DISCO DFG8560 vöfflukvörn

DISCO DFG8560 er sjálfvirk vél til að þynna skífur, sem er uppfærsla á DFG800 seríunni. Hún er sérstaklega hönnuð til að takast á við áskoranir 12 tommu skífuþynningar. Meginreglan um virkni hennar byggist á tvöföldum spindlum og þreföldum klemmubúnaði, sem lýkur bæði „grófslípun“ og „fínslípun“ stigum þynningarferlisins í einni klemmuaðgerð. Þessi hönnun bætir verulega vinnsluhagkvæmni og nákvæmni stjórnunar.

**Virkniregla**

DFG8560 þynnir skífur með mikilli nákvæmni vélrænni hreyfingu:

**Mikil stífleiki í uppbyggingu:** Vélin notar mjög stífan loftlagðan spindel sem tryggir framúrskarandi stöðugleika í öllu slípunarferlinu.

**Tveggja þrepa kvörnunarferli:**

**Grófslípun:** Fyrsti spindillinn notar grófari hjól (t.d. demantshjól með plastefnisbindingu). Hraði snúnings fjarlægir fljótt mest af efninu af bakhlið skífunnar og hámarkar þannig skilvirkni.

**Fínmala:** Önnur spindillinn notar fínni hjól (t.d. keramikbundið demantshjól) til að mala skífuna nákvæmlega. Þetta ferli býr til slétt og flatt yfirborð og fjarlægir skemmda lagið sem myndast við grófmala.

Í raunverulegri notkun er skífan haldin á sínum stað á snúningsfestingu með lofttæmissogi. Festingin snýst í gagnstæða átt við hraðslíphjólið; hjólið færist lóðrétt niður og sker yfirborð skífunnar.

**Helstu eiginleikar**

Kjarnahlutverk DFG8560 er þynning á skífum. Í þessu skyni samþættir það röð lykilþátta:

**Fullkomlega sjálfvirk notkun:** Þessi búnaður sjálfvirknivæðir allt vinnuflæðið frá hleðslu, röðun, kvörnun, hreinsun til affermingar á skífum, sem dregur verulega úr handvirkri íhlutun og eykur framleiðsluhagkvæmni.

**Nákvæm þykktarstýring:** Með því að samþætta háskerpu (0,1 μm) netkerfi fyrir þykktarmælingar nær búnaðurinn lokuðu stýringarkerfi á kvörnunarferlinu, sem tryggir nákvæmni lokaþykktar skífunnar.

**Vinnsla á örþunnum skífum:** Með því að hámarka kvörnunar- og vinnslufæribreytur getur DFG8560 unnið stöðugt úr örþunnum skífum með þykkt upp á 100 μm eða minna, en um leið lágmarkað hættuna á að skífan brotni.

**Gallagreining:** Þetta kerfi getur greint galla á yfirborði skífunnar og veitt nauðsynlegan gagnagrunn fyrir síðari viðgerðarferli eða endurgjöfarlykkjur.

**Notendavænt viðmót:** Kerfið er búið snertiskjá með LCD-skjá og myndrænu notendaviðmóti (GUI) og sýnir vinnslu og stöðu búnaðar í rauntíma, sem gerir notkun og viðhald einfaldara og innsæisríkara.

**Samþætting og útvíkkun á netinu:** Hægt er að samþætta DFG8560 óaðfinnanlega við flóknari sjálfvirkar framleiðslulínur, svo sem:

**DBG (Post-Die Grinding) kerfi:** Samþættir teningaskurðar- og þynningarferli, sem gerir það sérstaklega hentugt til framleiðslu á örþunnum flísum.

**Þurrpússunarvél (t.d. DFP8160):** Myndar samþætt kerfi sem framkvæmir þurrpússun eftir slípun, sem dregur enn frekar úr yfirborðsgrófleika skífunnar (Ry gildi) og útrýmir skemmdum af völdum slípunar.

**Límmyndavél/fjarlægjari:** Innbyggð til að setja sjálfkrafa á eða fjarlægja verndandi fægifilmu og skapa þannig sjálfvirkt vinnuflæði.

**SECS/GEM samskipti:** Þetta tæki styður SECS/GEM samskiptareglurnar, sem gerir kleift að tengjast framleiðslukerfi (MES) verksmiðjunnar fyrir fjarstýrða eftirlit og sjálfvirka gagnaöflun framleiðslu.

**Forrit og virkni:**

Meginhlutverk DFG8560 er að veita skífur með jafnri þykkt og framúrskarandi yfirborðsgæðum fyrir síðari ferla eins og teningaskurð og pökkun; víðtæk efnissamrýmanleiki þess gerir það einnig hentugt fyrir fjölbreytt úrval af notkun.

**Þynning á skífum:** Að draga úr þykkt skífunnar úr upprunalegri þykkt niður í markþykkt — grundvallarkrafa fyrir nánast allar notkunarmöguleika.

**Fjarlæging á skemmdum lögum:** Að fjarlægja spennuskemmd lög sem myndast í uppstreymisferlum (eins og slípun á bakhlið) - mikilvægt skref í að tryggja vélrænan styrk flísarinnar.

**Yfirborðsflatjun:** Að veita mjög flatt undirlag fyrir síðari nákvæmnisferli (eins og ljósritun og límingu) — forsenda fyrir framleiðslu með mikilli nákvæmni.

**Þrívíddarpökkun og TSV-útsetning:** Útvegar þunnu skífurnar sem þarf til að framkvæma Through-Silicon Vias (TSV) tækni og afhjúpa nákvæmlega botn TSV-uppbyggingarinnar — kjarnaþátt í háþróaðri pökkun.

Framleiðsla á aflgjöfum og RF-tækjum: Notað til að þynna SiC, GaN og aðrar samsettar hálfleiðaraskífur til að draga úr viðnámi og bæta varmaleiðni.

Smíði ljóstækja og sía: Notað til nákvæmrar þynningar og flatningar á hörðum og brothættum efnum eins og safír (LED undirlag) og litíumtantalat/litíumníóbat (RF sía).

Ítarlegar upplýsingar

Upplýsingar Upplýsingar

Viðeigandi stærð vinnustykkis: Φ300 mm (12 tommur). Alhliða festing styður Φ200 mm/Φ300 mm skífur.

Malaaðferð: Langsmílun með snúningi skífunnar.

Snúningsstilling: Tvær snældur (2 ásar). Innbyggður hátíðni mótorknúinn loftstöðusnúningssnúningur.

Uppsetning spennuborðs: Þrjú spennuborð, með snúningsborðskerfi. Spennuhraði: 0-300 snúningar á mínútu.

Snælduafl: Nafnafl 4,8 kW.

Snúningshraði: 1.000 - 4.000 mín⁻¹ (snúningar á mínútu).

Z-ás hreyfing: 120 mm (þar með talið upphafspunktur).

Z-ás kvörnunarhraði: 0,0001 - 0,08 mm/s (0,1 - 80 μm/s).

Lágmarkshreyfing Z-áss: 0,1 μm.

Þykktarmælingarsvið: 0 - 1.800 μm.

Þykktarmælingarupplausn: 0,1 μm.

Endurtekningarnákvæmni þykktarmælinga: ±0,5 μm.

Upplýsingar um slípihjól: Φ300 mm demantslípihjól.

Þykktarfrávik innan skífu (TTV): Minna en 3,0 μm (með því að nota sérstakt vinnuborð, φ300 mm skífu).

Þykktarfrávik milli skífa: Minna en ±3,0 μm.

Yfirborðshrjúfleiki eftir frágang: Ry um það bil 0,13 μm (með slípihjóli #2000); Ry um það bil 0,15 μm (með slípihjóli #1400).

Stærð búnaðar (B × D × H): Um það bil 1.400 × 3.190 × 1.800 mm.

Þyngd búnaðar: Um það bil 4.000 kg.

Nauðsynleg aflgjafar: Þriggja fasa 200/220/380/400 V, 50/60 Hz, hámarksaflnotkun um það bil 22 kVA.

Nauðsynlegt þrýstiloft: Yfir 0,5 MPa, hreint og olíulaust, döggpunktur undir -15℃, rennslishraði um það bil 1.000 NL/mín.

Vatnsveitukröfur: DI vatn (afjónað vatn), hitastig 23 ± 1 ℃, rennslishraði 6-10 L/mín.

Helstu kostir

DFG8560 heldur áfram að styrkja markaðsstöðu sína sem afkastamikill búnaður til að þynna skífur með eftirfarandi kostum:

Mikil nákvæmni í kvörnun: Með bjartsýni í hönnun er malagæði bætt á áhrifaríkan hátt, sem nær framúrskarandi þykktarjöfnu innan skífunnar (TTV) og samræmi milli skífna, sem tryggir afköst fyrir krefjandi ferli eins og háþróaða pökkun.

Stöðug kvörnunargæði: Bjartsýni kvörnunar- og meðhöndlunarbreytur gera kleift að mala úlfþunnar skífur stöðugt og stjórna brothraðanum á áhrifaríkan hátt, sem er mikilvægt fyrir stórar og verðmætar skífur.

Framúrskarandi sveigjanleiki: Bjóðar upp á fjölbreytt úrval af samþættingarmöguleikum í framleiðslulínu (eins og DBG og þurrpússun), aðlagast sveigjanlega að uppfærslum á framleiðslulínum og verndar fjárfestingu notenda að fullu.

Sterk samhæfni: Getur meðhöndlað ýmis efni (eins og kísill, SiC, GaN, safír, LT/LN), sem veitir verulegan sveigjanleika í framleiðsluferlinu fyrir ýmsa hálfleiðara og ljósfræðilega rafeindabúnað.

Notendavænt og auðvelt í viðhaldi: Notendavænt notendaviðmót og snertiskjár lækka notkunarþröskuldinn til muna. Á sama tíma er hægt að skipta út lykilhlutum í 800 seríunni, sem dregur úr birgðakostnaði vegna varahluta og hættu á niðurtíma.

Létt hönnun: 1,0 tonna þyngdarlækkun (um það bil 20%) náðist án þess að forskriftir og afköst væru í samræmi við forskriftir. Léttari búnaðurinn einfaldar uppsetningarferlið og dregur úr burðarþoli verksmiðjugólfsins.

Yfirlit yfir tæknilega eiginleika: Tvíása þriggja sogbollahönnun: Aðskilur grófslípun og fínslípun og lýkur þeim í einni klemmuaðgerð, sem eykur skilvirkni og tryggir nákvæmni.

Loftstöðusnúður: Þessi hönnun notar loftstöðusnúður sem útilokar vélræna snertingu, sem leiðir til lágmarks slits og viðheldur mikilli snúningsnákvæmni í langan tíma. Þetta er kjarninn í að ná fram afar mikilli nákvæmni í vinnslu.

Tvöföld slípunartækni: Þessi tækni gerir tveimur spólum kleift að deila sömu slípunarstöðu og útilokar kerfisbundnar villur sem orsakast af rangri stillingu vinnslupunkta. Þetta bætir samtímis þykktarsamræmi (TTV) innan einnar skífu og þykktarsamræmi milli skífa, sem gerir hana að lykiltækni til að ná stöðugri, öfgaþunnri slípun.

Ágrip: Að lokum má segja að DISCO DFG8560 sé fullkomlega sjálfvirk 12 tommu lausn til að þynna skífur, hönnuð fyrir fjöldaframleiðslu. Helstu eiginleikar hennar eru meðal annars nákvæm tvöfaldur spíndalarkitektúr og framúrskarandi kerfisstöðugleiki, sem gerir kleift að ná fyrsta flokks einsleitni og yfirborðsgæði við vinnslu stórra, ofurþunnra skífa, ásamt öflugum sjálfvirkni-samþættingarmöguleikum.