Μύλος γκοφρέτας DISCO DFG8560

Ως αναβάθμιση της σειράς DFG800, το DISCO DFG8560 είναι μια πλήρως αυτοματοποιημένη μηχανή αραίωσης πλακιδίων. Έχει σχεδιαστεί ειδικά για να ανταποκρίνεται στις προκλήσεις της αραίωσης πλακιδίων 12 ιντσών. Η βασική αρχή λειτουργίας του βασίζεται σε διαμόρφωση διπλού άξονα και τριπλού τσοκ, ολοκληρώνοντας τόσο τα στάδια "χονδρής λείανσης" όσο και "λεπτής λείανσης" της διαδικασίας αραίωσης σε μία μόνο λειτουργία σύσφιξης πλακιδίων. Αυτός ο σχεδιασμός βελτιώνει σημαντικά την απόδοση επεξεργασίας και τον ακριβή έλεγχο.

**Αρχή Λειτουργίας**

Το DFG8560 επιτυγχάνει λέπτυνση πλακιδίων μέσω μηχανικής κίνησης υψηλής ακρίβειας:

**Δομή υψηλής ακαμψίας:** Το μηχάνημα χρησιμοποιεί άξονα υψηλής ακαμψίας με ρουλεμάν αέρα, εξασφαλίζοντας εξαιρετική σταθερότητα καθ' όλη τη διαδικασία λείανσης.

**Διαδικασία λείανσης σε δύο βήματα:**

**Χονδροειδής λείανση:** Ο πρώτος άξονας χρησιμοποιεί έναν τροχό με πιο χοντρή κόκκωση (π.χ., διαμαντένιο τροχό με ρητίνη). Η περιστροφή υψηλής ταχύτητας αφαιρεί γρήγορα το μεγαλύτερο μέρος του υλικού από την πίσω πλευρά του πλακιδίου, μεγιστοποιώντας την απόδοση.

**Λεπτή λείανση:** Ο δεύτερος άξονας χρησιμοποιεί έναν τροχό λεπτότερης κόκκωσης (π.χ., τροχό με διαμάντι με κεραμική συγκόλληση) για ακριβή λείανση του πλακιδίου. Αυτή η διαδικασία δημιουργεί μια λεία, επίπεδη επιφάνεια και αφαιρεί το κατεστραμμένο στρώμα που παράγεται κατά το στάδιο της τραχιάς λείανσης.

Στην πραγματική λειτουργία, η πλακέτα συγκρατείται στη θέση της σε ένα περιστρεφόμενο τσοκ μέσω αναρρόφησης κενού. Η σφιγκτήρας περιστρέφεται προς την αντίθετη κατεύθυνση από τον τροχό λείανσης υψηλής ταχύτητας. Ο τροχός κινείται κάθετα προς τα κάτω, κόβοντας την επιφάνεια της πλακέτας.

**Βασικά χαρακτηριστικά**

Η βασική λειτουργία του DFG8560 είναι η λέπτυνση πλακιδίων. Για τον σκοπό αυτό, ενσωματώνει μια σειρά από βασικές λειτουργίες:

**Πλήρως αυτοματοποιημένη λειτουργία:** Αυτός ο εξοπλισμός αυτοματοποιεί ολόκληρη τη ροή εργασίας, από τη φόρτωση πλακιδίων, την ευθυγράμμιση, την άλεση, τον καθαρισμό έως την εκφόρτωση, μειώνοντας σημαντικά τη χειροκίνητη παρέμβαση και βελτιώνοντας την αποδοτικότητα της παραγωγής.

**Έλεγχος Πάχους Υψηλής Ακρίβειας:** Ενσωματώνοντας ένα σύστημα online μέτρησης πάχους υψηλής ανάλυσης (0,1 μm), ο εξοπλισμός επιτυγχάνει έλεγχο κλειστού βρόχου της διαδικασίας λείανσης, διασφαλίζοντας την ακρίβεια του τελικού πάχους της γκοφρέτας.

**Επεξεργασία εξαιρετικά λεπτών πλακιδίων:** Βελτιστοποιώντας τις παραμέτρους του συστήματος άλεσης και επεξεργασίας, το DFG8560 μπορεί να επεξεργάζεται σταθερά εξαιρετικά λεπτές πλακέτες πάχους 100 μm ή λιγότερο, ελαχιστοποιώντας παράλληλα τον κίνδυνο θραύσης των πλακιδίων.

**Ανίχνευση ελαττωμάτων:** Αυτό το σύστημα μπορεί να εντοπίσει ελαττώματα στην επιφάνεια της πλακέτας, παρέχοντας την απαραίτητη υποστήριξη δεδομένων για επακόλουθες διαδικασίες επισκευής ή βρόχους ανατροφοδότησης.

**Φιλικό προς το χρήστη περιβάλλον εργασίας:** Εξοπλισμένο με οθόνη αφής LCD και γραφικό περιβάλλον εργασίας χρήστη (GUI), το σύστημα εμφανίζει την επεξεργασία και την κατάσταση του εξοπλισμού σε πραγματικό χρόνο, καθιστώντας τη λειτουργία και τη συντήρηση απλούστερη και πιο διαισθητική.

**Ηλεκτρονική Ενσωμάτωση και Επέκταση:** Το DFG8560 μπορεί να ενσωματωθεί απρόσκοπτα σε πιο σύνθετες αυτοματοποιημένες γραμμές παραγωγής, όπως:

**Σύστημα DBG (Post-Die Grinding):** Ενσωματώνει διαδικασίες κοπής σε κύβους και αραίωσης, καθιστώντας το ιδιαίτερα κατάλληλο για την κατασκευή εξαιρετικά λεπτών τσιπς.

**Μηχανή ξηρής στίλβωσης (π.χ., DFP8160):** Σχηματίζει ένα ολοκληρωμένο σύστημα που εκτελεί ξηρή στίλβωση μετά από διαδικασίες λείανσης, μειώνοντας περαιτέρω την τραχύτητα της επιφάνειας των πλακιδίων (τιμή Ry) και εξαλείφοντας τις ζημιές που προκαλούνται από την λείανση.

**Πλαστικοποιητής/Αφαιρεστήρας Γκοφρετών:** Ενσωματωμένο για αυτόματη εφαρμογή ή αφαίρεση προστατευτικών μεμβρανών γυαλίσματος, δημιουργώντας μια πλήρως αυτοματοποιημένη ροή εργασίας.

**Επικοινωνία SECS/GEM:** Αυτή η συσκευή υποστηρίζει το πρωτόκολλο επικοινωνίας SECS/GEM, επιτρέποντας τη σύνδεση με ένα Σύστημα Εκτέλεσης Παραγωγής (MES) του εργοστασίου για απομακρυσμένη παρακολούθηση και αυτοματοποιημένη συλλογή δεδομένων παραγωγής.

**Εφαρμογές και Λειτουργίες:**

Η κύρια λειτουργία του DFG8560 είναι να παρέχει ομοιόμορφο πάχος και εξαιρετική ποιότητα επιφάνειας σε πλακίδια για επακόλουθες διεργασίες όπως ο τεμαχισμός και η συσκευασία. Η ευρεία συμβατότητα υλικών του το καθιστά επίσης κατάλληλο για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών.

**Αραίωση πλακιδίων:** Μείωση του πάχους των πλακιδίων από το αρχικό του πάχος σε ένα πάχος-στόχο—μια θεμελιώδης απαίτηση για σχεδόν όλες τις εφαρμογές.

**Αφαίρεση στρωμάτων ζημιάς:** Εξάλειψη στρωμάτων που έχουν υποστεί ζημιά από καταπονήσεις και δημιουργούνται σε διαδικασίες ανάντη (όπως η λείανση από πίσω)—ένα κρίσιμο βήμα για τη διασφάλιση της μηχανικής αντοχής του τσιπ.

**Επιπέδωση επιφάνειας:** Παροχή ενός εξαιρετικά επίπεδου υποστρώματος για επακόλουθες διαδικασίες ακριβείας (όπως φωτολιθογραφία και συγκόλληση)—προαπαιτούμενο για κατασκευή υψηλής ακρίβειας.

**Τρισδιάστατη συσκευασία και έκθεση TSV:** Παρέχει τα λεπτά πλακίδια που απαιτούνται για την υλοποίηση της τεχνολογίας Through-Silicon Vias (TSV) και την ακριβή έκθεση του κάτω μέρους της δομής TSV—ένα βασικό στοιχείο της προηγμένης συσκευασίας.

Κατασκευή συσκευών ισχύος και ραδιοσυχνοτήτων: Χρησιμοποιείται για την αραίωση πλακιδίων SiC, GaN και άλλων σύνθετων ημιαγωγών για τη μείωση της αντίστασης ενεργοποίησης και τη βελτίωση της απαγωγής θερμότητας.

Κατασκευή οπτικών συσκευών και φίλτρων: Χρησιμοποιείται για την ακριβή λέπτυνση και επιπέδωση σκληρών και εύθραυστων υλικών όπως το ζαφείρι (υπόστρωμα LED) και το τανταλικό/νιοβικό λίθιο (φίλτρο RF).

Λεπτομερείς προδιαγραφές

Προδιαγραφές Προδιαγραφές

Εφαρμοστέο μέγεθος τεμαχίου εργασίας: Φ300 mm (12 ίντσες). Το τσοκ γενικής χρήσης υποστηρίζει πλακίδια Φ200 mm/Φ300 mm.

Μέθοδος λείανσης: Διαμήκης λείανση τροφοδοσίας με περιστροφή γκοφρέτας.

Διαμόρφωση άξονα: Διπλοί άξονες (2 άξονες). Ενσωματωμένη αεροστατική άτρακτος υψηλής συχνότητας με κινητήρα.

Διαμόρφωση τραπεζιού τσοκ: Τρία τραπέζια τσοκ, χρησιμοποιώντας σύστημα περιστροφικής τράπεζας. Ταχύτητα τσοκ: 0-300 σ.α.λ.

Ισχύς άξονα: Ονομαστική ισχύς εξόδου 4,8 kW.

Ταχύτητα άξονα: 1.000 - 4.000 min⁻¹ (rpm).

Διαδρομή άξονα Z: 120 mm (συμπεριλαμβανομένης της αρχής).

Ρυθμός τροφοδοσίας λείανσης άξονα Z: 0,0001 - 0,08 mm/s (0,1 - 80 μm/s).

Ελάχιστη κίνηση άξονα Z: 0,1 μm.

Εύρος μέτρησης πάχους: 0 - 1.800 μm.

Ανάλυση μέτρησης πάχους: 0,1 μm.

Επαναληψιμότητα μέτρησης πάχους: ±0,5 μm.

Προδιαγραφές τροχού λείανσης: Τροχός λείανσης με διαμάντι Φ300 mm.

Απόκλιση πάχους εντός της πλακέτας (TTV): Λιγότερο από 3,0 μm (χρησιμοποιώντας ειδικό τραπέζι εργασίας, πλακέτα φ300 mm).

Απόκλιση πάχους μεταξύ των πλακιδίων: Λιγότερο από ±3,0 μm.

Τραχύτητα επιφάνειας μετά το φινίρισμα: Ry περίπου 0,13 μm (χρησιμοποιώντας τροχό λείανσης #2000). Ry περίπου 0,15 μm (χρησιμοποιώντας τροχό λείανσης #1400).

Διαστάσεις εξοπλισμού (Π × Β × Υ): Περίπου 1.400 × 3.190 × 1.800 mm.

Βάρος εξοπλισμού: Περίπου 4.000 kg.

Απαιτούμενη ισχύς: Τριφασικό 200/220/380/400 V, 50/60 Hz, μέγιστη κατανάλωση ισχύος περίπου 22 kVA.

Απαιτούμενος πεπιεσμένος αέρας: Πάνω από 0,5 MPa, καθαρός και χωρίς λάδι, σημείο δρόσου κάτω από -15℃, ρυθμός ροής περίπου 1.000 NL/min.

Απαιτήσεις παροχής νερού: Απιονισμένο νερό (DI), θερμοκρασία 23±1℃, ρυθμός ροής 6-10 L/min.

Βασικά πλεονεκτήματα

Το DFG8560 συνεχίζει να εδραιώνει τη θέση του στην αγορά ως εξοπλισμός αραίωσης πλακιδίων υψηλής απόδοσης με τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

Υψηλή ακρίβεια λείανσης: Μέσω βελτιστοποιημένου σχεδιασμού, η ποιότητα λείανσης βελτιώνεται αποτελεσματικά, επιτυγχάνοντας εξαιρετική ομοιομορφία πάχους εντός της πλακέτας (TTV) και συνοχή μεταξύ των πλακιδίων, εξασφαλίζοντας απόδοση για απαιτητικές διαδικασίες όπως η προηγμένη συσκευασία.

Σταθερή Ποιότητα Λείανσης: Οι βελτιστοποιημένες παράμετροι λείανσης και χειρισμού επιτρέπουν τη σταθερή λείανση εξαιρετικά λεπτών πλακιδίων, ελέγχοντας αποτελεσματικά τον ρυθμό θραύσης, ο οποίος είναι κρίσιμος για πλακίδια μεγάλου μεγέθους υψηλής αξίας.

Ανώτερη επεκτασιμότητα: Προσφέρει πληθώρα επιλογών ενσωματωμένης ολοκλήρωσης (όπως DBG και ξηρή στίλβωση), προσαρμόζοντας την ευέλικτη στις αναβαθμίσεις της γραμμής παραγωγής και προστατεύοντας πλήρως την επένδυση των χρηστών.

Ισχυρή συμβατότητα: Ικανό να χειρίζεται διάφορα υλικά (όπως πυρίτιο, SiC, GaN, ζαφείρι, LT/LN), παρέχοντας σημαντική ευελιξία στη διαδικασία κατασκευής διαφόρων ημιαγωγών και οπτοηλεκτρονικών συσκευών.

Φιλικό προς το χρήστη και εύκολο στη συντήρηση: Ένα φιλικό προς το χρήστη γραφικό περιβάλλον χρήστη και μια οθόνη αφής μειώνουν σημαντικά το όριο λειτουργίας. Παράλληλα, τα βασικά εξαρτήματα είναι εναλλάξιμα με τη σειρά 800, μειώνοντας το κόστος αποθεμάτων ανταλλακτικών και τους κινδύνους διακοπής λειτουργίας.

Ελαφρύς σχεδιασμός: Επιτεύχθηκε μείωση βάρους 1,0 τόνου (περίπου 20%), διατηρώντας παράλληλα τις προδιαγραφές και την απόδοση. Ο ελαφρύτερος εξοπλισμός απλοποιεί τη διαδικασία εγκατάστασης και μειώνει τις απαιτήσεις φέρουσας ικανότητας του εργοστασίου.

Σύνοψη Τεχνικών Χαρακτηριστικών: Σχεδιασμός διπλού άξονα με τρεις βεντούζες: Διαχωρίζει την τραχιά και τη λεπτή λείανση, ολοκληρώνοντάς τες σε μία μόνο λειτουργία σύσφιξης, βελτιώνοντας την απόδοση εξασφαλίζοντας παράλληλα ακρίβεια.

Αεροστατική άτρακτος: Χρησιμοποιώντας μια αεροστατική άτρακτο, αυτός ο σχεδιασμός εξαλείφει τη μηχανική επαφή, με αποτέλεσμα την ελάχιστη φθορά και τη διατήρηση υψηλής ακρίβειας περιστροφής για μεγάλα χρονικά διαστήματα. Αποτελεί βασικό εξάρτημα για την επίτευξη εξαιρετικά υψηλής ακρίβειας κατεργασίας.

Τεχνολογία ευθυγράμμισης διπλού σημείου λείανσης: Αυτή η τεχνολογία επιτρέπει σε δύο άξονες να μοιράζονται την ίδια φυσική θέση λείανσης, εξαλείφοντας τα συστηματικά σφάλματα που προκαλούνται από την κακή ευθυγράμμιση των σημείων επεξεργασίας. Αυτό βελτιώνει ταυτόχρονα την ομοιομορφία πάχους (TTV) σε ένα μόνο πλακίδιο και τη συνέπεια πάχους μεταξύ των πλακιδίων, καθιστώντας την βασική τεχνολογία για την επίτευξη σταθερής εξαιρετικά λεπτής λείανσης.

Σύνοψη: Συμπερασματικά, το DISCO DFG8560 είναι μια πλήρως αυτοματοποιημένη λύση αραίωσης πλακιδίων 12 ιντσών, σχεδιασμένη για μαζική παραγωγή. Τα βασικά χαρακτηριστικά του περιλαμβάνουν μια ακριβή αρχιτεκτονική διπλής ατράκτου και ανώτερη σταθερότητα συστήματος, επιτρέποντας κορυφαία ομοιομορφία και ποιότητα επιφάνειας κατά την επεξεργασία μεγάλων, εξαιρετικά λεπτών πλακιδίων, μαζί με ισχυρές δυνατότητες ενσωμάτωσης αυτοματισμού.