Meilteoir vaiféil DISCO DGP8761

Is meaisín meilt/snasta lán-uathoibrithe é an DISCO DGP8761 arb ionann é agus buaicphointe a theicneolaíochta, atá deartha go sonrach le haghaidh próisis tanaithe ard-éifeachtúlachta do shliseáin 12 orlach (300mm). Is é a phríomhghné ná a chumas an próiseas iomlán a chríochnú—ó mheilt gharbh ar an gcúl agus meilt mhín go dtí baint struis—in aon oibríocht leanúnach amháin, ag próiseáil shliseáin go comhsheasmhach go tiús thar a bheith tanaí faoi bhun 25μm.

Mar an uasghrádú oifigiúil ar an DGP8760 aitheanta agus is mó díol, tá feidhmíocht díolacháin den scoth aige i measc na monaróirí is fearr ar fud an domhain agus is píosa trealaimh ríthábhachtach é le haghaidh pacáistiú chun cinn, gléasanna cumhachta, agus próisis eile a éilíonn monarú vaiféil ultra-thanaí.

Croílár Crua-earraí: Intleacht agus Éabhlóid an Dearaidh Trí-Ais

Tá croílár éabhlóid feidhmíochta an DGP8761 suite ina ailtireacht bheacht trí ais (3 ais) agus ceithre thábla chuck (4 thábla chuck).

Roinnt Saothair Trí-Ais:

Ais Z1 (Meilt Garbh): Freagrach as an gcuid is mó den ábhar a bhaint go tapa ó chúl an tsaiféir.

Ais Z2 (Meilt Mhín): Déanann sé meilt mhín ar dhromchla an vaiféir, ag baint amach rialú beacht ar thiús.

Ais Z3 (Próiseáil Ilúsáideach): Seo í an eochair dá solúbthacht. Is féidir le húsáideoirí snasú tirim (faoiseamh struis), meilt thar a bheith cruinn (Poligrind/UltraPoligrind), nó modúil speisialta CMP a roghnú chun baint struis, baint getter, agus feidhmeanna eile a bhaint amach, ag brath ar riachtanais an phróisis.

Fearsaid Nuafhorbartha: Tacaíonn an fhearsaid nua le meilt ardluais, rud a ghiorraíonn an t-am próiseála go héifeachtach do sceallóga tanaí. Ag an am céanna, laghdaíonn an leagan amach iompair optamaithe an t-am neamhphróiseála, rud a fheabhsaíonn an éifeachtúlacht fhoriomlán.

Sonraíochtaí Feidhmíochta Fearsaid Níos Airde:

Ais Z1/Z2: Cumhacht an fhearsaid méadaithe go 6.3 kW, luas 1,000 - 4,000 nóim⁻¹, taisteal ais-Z 120 mm.

Ais Z3: Cumhacht fhearsaid 5.3 kW, taisteal ais-Z 65 mm.

Cruinneas Ais-Z: Ráta beatha ingearach de 0.0001 - 0.08 mm/s, cinntíonn íosmhéid taistil de 0.1 μm cruinneas meaisínithe.

Forbhreathnú ar Shonraíochtaí Mionsonraithe

Catagóir Paraiméadair | Táscairí Sonracha

Méid an Phíosa Oibre Infheidhme: Φ200 mm / Φ300 mm (8 n-orlach / 12 orlach)

Modh Meilt: Ais Z1/Z2: Meilt beathaithe (rothlú vaiféir)

Ais Z3: Meilt neamhghnách beathaithe (rothlú speisialta vaiféir)

Cumraíocht na Fearsaid: Trí fhearsaid (3 ais)

Cumraíocht Tábla Oibre: Ceithre thábla chuck (4 thábla chuck), ag baint úsáide as córas tábla rothlach

Uirlisí Meilt/Snasta: Ais Z1/Z2: roth meilt diamant Φ300 mm

Ais Z3 (DP): ceap snasta tirim Φ450 mm

Ais Z3 (CMP): ceap snasta CMP Φ450 mm

Toisí Trealaimh: 1,690 mm (L) × 3,315 mm (D) × 1,800 mm (A)

Múnla Gléasta FOUP: × 3,452 mm (D)

Meáchan Trealaimh: Thart ar 6,700 kg (DP, cumraíocht Poligrind)

Thart ar 6,900 kg (cumraíocht CMP)

Riachtanais Chumhachta: Trí chéim 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Aer Comhbhrúite: Os cionn 0.5 MPa, glan agus saor ó ola, pointe drúchta faoi bhun -15 ℃

Feidhmeanna Lárnacha agus Buntáistí Próisis:

Tá iomaíochas lárnach an DGP8761 suite ina chomhtháthú rathúil ar ilphróisis, rud a bhaineann éifeacht "1+1>2" amach.

Réiteach Aon-Staid: Trí lámh róbatach inmheánach, is féidir leis an sceallóg an próiseas iomlán de mheilt gharbh → meilt mhín → snasú tirim → glanadh agus triomú a chríochnú go huathoibríoch, rud a sheachnaíonn an baol ilroinnte de bharr láimhseála iolraigh agus a ghiorraíonn an timthriall táirgthe go suntasach. Is féidir leis an DGP8761 athrú iomlán tiús (TTV) níos lú ná 3μm a bhaint amach go comhsheasmhach agus neart lúbtha ard á choinneáil aige.

Snasú Tirim agus Piocadh Greamaitheach (Getting): Seo ceann de na gnéithe is mó cáil den DGP8761. Úsáideann sé snasú tirim Z3-ais chun an ciseal struis meilt a bhaint, rud atá níos neamhdhíobhálaí don chomhshaol ná próisis fhliucha traidisiúnta (gan ceimiceáin ná uisce in úsáid), ach cruthaíonn sé ciseal micrea-damáiste inrialaithe taobh istigh den sceallóg freisin, ag gníomhú mar "chrios getter" chun eisíontais mhiotalacha a ghabháil, rud a fheabhsaíonn toradh agus iontaofacht sceallóga. Coinníonn teicneolaíocht micrea-scríobach uathúil UltraPoligrind DISCO an éifeacht getter agus neart ard sceallóga nach raibh indéanta roimhe seo á bhaint amach.

Cumraíocht Sholúbtha agus Éiceachóras Feidhmchláir

Ní gléas aonraithe é an DGP8761; is féidir é a chomhtháthú go gan uaim i gcórais uathoibrithe éagsúla.

Leathnú Nascachta: Is féidir é a nascadh leis an gceanglóir vaiféir ilfheidhmeach DFM2800 le haghaidh ceangal díreach DAF (Scannán Vaiféir) tar éis tanaithe. Is féidir é a úsáid freisin chun córais phróisis chun cinn a thógáil amhail DBG (Dicing Before Grinding) chun toradh vaiféir tanaí a fheabhsú.

Cothabháil agus Páirteanna Breise: Ag luí le DISCO Coinníonn an tsraith 8000 comhoiriúnacht ard, agus is féidir comhpháirteanna tábhachtacha amhail rothaí meilt agus plátaí gléasta a mhalartú, rud a éascaíonn cothabháil agus a laghdaíonn costais páirteanna breise.

Bogearraí agus Oibríocht: Trí chomhéadan grafach úsáideora (GUI) atá bunaithe ar theicneolaíocht aibí sraith 8000 a úsáid, giorraíonn an loighic oibriúcháin aontaithe am oiliúna d’oibreoirí.

Seasamh agus Feidhmeanna sa Mhargadh: Úsáidtear an DGP8761 go forleathan i bpacáistiú ardteicneolaíochta (HPC/AI/3D IC), leathsheoltóirí cumhachta, agus gléasanna MEMS. Soláthraíonn DISCO seirbhísí teilgcheárta díslithe agus meilte freisin ag baint úsáide as an trealamh seo ina ionaid teicneolaíochta domhanda (amhail sa tSín agus i Singeapór).

Beachtais Chothabhála: Chun cruinneas a chinntiú, tá sé riachtanach cloí go docht le ceanglais chomhshaoil ​​(teocht agus taise laistigh de ±1°C, aer comhbhrúite glan) agus inchaite DISCO. Ina theannta sin, bíonn tionchar díreach ag loighic ghluaisne ais Z3 (lena n-áirítear 5 sheicheamh meaisínithe agus paraiméadair suímh) ar tháirgeacht meaisínithe; is féidir le socruithe míchuí paraiméadair fadhbanna próisis a bheith mar thoradh orthu.

Achoimre: DISCO Is meaisín meilt/snasta ardchaighdeáin é an DGP8761 a chomhcheanglaíonn cruinneas ard, éifeachtúlacht ard agus solúbthacht phróisis go foirfe. Ní hamháin go réitíonn sé an bealach do mhonarú sliseanna ultra-thanaí ceannródaíoch ach freisin, trína inmhéadaitheacht chórais chumhachtach, bíonn sé ina chomhpháirt lárnach i monarchana cliste leathsheoltóra chun cinn a thógáil. Do mhonaróirí ceannródaíocha atá ag lorg an fheidhmíochta agus na cobhsaíochta próisis is airde, is infheistíocht straitéiseach shuntasach é.