Mașină de râșnit napolitane DISCO DGP8761

DISCO DGP8761 este o mașină de șlefuit/lustruit complet automatizată, care reprezintă apogeul tehnologiei sale, concepută special pentru procese de subțiere a napolitanelor de 12 inch (300 mm) de înaltă eficiență. Caracteristica sa cheie este capacitatea de a finaliza întregul proces - de la șlefuirea grosieră și șlefuirea fină din spate până la îndepărtarea stresului - într-o singură operațiune continuă, procesând în mod constant napolitane la grosimi ultra-subțiri sub 25 μm.

Fiind upgrade-ul oficial al cunoscutului și cel mai bine vândut model DGP8760, acesta se mândrește cu performanțe remarcabile de vânzări în rândul producătorilor de top din întreaga lume și este un echipament esențial pentru ambalarea avansată, dispozitivele de alimentare și alte procese care necesită fabricarea de plachete ultra-subțiri.

Nucleul hardware: Ingeniozitatea și evoluția designului pe trei axe

Nucleul evoluției performanței modelului DGP8761 constă în arhitectura sa precisă cu trei axe (3 axe) și patru mese cu mandrină (4 mese cu mandrină).

Diviziunea muncii pe trei axe:

Axa Z1 (Șlefuire brută): Responsabilă pentru îndepărtarea rapidă a majorității materialului de pe partea din spate a plachetei.

Axa Z2 (Șlefuire fină): Efectuează șlefuirea fină a suprafeței napolitanei, obținând un control precis al grosimii.

Axa Z3 (Prelucrare Versatilă): Aceasta este esențială pentru flexibilitatea sa. Utilizatorii pot selecta lustruirea uscată (eliberarea stresului), șlefuirea de ultra-precizie (Poligrind/UltraPoligrind) sau module CMP speciale pentru a realiza îndepărtarea stresului, îndepărtarea getterului și alte funcții, în funcție de cerințele procesului.

Ax nou dezvoltat: Noul ax permite șlefuirea de mare viteză, scurtând eficient timpul de procesare pentru napolitane subțiri. Simultan, configurația optimizată a transportului reduce timpul de neprocesare, îmbunătățind eficiența generală.

Specificații pentru performanțe superioare ale axului:

Axa Z1/Z2: Puterea axului a fost mărită la 6,3 kW, viteza 1.000 - 4.000 min⁻¹, cursa axei Z 120 mm.

Axa Z3: Putere ax 5,3 kW, Cursă axa Z 65 mm.

Precizie pe axa Z: Viteza de avans verticală de 0,0001 - 0,08 mm/s, cursa minimă de 0,1 μm asigură precizia de prelucrare.

Prezentare generală detaliată a specificațiilor

Categorie de parametri | Indicatori specifici

Dimensiune piesă de prelucrat aplicabilă: Φ200 mm / Φ300 mm (8 inci / 12 inci)

Metodă de rectificare: Axa Z1/Z2: Rectificare cu alimentare (rotație wafer)

Axa Z3: Rectificare anormală la avans (rotație specială a plachetei)

Configurația axului: Trei axe (3 axe)

Configurația mesei de lucru: Patru mese cu mandrină (4 mese cu mandrină), utilizând un sistem de masă rotativă

Instrumente de șlefuire/lustruire: Axa Z1/Z2: Disc abraziv diamantat Φ300 mm

Axa Z3 (DP): Disc de lustruire uscată Φ450 mm

Axa Z3 (CMP): Disc de lustruit CMP Φ450 mm

Dimensiunile echipamentului: 1.690 mm (l) × 3.315 mm (a) × 1.800 mm (înălțime)

Model montat pe FOUP: × 3.452 mm (D)

Greutate echipament: Aprox. 6.700 kg (DP, configurație Poligrind)

Aprox. 6.900 kg (configurație CMP)

Cerințe de alimentare: Trifazat 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Aer comprimat: Peste 0,5 MPa, curat și fără ulei, punct de rouă sub -15 ℃

Funcții de bază și avantaje ale procesului:

Competitivitatea principală a DGP8761 constă în integrarea cu succes a mai multor procese, obținând un efect „1+1>2”.

Soluție completă: Prin intermediul unui braț robotic intern, placheta poate finaliza automat întregul proces de șlefuire grosieră → șlefuire fină → lustruire uscată → curățare și uscare, evitând riscul de fragmentare cauzat de manipulările multiple și scurtând semnificativ ciclul de producție. DGP8761 poate obține în mod constant o variație totală a grosimii (TTV) mai mică de 3 μm, menținând în același timp o rezistență ridicată la încovoiere.

Lustruire uscată și absorbție lipicioasă (Getting): Aceasta este una dintre cele mai apreciate caracteristici ale DGP8761. Acesta utilizează lustruirea uscată pe axa Z3 pentru a îndepărta stratul de stres de șlefuire, care nu este doar mai ecologică decât procesele umede tradiționale (fără substanțe chimice sau apă utilizate), ci creează și un strat de micro-deteriorare controlabil în interiorul plachetei, acționând ca o „zonă getter” pentru a capta impuritățile metalice, îmbunătățind randamentul și fiabilitatea cipului. Tehnologia micro-abrazivă unică UltraPoligrind de la DISCO păstrează efectul getter, atingând în același timp o rezistență ridicată a cipului, imposibil de atins anterior.

Configurație flexibilă și ecosistem de aplicații

DGP8761 nu este un dispozitiv izolat; se poate integra perfect în diverse sisteme de automatizare.

Extinderea conectivității: Poate fi conectat la dispozitivul multifuncțional de atașare a napolitanelor DFM2800 pentru atașarea directă a filmului DAF (Die Attach Film) după subțiere. De asemenea, poate fi utilizat pentru a construi sisteme de proces avansate, cum ar fi DBG (Dicing Before Grinding - tăierea în cuburi înainte de măcinare), pentru a îmbunătăți randamentul napolitanelor subțiri.

Întreținere și piese de schimb: Compatibil cu DISCO. Seria 8000 menține o compatibilitate ridicată, componentele cheie, cum ar fi pietrele abrazive și plăcile de rectificare, fiind interschimbabile, facilitând întreținerea și reducând costurile pieselor de schimb.

Software și operare: Utilizând o interfață GUI bazată pe tehnologia matură a seriei 8000, logica de operare unificată scurtează timpul de instruire a operatorilor.

Poziție pe piață și aplicații: DGP8761 este utilizat pe scară largă în ambalaje avansate (HPC/AI/IC 3D), semiconductori de putere și dispozitive MEMS. DISCO oferă, de asemenea, servicii de turnătorie de tăiere în cuburi și măcinare folosind acest echipament în centrele sale tehnologice globale (cum ar fi în China și Singapore).

Considerații privind întreținerea: Pentru a asigura precizia, este esențială respectarea strictă a cerințelor de mediu DISCO (temperatură și umiditate în limita a ±1°C, aer comprimat curat) și a consumabilelor. În plus, logica de mișcare a axei Z3 (inclusiv 5 secvențe de prelucrare și parametri de poziționare) are un impact direct asupra randamentului prelucrării; setările necorespunzătoare ale parametrilor pot duce la probleme de proces.

Rezumat: DISCO DGP8761 este o mașină de șlefuit/lustruit de înaltă performanță care combină perfect precizia ridicată, eficiența ridicată și flexibilitatea procesului. Nu numai că deschide calea pentru fabricarea de cipuri ultra-subțiri de ultimă generație, dar, prin scalabilitatea sa puternică a sistemului, devine o componentă esențială în construirea de fabrici inteligente de semiconductori avansați. Pentru producătorii de top care caută cea mai înaltă performanță și stabilitate a procesului, aceasta reprezintă o investiție strategică semnificativă.