waa lama huraan. Intaa waxaa dheer, macquulka dhaqdhaqaaqa dhidibka Z3 (oo ay ku jiraan 5 taxane oo makiinado ah iyo xuduudaha booska) si toos ah ayuu u saameeyaa wax soo saarka makiinada; dejimaha halbeegga aan habboonayn waxay horseedi karaan dhibaatooyin habka.

Soo Koobid: DISCO DGP8761 waa mashiin shiidid/nadiifin heer sare ah oo si fiican isugu dara saxnaanta sare, hufnaanta sare, iyo dabacsanaanta habka. Ma aha oo kaliya inay waddo u furto soo saarista jajabyada aadka u khafiifsan ee casriga ah laakiin sidoo kale, iyada oo loo marayo awooddeeda awoodda badan ee ballaarinta nidaamka, waxay noqotaa qayb muhiim ah oo ka mid ah dhisidda warshado casri ah oo semiconductor ah. Soosaarayaasha hormuudka ah ee raadinaya waxqabadka ugu sarreeya iyo xasilloonida habka, waxay u taagan tahay maalgashi istaraatiijiyadeed oo muhiim ah.