DISCO DGP8761 ایک مکمل طور پر خودکار پیسنے/پالش کرنے والی مشین ہے جو اس کی ٹیکنالوجی کے عروج کی نمائندگی کرتی ہے، خاص طور پر اعلیٰ کارکردگی والے 12 انچ (300 ملی میٹر) ویفر کو پتلا کرنے کے عمل کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس کی اہم خصوصیت - بیک سائیڈ روف گرائنڈنگ اور باریک پیسنے سے لے کر تناؤ کو ہٹانے تک - ایک واحد، مسلسل آپریشن میں، 25μm سے نیچے انتہائی پتلی موٹائی تک ویفرز کو مسلسل پروسیس کرنے کی صلاحیت ہے۔
معروف اور سب سے زیادہ فروخت ہونے والے DGP8760 میں آفیشل اپ گریڈ کے طور پر، یہ دنیا بھر میں سرفہرست مینوفیکچررز کے درمیان فروخت کی شاندار کارکردگی پر فخر کرتا ہے اور جدید پیکیجنگ، پاور ڈیوائسز، اور الٹرا پتلی ویفر فیبریکیشن کی ضرورت والے دیگر عمل کے لیے آلات کا ایک اہم حصہ ہے۔
ہارڈ ویئر کور: تھری ایکسس ڈیزائن کی آسانی اور ارتقاء
ڈی جی پی 8761 کی کارکردگی کے ارتقاء کا بنیادی محور اس کے تین محور (3 محور) اور چار چک میزیں (4 چک میزیں) فن تعمیر میں ہے۔
محنت کی تین محوری تقسیم:
Z1 Axis (Rugh Grinding): ویفر کے پچھلے حصے سے زیادہ تر مواد کو جلدی سے ہٹانے کے لیے ذمہ دار ہے۔
Z2 Axis (فائن گرائنڈنگ): موٹائی کے عین مطابق کنٹرول حاصل کرتے ہوئے ویفر کی سطح پر باریک پیسنے کا کام کرتا ہے۔
Z3 Axis (ورسٹائل پروسیسنگ): یہ اس کی لچک کی کلید ہے۔ عمل کی ضروریات پر منحصر ہے، صارف تناؤ کو ہٹانے، گیٹر ہٹانے، اور دیگر افعال کو حاصل کرنے کے لیے خشک پالش (تناؤ سے نجات)، الٹرا پریسیئن پیسنے (Poligrind/UltraPoligrind)، یا خصوصی CMP ماڈیولز کا انتخاب کر سکتے ہیں۔
نیا تیار شدہ سپنڈل: نیا سپنڈل تیز رفتار پیسنے کی حمایت کرتا ہے، پتلی ویفرز کے لیے پروسیسنگ کے وقت کو مؤثر طریقے سے مختصر کرتا ہے۔ اس کے ساتھ ہی، بہترین نقل و حمل کی ترتیب نان پروسیسنگ وقت کو کم کرتی ہے، جس سے مجموعی کارکردگی بہتر ہوتی ہے۔
اعلی سپنڈل کارکردگی کی تفصیلات:
Z1/Z2 Axis: سپنڈل پاور 6.3 kW تک بڑھ گئی، رفتار 1,000 - 4,000 min⁻¹، Z-axis سفر 120 ملی میٹر۔
Z3 Axis: سپنڈل پاور 5.3 kW، Z-axis سفر 65 ملی میٹر۔
Z-Axis درستگی: 0.0001 - 0.08 mm/s کی عمودی فیڈ کی شرح، 0.1 μm کا کم از کم سفر مشینی درستگی کو یقینی بناتا ہے۔
تفصیلی نردجیکرن کا جائزہ
پیرامیٹر زمرہ | مخصوص اشارے
قابل اطلاق ورک پیس سائز: Φ200 ملی میٹر / Φ300 ملی میٹر (8 انچ / 12 انچ)
پیسنے کا طریقہ: Z1/Z2 محور: فیڈ میں پیسنا (وفر گردش)
Z3 محور: غیر معمولی ان فیڈ پیسنا (خصوصی ویفر گردش)
سپنڈل کنفیگریشن: تین سپنڈلز (3 محور)
ورک ٹیبل کنفیگریشن: چار چک میزیں (4 چک میزیں)، روٹری ٹیبل سسٹم کا استعمال کرتے ہوئے
پیسنے/پالش کرنے کے اوزار: Z1/Z2 محور: Φ300 ملی میٹر ہیرے پیسنے والا پہیہ
Z3 محور (DP): Φ450 ملی میٹر خشک پالش کرنے والا پیڈ
Z3 Axis (CMP): Φ450 mm CMP پالش کرنے والا پیڈ
آلات کے طول و عرض: 1,690 mm (W) × 3,315 mm (D) × 1,800 mm (H)
FOUP ماونٹڈ ماڈل: × 3,452 ملی میٹر (D)
سامان کا وزن: تقریبا. 6,700 کلوگرام (DP، Poligrind کنفیگریشن)
تقریبا 6,900 کلوگرام (CMP کنفیگریشن)
بجلی کے تقاضے: تھری فیز 200/220/380/400 V، 50/60 Hz
کمپریسڈ ہوا: 0.5 MPa سے اوپر، صاف اور تیل سے پاک، اوس پوائنٹ -15℃ سے نیچے
بنیادی افعال اور عمل کے فوائد:
DGP8761 کی بنیادی مسابقت اس کے متعدد عملوں کے کامیاب انضمام میں ہے، جس سے "1+1>2" اثر حاصل ہوتا ہے۔
ون اسٹاپ حل: ایک اندرونی روبوٹک بازو کے ذریعے، ویفر خود بخود کھردرے پیسنے → باریک پیسنے → خشک پالش → صفائی اور خشک کرنے کے پورے عمل کو مکمل کرسکتا ہے، متعدد ہینڈلنگ کی وجہ سے ٹوٹ پھوٹ کے خطرے سے بچتا ہے اور پیداواری دور کو نمایاں طور پر مختصر کرتا ہے۔ DGP8761 اعلی موڑنے والی طاقت کو برقرار رکھتے ہوئے مستقل طور پر 3μm سے کم کی کل موٹائی میں تغیر (TTV) حاصل کر سکتا ہے۔
ڈرائی پالش اور گوئی پک اپ (گیٹنگ): یہ DGP8761 کی سب سے مشہور خصوصیات میں سے ایک ہے۔ یہ پیسنے والی تناؤ کی تہہ کو دور کرنے کے لیے Z3-axis ڈرائی پالش کا استعمال کرتا ہے، جو نہ صرف روایتی گیلے عمل سے زیادہ ماحول دوست ہے (کوئی کیمیکل یا پانی استعمال نہیں کیا جاتا ہے)، بلکہ ویفر کے اندر ایک قابل کنٹرول مائیکرو ڈیمیج پرت بھی بناتا ہے، جو دھاتی نجاستوں کو پکڑنے کے لیے ایک "گیٹر زون" کے طور پر کام کرتا ہے، پیداوار کو بہتر بناتا ہے اور چِپ ریلیبلٹی کو بہتر بناتا ہے۔ DISCO کی منفرد الٹرا پولی گرائنڈ مائیکرو ابریزیو ٹیکنالوجی پہلے سے ناقابل حصول اعلی چپ کی طاقت حاصل کرتے ہوئے گیٹر اثر کو برقرار رکھتی ہے۔
لچکدار کنفیگریشن اور ایپلیکیشن ایکو سسٹم
DGP8761 الگ تھلگ ڈیوائس نہیں ہے۔ یہ بغیر کسی رکاوٹ کے مختلف آٹومیشن سسٹمز میں ضم ہو سکتا ہے۔
کنیکٹیویٹی کی توسیع: اسے پتلا ہونے کے بعد براہ راست DAF (ڈائی اٹیچ فلم) اٹیچمنٹ کے لیے DFM2800 ملٹی فنکشنل ویفر اٹیچر سے منسلک کیا جا سکتا ہے۔ پتلی ویفرز کی پیداوار کو بہتر بنانے کے لیے اسے ڈی بی جی (پیسنے سے پہلے ڈائسنگ) جیسے جدید پراسیس سسٹم بنانے کے لیے بھی استعمال کیا جا سکتا ہے۔
دیکھ بھال اور اسپیئر پارٹس: DISCO کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے 8000 سیریز اعلی مطابقت کو برقرار رکھتی ہے، جس میں کلیدی اجزاء جیسے کہ پیسنے والے پہیے اور ڈریسنگ پلیٹیں قابل تبادلہ ہیں، دیکھ بھال میں سہولت فراہم کرتے ہیں اور اسپیئر پارٹس کے اخراجات کو کم کرتے ہیں۔
سافٹ ویئر اور آپریشن: بالغ 8000 سیریز ٹیکنالوجی پر مبنی GUI انٹرفیس کا استعمال کرتے ہوئے، متحد آپریٹنگ منطق آپریٹر کی تربیت کے وقت کو کم کرتی ہے۔
مارکیٹ کی پوزیشن اور ایپلی کیشنز: DGP8761 بڑے پیمانے پر ایڈوانس پیکیجنگ (HPC/AI/3D IC)، پاور سیمی کنڈکٹرز، اور MEMS آلات میں استعمال ہوتا ہے۔ DISCO اپنے عالمی ٹیکنالوجی مراکز (جیسے چین اور سنگاپور میں) اس آلات کو استعمال کرتے ہوئے ڈائسنگ اور گرائنڈنگ فاؤنڈری کی خدمات بھی فراہم کرتا ہے۔
دیکھ بھال کے تحفظات: درستگی کو یقینی بنانے کے لیے، DISCO کے ماحولیاتی (±1°C کے اندر درجہ حرارت اور نمی، صاف کمپریسڈ ہوا) اور قابل استعمال ضروریات کی سختی سے پابندی ضروری ہے۔ مزید برآں، Z3 محور حرکت منطق (بشمول 5 مشینی ترتیب اور پوزیشن کے پیرامیٹرز) مشینی پیداوار کو براہ راست متاثر کرتی ہے۔ پیرامیٹر کی غلط ترتیبات عمل کے مسائل کا باعث بن سکتی ہیں۔
خلاصہ: DISCO The DGP8761 ایک اعلی درجے کی پیسنے والی/پالش کرنے والی مشین ہے جو اعلیٰ درستگی، اعلیٰ کارکردگی اور عمل کی لچک کو بالکل یکجا کرتی ہے۔ یہ نہ صرف جدید ترین انتہائی پتلی چپ کی تیاری کے لیے راہ ہموار کرتا ہے بلکہ اپنے طاقتور سسٹم اسکیل ایبلٹی کے ذریعے اعلی درجے کی سیمی کنڈکٹر سمارٹ فیکٹریوں کی تعمیر میں ایک بنیادی جزو بن جاتا ہے۔ اعلی ترین کارکردگی اور عمل کے استحکام کے خواہاں سرکردہ مینوفیکچررز کے لیے، یہ ایک اہم اسٹریٹجک سرمایہ کاری کی نمائندگی کرتا ہے۔





