Meilteoir vaiféir DISCO DFG8560

Mar uasghrádú ar an tsraith DFG800, is meaisín tanaithe vaiféir lán-uathoibrithe é an DISCO DFG8560. Tá sé deartha go sonrach chun freastal ar dhúshláin tanaithe vaiféir 12 orlach. Tá a phrionsabal oibríochta lárnach bunaithe ar chumraíocht dé-fhearsaid agus trí-chuck, ag comhlánú céimeanna "meilt gharbh" agus "meilt mhín" an phróisis tanaithe in aon oibríocht teanntála vaiféir amháin. Feabhsaíonn an dearadh seo éifeachtúlacht phróiseála agus rialú beachtais go suntasach.

**Prionsabal Oibre**

Baintear tanú na sliseán amach leis an DFG8560 trí ghluaiseacht mheicniúil ardchruinneas:

**Struchtúr Ard-Docht:** Úsáideann an meaisín fearsaid aeir ard-docht, rud a chinntíonn cobhsaíocht den scoth i rith an phróisis meilt.

**Próiseas Meilt Dhá Chéim:**

**Meilt Gharbh:** Úsáideann an chéad fhearsaid roth le grit níos garbh (m.sh., roth diamant nasctha le roisín). Baintear an chuid is mó den ábhar go tapa ó chúl an tsliabháin le rothlú ardluais, rud a uasmhéadaíonn éifeachtúlacht.

**Meilt Mhín:** Úsáideann an dara fearsaid roth le gríos níos míne (m.sh., roth diamant nasctha le ceirmeach) chun an sceallóg a mheilt go beacht. Cruthaíonn an próiseas seo dromchla réidh, cothrom agus baintear an ciseal damáiste a tháirgtear le linn chéim an mheilt gharbh.

I ndáiríre, coinnítear an vaiféar ina áit ar chuck rothlach trí shúchán folúis. Rothlaíonn an chuck sa treo eile ón roth meilt ardluais; bogann an roth go hingearach síos, ag gearradh dhromchla an vaiféir.

**Príomhghnéithe**

Is é príomhfheidhm an DFG8560 ná tanú na sliseán. Chuige sin, comhtháthaíonn sé sraith feidhmeanna tábhachtacha:

**Oibríocht Lán-Uathoibrithe:** Uathoibríonn an trealamh seo an sreabhadh oibre ar fad ó luchtú, ailíniú, meilt, glanadh go díluchtú na vaiféar, rud a laghdaíonn idirghabháil láimhe go suntasach agus a fheabhsaíonn éifeachtúlacht táirgthe.

**Rialú Tiús Ardchruinnis:** Trí chóras tomhais tiús ar líne ardtaifigh (0.1 μm) a chomhtháthú, baintear rialú lúb dúnta amach ar an bpróiseas meilt leis an trealamh, rud a chinntíonn cruinneas thiús deiridh an tsliabháin.

**Próiseáil Sliseog Thar a Bheith Tanaí:** Trí pharaiméadair an chórais meilt agus próiseála a bharrfheabhsú, is féidir leis an DFG8560 sliseoga thar a bheith tanaí a phróiseáil go cobhsaí le tiús 100 μm nó níos lú, agus an riosca go mbrisfidh an sliseog a íoslaghdú ag an am céanna.

**Brath Lochtanna:** Is féidir leis an gcóras seo lochtanna ar dhromchla an tsaiféir a aithint, ag soláthar tacaíochta sonraí riachtanacha do phróisis dheisiúcháin nó lúba aiseolais ina dhiaidh sin.

**Comhéadan atá furasta le húsáid:** Tá scáileán tadhaill LCD agus comhéadan úsáideora grafach (GUI) feistithe le córas, agus taispeánann sé stádas próiseála agus trealaimh i bhfíor-am, rud a fhágann go bhfuil an oibriú agus an cothabháil níos simplí agus níos iomasach.

**Comhtháthú agus Leathnú Ar Líne:** Is féidir an DFG8560 a chomhtháthú go gan uaim i línte táirgeachta uathoibrithe níos casta, amhail:

**Córas DBG (Meilt Iar-Bháis):** Comhtháthaíonn sé próisis dísle agus tanaithe, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach go háirithe do mhonarú sceallóga ultra-tanaí.

**Meaisín Snasta Tirim (m.sh., DFP8160):** Cruthaíonn sé córas comhtháite a dhéanann snasú tirim tar éis próiseas meilt, rud a laghdaíonn garbhúlacht dhromchla an tsliabháin (luach Ry) tuilleadh agus a chuireann deireadh le damáiste de bharr meilt.

**Lannaitheoir/Stripéir Vaiféir:** Comhtháite chun scannáin snasta chosanta a chur i bhfeidhm nó a bhaint go huathoibríoch, rud a chruthaíonn sreabhadh oibre uathoibrithe iomlán.

**Cumarsáid SECS/GEM:** Tacaíonn an gléas seo leis an bprótacal cumarsáide SECS/GEM, rud a chuireann ar chumas nascadh le Córas Forghníomhaithe Déantúsaíochta (MES) monarchan le haghaidh monatóireachta cianda agus uathoibriú sonraí táirgthe a fháil.

**Feidhmchláir agus Feidhmeanna:**

Is é príomhfheidhm an DFG8560 ná vaiféir a sholáthar le tiús aonfhoirmeach agus cáilíocht dhromchla den scoth le haghaidh próisis ina dhiaidh sin amhail dísliú agus pacáistiú; déanann a chomhoiriúnacht leathan ábhar oiriúnach é do raon leathan feidhmchlár freisin.

**Tanú na Seilfeanna:** Tiús na seilfeanna a laghdú óna thiús bunaidh go dtí tiús sprice—riachtanas bunúsach do bheagnach gach feidhmchlár.

**Baineadh Sraithe Damáiste:** Deireadh a chur le sraitheanna struis-damáiste a ghintear i bpróisis suas an sruth (amhail meilt chúl-thaobh) — céim ríthábhachtach chun neart meicniúil an tslis a chinntiú.

**Plánú Dromchla:** Foshraith an-réidh a sholáthar le haghaidh próiseas beachtais ina dhiaidh sin (amhail fótailitagrafaíocht agus nascadh) - réamhriachtanas le haghaidh monaraíochta ardchruinnis.

**Pacáistiú 3T agus Nochtadh TSV:** Na sliseáin tanaí a theastaíonn a sholáthar chun teicneolaíocht Trí-Shileacan Vias (TSV) a bhaint amach agus bun struchtúr TSV a nochtadh go beacht—comhpháirt lárnach de phacáistiú ardteicneolaíochta.

Déantúsaíocht Gléasanna Cumhachta agus RF: Úsáidtear é chun SiC, GaN, agus sliseoga leathsheoltóra cumaisc eile a thanú chun friotaíocht ar siúl a laghdú agus diomailt teasa a fheabhsú.

Déantúsaíocht Gléasanna Optúla agus Scagairí: Úsáidtear é le haghaidh tanaithe agus planarú beacht ábhar crua agus sobhriste amhail saifír (foshraith LED) agus tantalate litiam/niobate litiam (scagaire RF).

Sonraíochtaí Mionsonraithe

Sonraíochtaí Sonraíochtaí

Méid an Phíosa Oibre Infheidhme: Φ300 mm (12 orlach). Tacaíonn an chuck uilíoch le vaiféir Φ200 mm/Φ300 mm.

Modh Meilt: Meilt beathaithe fadaimseartha rothlaithe na sceallóga.

Cumraíocht na Fearsaide: Fearsaidí dúbailte (2 ais). Fearsaid aer-statach tiomáinte ag mótar ardmhinicíochta ionsuite.

Cumraíocht an Bhoird Chuck: Trí bhord chuck, ag baint úsáide as córas boird rothlach. Luas chuck: 0-300 rpm.

Cumhacht na Fearsaide: Aschur rátáilte 4.8 kW.

Luas na Fearsaide: 1,000 - 4,000 nóim⁻¹ (rpm).

Taisteal ais-Z: 120 mm (lena n-áirítear bunús).

Ráta beatha meilt ais-Z: 0.0001 - 0.08 mm/s (0.1 - 80 μm/s).

Gluaiseacht íosta ais-Z: 0.1 μm.

Raon tomhais tiús: 0 - 1,800 μm.

Rún tomhais tiús: 0.1 μm.

In-athdhéanamh tomhais tiús: ±0.5 μm.

Sonraíochtaí roth meilt: roth meilt diamant Φ300 mm.

Diall tiús intreach an tsaile (TTV): Níos lú ná 3.0 μm (ag baint úsáide as tábla oibre tiomnaithe, saile φ300 mm).

Diall tiús idir-shrutháin: Níos lú ná ±3.0 μm.

Garbhacht dromchla tar éis bailchríochnaithe: Ry thart ar 0.13 μm (ag baint úsáide as roth meilte #2000); Ry thart ar 0.15 μm (ag baint úsáide as roth meilte #1400).

Toisí trealaimh (L × D × A): Thart ar 1,400 × 3,190 × 1,800 mm.

Meáchan trealaimh: Thart ar 4,000 kg.

Cumhacht riachtanach: Trí chéim 200/220/380/400 V, 50/60 Hz, uastomhaltas cumhachta thart ar 22 kVA.

Aer comhbhrúite riachtanach: Os cionn 0.5 MPa, glan agus saor ó ola, pointe drúchta faoi bhun -15℃, ráta sreafa thart ar 1,000 NL/nóim.

Riachtanais soláthair uisce: uisce DI (uisce dí-ianaithe), teocht 23±1℃, ráta sreafa 6-10 L/nóim.

Buntáistí Croí

Leanann an DFG8560 ag daingniú a sheasamh sa mhargadh mar threalamh tanaithe vaiféir ardfheidhmíochta leis na buntáistí seo a leanas:

Cruinneas meilt ard: Trí dhearadh optamaithe, feabhsaítear cáilíocht an mheilt go héifeachtach, rud a bhaintear amach aonfhoirmeacht tiús intreach (TTV) agus comhsheasmhacht idir na vaiféirí den scoth, rud a chinntíonn feidhmíocht do phróisis éilitheacha amhail pacáistiú chun cinn.

Cáilíocht Meilt Chobhsaí: Cumasaíonn paraiméadair mheilt agus láimhseála optamaithe meilt sceallóga ultra-tanaí cobhsaí, ag rialú an ráta briste go héifeachtach, rud atá ríthábhachtach do sceallóga móra ardluacha.

Inscálaitheacht Sármhaith: Cuireann sé réimse leathan roghanna comhtháthaithe inlíne ar fáil (amhail DBG agus snasú tirim), ag oiriúnú go solúbtha d’uasghráduithe ar líne táirgeachta agus ag cosaint infheistíocht úsáideoirí go hiomlán.

Comhoiriúnacht Láidir: In ann ábhair éagsúla a láimhseáil (amhail sileacan, SiC, GaN, saifír, LT/LN), rud a sholáthraíonn solúbthacht phróisis shuntasach chun leathsheoltóirí agus gléasanna optoelectronic éagsúla a mhonarú.

Éasca le hÚsáid agus le Cothabháil: Laghdaíonn comhéadan úsáideora grafach agus scáileán tadhaill atá furasta le húsáid an tairseach oibriúcháin go mór. Idir an dá linn, is féidir comhpháirteanna tábhachtacha a mhalartú leis an tsraith 800, rud a laghdaíonn costais fardail páirteanna breise agus rioscaí am neamhghníomhach.

Dearadh Éadrom: Baineadh amach laghdú meáchain 1.0 tonna (thart ar 20%) agus sonraíochtaí agus feidhmíocht á gcoimeád. Simplíonn an trealamh níos éadroime an próiseas suiteála agus laghdaíonn sé riachtanais ualaigh urlár na monarchan.

Achoimre ar Ghnéithe Teicniúla: Dearadh Cupáin Trí Shúchán Dé-Ais: Déanann sé meilt gharbh agus meilt mhín a dheighilt, ag críochnú iad in aon oibríocht chlampála amháin, ag feabhsú éifeachtúlachta agus ag cinntiú cruinneas.

Fearsaid aer-statach: Trí fhearsaid aer-statach a úsáid, cuireann an dearadh seo deireadh le teagmháil mheicniúil, rud a fhágann caitheamh íosta agus cruinneas rothlach ard a choinneáil thar thréimhsí fada. Is comhpháirt lárnach í chun cruinneas meaisínithe thar a bheith ard a bhaint amach.

Teicneolaíocht ailínithe pointe meilt déach: Ligeann an teicneolaíocht seo do dhá fhearsaid an suíomh meilt fisiceach céanna a roinnt, rud a chuireann deireadh le hearráidí córasacha de bharr mí-ailínithe pointe próiseála. Feabhsaíonn sé seo aonfhoirmeacht tiús (TTV) laistigh de shliseog aonair agus comhsheasmhacht tiús idir shliseoga ag an am céanna, rud a fhágann gur teicneolaíocht ríthábhachtach í chun meilt thar a bheith tanaí cobhsaí a bhaint amach.

Achoimre: Mar fhocal scoir, is réiteach tanaithe vaiféir 12-orlach lán-uathoibrithe é an DISCO DFG8560 atá deartha le haghaidh olltáirgeadh. I measc a phríomhghnéithe tá ailtireacht bheacht dé-fhearsaid agus cobhsaíocht chórais den scoth, rud a chuireann ar chumas aonfhoirmeachta agus cáilíocht dromchla den scoth a bheith ann agus vaiféir mhóra, ultra-thanaí á bpróiseáil, mar aon le cumais chomhtháthaithe uathoibrithe cumhachtacha.