DISCO vöfflukvörn DGP8761

DISCO DGP8761 er fullkomlega sjálfvirk slípunar-/pússunarvél sem er hápunktur tækni sinnar, hönnuð sérstaklega fyrir skilvirkar 12 tommu (300 mm) þynningarferli á skífum. Lykilatriði hennar er geta hennar til að ljúka öllu ferlinu - frá grófslípun á bakhliðinni og fínslípun til spennulosunar - í einni, samfelldri aðgerð, og vinnur stöðugt úr skífum niður í afar þunnar þykktir undir 25 μm.

Sem opinber uppfærsla á hinum þekkta og mest selda DGP8760, státar það af framúrskarandi söluárangur meðal leiðandi framleiðenda um allan heim og er mikilvægur búnaður fyrir háþróaða pökkun, aflgjafa og önnur ferli sem krefjast framleiðslu á afarþunnum skífum.

Vélbúnaðarkjarni: Hugvitsemi og þróun þriggja ása hönnunar

Kjarninn í þróun afkasta DGP8761 liggur í nákvæmri þriggja ása (3 ásar) og fjögurra spennborða (4 spennborð) arkitektúr.

Þriggja ása verkaskipting:

Z1 ás (grófslípun): Ber ábyrgð á að fjarlægja fljótt mest af efninu af bakhlið skífunnar.

Z2 ás (fínmala): Framkvæmir fínmala á yfirborði skífunnar og nær nákvæmri þykktarstjórnun.

Z3 ás (fjölhæf vinnsla): Þetta er lykillinn að sveigjanleika þess. Notendur geta valið þurrpússun (spennulosun), afar nákvæma slípun (Poligrind/UltraPoligrind) eða sérstakar CMP einingar til að ná fram spennulosun, getter-losun og öðrum aðgerðum, allt eftir kröfum ferlisins.

Nýþróaður spindill: Nýi spindillinn styður hraða slípun, sem styttir vinnslutíma þunnra skífa á áhrifaríkan hátt. Samtímis dregur fínstillt flutningsskipulag úr tíma sem ekki er vinnslutími og bætir heildarhagkvæmni.

Upplýsingar um hærri afköst snældunnar:

Z1/Z2 ás: Snúningsafl aukin í 6,3 kW, hraði 1.000 - 4.000 mín⁻¹, Z-ás hreyfing 120 mm.

Z3 ás: Snúningsafl 5,3 kW, Z-ás ferð 65 mm.

Nákvæmni Z-áss: Lóðrétt fóðrunarhraði 0,0001 - 0,08 mm/s, lágmarksferð 0,1 μm tryggir nákvæmni vinnslu.

Ítarleg yfirlit yfir upplýsingar

Flokkur breytu | Sérstakir vísar

Viðeigandi stærð vinnustykkis: Φ200 mm / Φ300 mm (8 tommur / 12 tommur)

Kvörnunaraðferð: Z1/Z2 Ás: Innfóðrunarkvörnun (snúningur skífu)

Z3 ás: Óeðlileg innmatsmalun (sérstök snúningur á skífum)

Snældustilling: Þrjár snældur (3 ásar)

Uppsetning vinnuborðs: Fjögur spennborð (4 spennborð), með snúningsborðskerfi

Slípunar-/pússunarverkfæri: Z1/Z2 Ás: Φ300 mm demantslípskífa

Z3 ás (DP): Φ450 mm þurr pússunarpúði

Z3 ás (CMP): Φ450 mm CMP fægingarpúði

Stærð búnaðar: 1.690 mm (B) × 3.315 mm (D) × 1.800 mm (H)

FOUP fest gerð: × 3.452 mm (D)

Þyngd búnaðar: U.þ.b. 6.700 kg (DP, Poligrind stilling)

Um það bil 6.900 kg (CMP stilling)

Rafmagnsþörf: Þriggja fasa 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Þjappað loft: Yfir 0,5 MPa, hreint og olíulaust, döggpunktur undir -15 ℃

Kjarnastarfsemi og kostir ferlisins:

Kjarnasamkeppnishæfni DGP8761 liggur í farsælli samþættingu margra ferla og nær þannig „1+1>2“ áhrifum.

Lausn á einum stað: Með innbyggðum vélmennaarm getur skífan sjálfkrafa lokið öllu ferlinu, þ.e. grófslípun → fínslípun → þurrfæging → hreinsun og þurrkun, sem kemur í veg fyrir hættu á sundrun vegna endurtekinnar meðhöndlunar og styttir framleiðsluferlið verulega. DGP8761 getur náð stöðugum heildarþykktarbreytingum (TTV) sem eru minni en 3 μm og viðhaldið háum beygjustyrk.

Þurrslípun og seig upptaka (Getting): Þetta er einn af vinsælustu eiginleikum DGP8761. Hún notar Z3-ása þurrslípun til að fjarlægja slípunslagið, sem er ekki aðeins umhverfisvænna en hefðbundnar blautar aðferðir (engin efni eða vatn notuð), heldur býr einnig til stjórnanlegt örskemmdalag inni í skífunni, sem virkar sem „getter-svæði“ til að fanga málmóhreinindi, sem bætir afköst og áreiðanleika flísanna. Einstök örslípunartækni DISCO, UltraPoligrind, viðheldur getter-áhrifunum en nær samt sem áður óframkvæmanlegum háum flísstyrk.

Sveigjanleg stilling og vistkerfi forrita

DGP8761 er ekki einangrað tæki; það getur samlagast óaðfinnanlega ýmsum sjálfvirknikerfum.

Tengimöguleikar: Hægt er að tengja það við fjölnota skífufestinguna DFM2800 fyrir beina DAF (Die Attach Film) festingu eftir þynningu. Það er einnig hægt að nota það til að smíða háþróuð vinnslukerfi eins og DBG (Dicing Before Grinding) til að auka afköst þunnra skífa.

Viðhald og varahlutir: Samhæft við DISCO. 8000 serían er mjög samhæf og lykilhlutir eins og slípihjól og slípiplötur eru skiptanlegir, sem auðveldar viðhald og lækkar kostnað við varahluti.

Hugbúnaður og rekstur: Með því að nota notendaviðmót sem byggir á þroskaðri 8000 seríu tækni styttir sameinað rekstrarrökfræði þjálfunartíma rekstraraðila.

Markaðsstaða og notkun: DGP8761 er mikið notað í háþróaðri umbúðaiðnaði (HPC/AI/3D IC), aflleiðurum og MEMS tækjum. DISCO býður einnig upp á þjónustu við teninga- og slípun með þessum búnaði í alþjóðlegum tæknimiðstöðvum sínum (eins og í Kína og Singapúr).

Viðhaldsatriði: Til að tryggja nákvæmni er nauðsynlegt að fylgja ströngum kröfum DISCO um umhverfismál (hitastig og rakastig innan ±1°C, hreint þrýstiloft) og rekstrarvörur. Ennfremur hefur hreyfifræði Z3 ássins (þar á meðal 5 vinnsluraðir og staðsetningarbreytur) bein áhrif á vinnsluafköst; rangar stillingar á breytum geta leitt til vandamála í ferlinu.

Ágrip: DISCO DGP8761 er hágæða slípi-/pússunarvél sem sameinar fullkomlega mikla nákvæmni, mikla skilvirkni og sveigjanleika í ferlum. Hún ryður ekki aðeins brautina fyrir nýjustu framleiðslu á örþunnum örgjörvum heldur verður hún einnig, með öflugri kerfisstærðarhæfni, kjarnþáttur í að byggja upp háþróaðar snjallverksmiðjur fyrir hálfleiðara. Fyrir leiðandi framleiðendur sem leita að hæstu afköstum og stöðugleika í ferlum er hún mikilvæg stefnumótandi fjárfesting.