Μύλος γκοφρέτας DISCO DGP8761

Το DISCO DGP8761 είναι μια πλήρως αυτοματοποιημένη μηχανή λείανσης/στίλβωσης που αντιπροσωπεύει την κορυφή της τεχνολογίας της, σχεδιασμένη ειδικά για διαδικασίες υψηλής απόδοσης αραίωσης πλακιδίων 12 ιντσών (300 mm). Το βασικό της χαρακτηριστικό είναι η ικανότητά του να ολοκληρώνει ολόκληρη τη διαδικασία - από την τραχιά και λεπτή λείανση με ανάποδη πλευρά έως την αφαίρεση τάσεων - σε μία μόνο, συνεχή λειτουργία, επεξεργάζοντας σταθερά πλακίδια έως εξαιρετικά λεπτά πάχη κάτω των 25μm.

Ως η επίσημη αναβάθμιση του γνωστού και πιο επιτυχημένου DGP8760, διαθέτει εξαιρετική απόδοση πωλήσεων μεταξύ των κορυφαίων κατασκευαστών παγκοσμίως και αποτελεί κρίσιμο κομμάτι εξοπλισμού για προηγμένες συσκευασίες, συσκευές τροφοδοσίας και άλλες διαδικασίες που απαιτούν κατασκευή εξαιρετικά λεπτών πλακιδίων.

Πυρήνας Υλικού: Η Εφευρετικότητα και η Εξέλιξη του Τριαξονικού Σχεδιασμού

Ο πυρήνας της εξέλιξης της απόδοσης του DGP8761 έγκειται στην ακριβή αρχιτεκτονική τριών αξόνων (3 άξονες) και τεσσάρων τραπεζιών τσοκ (4 τραπέζια τσοκ).

Τριαξονικός Καταμερισμός Εργασίας:

Άξονας Z1 (Τραχιά λείανση): Υπεύθυνος για την γρήγορη αφαίρεση του μεγαλύτερου μέρους του υλικού από την πίσω πλευρά του πλακιδίου.

Άξονας Z2 (Λεπτή άλεση): Εκτελεί λεπτή άλεση στην επιφάνεια του πλακιδίου, επιτυγχάνοντας ακριβή έλεγχο του πάχους.

Άξονας Z3 (Ευέλικτη Επεξεργασία): Αυτό είναι το κλειδί για την ευελιξία του. Οι χρήστες μπορούν να επιλέξουν ξηρή στίλβωση (ανακούφιση από την τάση), λείανση εξαιρετικά ακριβείας (Poligrind/UltraPoligrind) ή ειδικές μονάδες CMP για την επίτευξη αφαίρεσης τάσης, αφαίρεσης γωνιαστών και άλλων λειτουργιών, ανάλογα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.

Νέα Άξονας: Η νέα άτρακτος υποστηρίζει λείανση υψηλής ταχύτητας, μειώνοντας αποτελεσματικά τον χρόνο επεξεργασίας για λεπτά πλακίδια. Ταυτόχρονα, η βελτιστοποιημένη διάταξη μεταφοράς μειώνει τον χρόνο μη επεξεργασίας, βελτιώνοντας τη συνολική απόδοση.

Προδιαγραφές υψηλότερης απόδοσης άξονα:

Άξονας Z1/Z2: Αυξημένη ισχύς άξονα στα 6,3 kW, ταχύτητα 1.000 - 4.000 min⁻¹, διαδρομή άξονα Z 120 mm.

Άξονας Z3: Ισχύς άξονα 5,3 kW, διαδρομή άξονα Z 65 mm.

Ακρίβεια άξονα Z: Ρυθμός κάθετης τροφοδοσίας 0,0001 - 0,08 mm/s, ελάχιστη διαδρομή 0,1 μm εξασφαλίζει ακρίβεια κατεργασίας.

Λεπτομερής επισκόπηση προδιαγραφών

Κατηγορία παραμέτρων | Ειδικοί δείκτες

Εφαρμοστέο μέγεθος τεμαχίου εργασίας: Φ200 mm / Φ300 mm (8 ίντσες / 12 ίντσες)

Μέθοδος λείανσης: Άξονας Z1/Z2: Λείανση εντός τροφοδοσίας (περιστροφή πλακιδίων)

Άξονας Z3: Ανώμαλη λείανση εντός τροφοδοσίας (ειδική περιστροφή πλακιδίων)

Διαμόρφωση άξονα: Τρεις άξονες (3 άξονες)

Διαμόρφωση τραπεζιού εργασίας: Τέσσερα τραπέζια τσοκ (4 τραπέζια τσοκ), χρησιμοποιώντας σύστημα περιστροφικού τραπεζιού

Εργαλεία λείανσης/στίλβωσης: Άξονας Z1/Z2: Τροχός λείανσης με διαμάντι Φ300 mm

Άξονας Z3 (DP): Φ450 mm στεγνό γυαλιστικό μαξιλάρι

Άξονας Z3 (CMP): Φ450 mm CMP στίλβωση

Διαστάσεις εξοπλισμού: 1.690 mm (Π) × 3.315 mm (Β) × 1.800 mm (Υ)

Μοντέλο τοποθετημένο σε FOUP: × 3.452 mm (D)

Βάρος εξοπλισμού: Περίπου 6.700 kg (DP, διαμόρφωση Poligrind)

Περίπου 6.900 kg (διαμόρφωση CMP)

Απαιτήσεις ισχύος: Τριφασικό 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Πεπιεσμένος αέρας: Πάνω από 0,5 MPa, καθαρός και χωρίς λάδι, σημείο δρόσου κάτω από -15℃

Βασικές λειτουργίες και πλεονεκτήματα διεργασίας:

Η βασική ανταγωνιστικότητα του DGP8761 έγκειται στην επιτυχημένη ενσωμάτωση πολλαπλών διεργασιών, επιτυγχάνοντας ένα εφέ "1+1>2".

Λύση ενός σημείου: Μέσω ενός εσωτερικού ρομποτικού βραχίονα, η πλακέτα μπορεί να ολοκληρώσει αυτόματα ολόκληρη τη διαδικασία αδρής λείανσης → λεπτής λείανσης → στεγνής στίλβωσης → καθαρισμού και στεγνώματος, αποφεύγοντας τον κίνδυνο θρυμματισμού που προκαλείται από πολλαπλούς χειρισμούς και μειώνοντας σημαντικά τον κύκλο παραγωγής. Το DGP8761 μπορεί να επιτύχει σταθερά μια συνολική διακύμανση πάχους (TTV) μικρότερη από 3μm διατηρώντας παράλληλα υψηλή αντοχή σε κάμψη.

Στεγνό στίλβωμα και συλλογή κολλώδους υλικού (Getting): Αυτό είναι ένα από τα πιο αναγνωρισμένα χαρακτηριστικά του DGP8761. Χρησιμοποιεί ξηρό στίλβωμα άξονα Z3 για την αφαίρεση του στρώματος τάσης λείανσης, το οποίο δεν είναι μόνο πιο φιλικό προς το περιβάλλον από τις παραδοσιακές υγρές διαδικασίες (δεν χρησιμοποιούνται χημικά ή νερό), αλλά δημιουργεί επίσης ένα ελεγχόμενο στρώμα μικρο-ζημιάς μέσα στο πλακίδιο, λειτουργώντας ως "ζώνη συλλογής" για τη δέσμευση μεταλλικών ακαθαρσιών, βελτιώνοντας την απόδοση και την αξιοπιστία των τσιπ. Η μοναδική τεχνολογία μικρο-λειαντικών UltraPoligrind της DISCO διατηρεί το φαινόμενο συλλογής, επιτυγχάνοντας παράλληλα υψηλή αντοχή τσιπ που δεν ήταν προηγουμένως εφικτή.

Ευέλικτη διαμόρφωση και οικοσύστημα εφαρμογών

Το DGP8761 δεν είναι μια μεμονωμένη συσκευή. Μπορεί να ενσωματωθεί απρόσκοπτα σε διάφορα συστήματα αυτοματισμού.

Επέκταση συνδεσιμότητας: Μπορεί να συνδεθεί με το πολυλειτουργικό εξάρτημα σύνδεσης πλακιδίων DFM2800 για άμεση σύνδεση DAF (Die Attach Film - Φιλμ σύνδεσης με σύρμα) μετά την αραίωση. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την κατασκευή προηγμένων συστημάτων επεξεργασίας όπως το DBG (Κόβοι πριν από την άλεση) για τη βελτίωση της απόδοσης λεπτών πλακιδίων.

Συντήρηση και Ανταλλακτικά: Συμβατό με DISCO Η σειρά 8000 διατηρεί υψηλή συμβατότητα, με βασικά εξαρτήματα όπως οι τροχοί λείανσης και οι πλάκες επισκευής να είναι εναλλάξιμα, διευκολύνοντας τη συντήρηση και μειώνοντας το κόστος των ανταλλακτικών.

Λογισμικό και Λειτουργία: Χρησιμοποιώντας μια διεπαφή GUI βασισμένη στην ώριμη τεχνολογία της σειράς 8000, η ​​ενοποιημένη λογική λειτουργίας μειώνει τον χρόνο εκπαίδευσης του χειριστή.

Θέση στην αγορά και εφαρμογές: Το DGP8761 χρησιμοποιείται ευρέως σε προηγμένες συσκευασίες (HPC/AI/3D IC), ημιαγωγούς ισχύος και συσκευές MEMS. Η DISCO παρέχει επίσης υπηρεσίες χύτευσης σε κύβους και άλεσης χρησιμοποιώντας αυτόν τον εξοπλισμό στα παγκόσμια τεχνολογικά της κέντρα (όπως στην Κίνα και τη Σιγκαπούρη).

Ζητήματα Συντήρησης: Για να διασφαλιστεί η ακρίβεια, είναι απαραίτητη η αυστηρή τήρηση των περιβαλλοντικών απαιτήσεων (θερμοκρασία και υγρασία εντός ±1°C, καθαρός πεπιεσμένος αέρας) και των απαιτήσεων αναλώσιμων του DISCO. Επιπλέον, η λογική κίνησης του άξονα Z3 (συμπεριλαμβανομένων 5 ακολουθιών κατεργασίας και παραμέτρων θέσης) επηρεάζει άμεσα την απόδοση της κατεργασίας. Οι ακατάλληλες ρυθμίσεις παραμέτρων μπορούν να οδηγήσουν σε προβλήματα διεργασίας.

Σύνοψη: DISCO Το DGP8761 είναι μια μηχανή λείανσης/στίλβωσης υψηλής τεχνολογίας που συνδυάζει τέλεια την υψηλή ακρίβεια, την υψηλή απόδοση και την ευελιξία της διαδικασίας. Δεν ανοίγει μόνο το δρόμο για την κατασκευή εξαιρετικά λεπτών τσιπ αιχμής, αλλά και, μέσω της ισχυρής επεκτασιμότητας του συστήματος, καθίσταται βασικό στοιχείο στην κατασκευή προηγμένων έξυπνων εργοστασίων ημιαγωγών. Για τους κορυφαίους κατασκευαστές που αναζητούν την υψηλότερη απόδοση και σταθερότητα της διαδικασίας, αντιπροσωπεύει μια σημαντική στρατηγική επένδυση.