ଡିସ୍କୋ ୱାଫର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡର DGP8761

DISCO DGP8761 ହେଉଛି ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ/ପଲିସିଂ ମେସିନ୍ ଯାହା ଏହାର ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଶୀର୍ଷକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ, ଯାହାକି ବିଶେଷ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା 12-ଇଞ୍ଚ (300mm) ୱେଫର ଥିନିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। ଏହାର ପ୍ରମୁଖ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ହେଉଛି ସମଗ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ - ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ରଫ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଫାଇନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଠାରୁ ଚାପ ଦୂର କରିବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ - ଏକକ, ନିରନ୍ତର କାର୍ଯ୍ୟରେ, ସ୍ଥିର ଭାବରେ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ 25μm ତଳେ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଥିନ ଘନତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରିବାର କ୍ଷମତା।

ସୁପରିଚିତ ଏବଂ ସର୍ବାଧିକ ବିକ୍ରି ହେଉଥିବା DGP8760 ର ଆଧିକାରିକ ଅପଗ୍ରେଡ୍ ଭାବରେ, ଏହା ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ ଶ୍ରେଷ୍ଠ ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ବିକ୍ରୟ ପ୍ରଦର୍ଶନ ପ୍ରଦାନ କରେ ଏବଂ ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ, ପାୱାର ଡିଭାଇସ୍ ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଥିନ୍ ୱେଫର ଫେବ୍ରିକେସନ୍ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପକରଣ।

ହାର୍ଡୱେର୍ କୋର୍: ତିନି-ଅକ୍ଷ ଡିଜାଇନର ଚତୁରତା ଏବଂ ବିକାଶ

DGP8761ର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବିକାଶର ମୂଳ ଏହାର ସଠିକ ତିନି-ଅକ୍ଷ (3 ଅକ୍ଷ) ଏବଂ ଚାରି-ଚକ୍-ଟେବୁଲ (4 ଚକ୍ ଟେବୁଲ) ସ୍ଥାପତ୍ୟରେ ରହିଛି।

ତ୍ରି-ଅକ୍ଷ ଶ୍ରମ ବିଭାଗ:

Z1 ଅକ୍ଷ (କଚ୍ଚ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ): ୱେଫରର ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱରୁ ଅଧିକାଂଶ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଶୀଘ୍ର ବାହାର କରିବା ପାଇଁ ଦାୟୀ।

Z2 ଅକ୍ଷ (ଫାଇନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ): ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କରେ, ସଠିକ ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ହାସଲ କରେ।

Z3 ଆକ୍ସିସ୍ (ବହୁମୁଖୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ): ଏହା ଏହାର ନମନୀୟତାର ପ୍ରମୁଖ କାରଣ। ଉପଭୋକ୍ତାମାନେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ଚାପ ଦୂର କରିବା, ଗେଟର୍ ଦୂର କରିବା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଶୁଷ୍କ ପଲିସିଂ (ଚାପମୁକ୍ତି), ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ (ପଲିଗ୍ରାଇଣ୍ଡ/ଅଲ୍ଟ୍ରାପଲିଗ୍ରାଇଣ୍ଡ), କିମ୍ବା ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର CMP ମଡ୍ୟୁଲ୍ ଚୟନ କରିପାରିବେ।

ନୂତନ ଭାବରେ ବିକଶିତ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍: ନୂତନ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଉଚ୍ଚ-ଗତିରେ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂକୁ ସମର୍ଥନ କରେ, ଯାହା ପତଳା ୱେଫର ପାଇଁ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ। ଏକକାଳୀନ, ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ହୋଇଥିବା ପରିବହନ ଲେଆଉଟ୍ ଅଣ-ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟକୁ ହ୍ରାସ କରେ, ସାମଗ୍ରିକ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ।

ଉଚ୍ଚ ସ୍ପାଇଣ୍ଡଲ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ:

Z1/Z2 ଅକ୍ଷ: ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଶକ୍ତି 6.3 kW କୁ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି, ଗତି 1,000 - 4,000 ମିନିଟ୍⁻¹, Z-ଅକ୍ଷ ଯାତ୍ରା 120 mm।

Z3 ଅକ୍ଷ: ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ପାୱାର 5.3 kW, Z-ଅକ୍ଷ ଯାତ୍ରା 65 mm।

Z-ଅକ୍ଷ ସଠିକତା: 0.0001 - 0.08 mm/s ଭୂଲମ୍ବ ଫିଡ୍ ହାର, ସର୍ବନିମ୍ନ 0.1 μm ଯାତ୍ରା ମେସିନିଂ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।

ବିସ୍ତୃତ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ସାରାଂଶ

ପାରାମିଟର ବର୍ଗ | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସୂଚକ

ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ ୱର୍କପିସ୍ ଆକାର: Φ200 mm / Φ300 mm (8 ଇଞ୍ଚ / 12 ଇଞ୍ଚ)

ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପଦ୍ଧତି: Z1/Z2 ଅକ୍ଷ: ଫିଡ୍ ମଧ୍ୟରେ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ (ୱେଫର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ)

Z3 ଅକ୍ଷ: ଅସାଧାରଣ ଇନ୍-ଫିଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ (ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ୱେଫର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ)

ସ୍ପାଇଣ୍ଡଲ୍ ବିନ୍ୟାସ: ତିନୋଟି ସ୍ପାଇଣ୍ଡଲ୍ (୩ଟି ଅକ୍ଷ)

କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀ ବିନ୍ୟାସ: ଏକ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଟେବୁଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ଚାରୋଟି ଚକ୍ ଟେବୁଲ୍ (4 ଚକ୍ ଟେବୁଲ୍)

ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ/ପଲିସିଂ ଉପକରଣ: Z1/Z2 ଅକ୍ଷ: Φ300 ମିମି ହୀରା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ

Z3 ଅକ୍ଷ (DP): Φ450 ମିମି ଶୁଷ୍କ ପଲିସିଂ ପ୍ୟାଡ୍

Z3 ଆକ୍ସିସ୍ (CMP): Φ450 mm CMP ପଲିସ୍ ପ୍ୟାଡ୍

ଉପକରଣ ପରିମାଣ: 1,690 mm (W) × 3,315 mm (D) × 1,800 mm (H)

FOUP ମାଉଣ୍ଟେଡ୍ ମଡେଲ୍: × 3,452 mm (D)

ଉପକରଣ ଓଜନ: ପ୍ରାୟ 6,700 କିଲୋଗ୍ରାମ (ଡିପି, ପଲିଗ୍ରାଇଣ୍ଡ ବିନ୍ୟାସ)

ପ୍ରାୟ 6,900 କିଲୋଗ୍ରାମ (CMP ବିନ୍ୟାସ)

ପାୱାର ଆବଶ୍ୟକତା: ତିନି-ଫେଜ୍ 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

ସଙ୍କୁଚିତ ବାୟୁ: ୦.୫ MPa ଉପରେ, ସଫା ଏବଂ ତେଲ ମୁକ୍ତ, କାକର ବିନ୍ଦୁ -୧୫ ℃ ତଳେ

ମୁଖ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଲାଭ:

DGP8761ର ମୂଳ ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକତା ଏହାର ବହୁବିଧ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଫଳ ସମନ୍ୱୟରେ ନିହିତ, ଯାହା "1+1>2" ପ୍ରଭାବ ହାସଲ କରିଥାଏ।

ଏକ-ଷ୍ଟପ୍ ସମାଧାନ: ଏକ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ରୋବୋଟିକ୍ ବାହୁ ମାଧ୍ୟମରେ, ୱେଫରଟି ରଫ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ → ଫାଇନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ → ଡ୍ରାଏ ପଲିସିଂ → ସଫା ଏବଂ ଶୁଖିବାର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ସମାପ୍ତ କରିପାରିବ, ବହୁବାର ପରିଚାଳନା ଯୋଗୁଁ ଖଣ୍ଡ ଖଣ୍ଡ ହେବାର ବିପଦକୁ ଏଡାଇ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଚକ୍ରକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ସଂକ୍ଷିପ୍ତ କରିପାରେ। DGP8761 ଉଚ୍ଚ ବଙ୍କା ଶକ୍ତି ବଜାୟ ରଖି 3μm ରୁ କମ୍ ମୋଟ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ (TTV) ନିରନ୍ତର ଭାବରେ ହାସଲ କରିପାରିବ।

ଶୁଷ୍କ ପଲିସିଂ ଏବଂ ଗୁଇ ପିକଅପ୍ (ଗେଟିଂ): ଏହା DGP8761 ର ସବୁଠାରୁ ପ୍ରଶଂସିତ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ଏହା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚାପ ସ୍ତରକୁ ଅପସାରଣ କରିବା ପାଇଁ Z3-axis ଶୁଷ୍କ ପଲିସିଂ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା କେବଳ ପାରମ୍ପରିକ ଓଦା ପ୍ରକ୍ରିୟା (କୌଣସି ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ କିମ୍ବା ପାଣି ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇ ନାହିଁ) ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ପରିବେଶ ଅନୁକୂଳ ନୁହେଁ, ବରଂ ୱେଫର ଭିତରେ ଏକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣଯୋଗ୍ୟ ମାଇକ୍ରୋ-ଡମେଜ୍ ସ୍ତର ମଧ୍ୟ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଧାତୁ ଅଶୁଦ୍ଧତାକୁ ଧରିବା ପାଇଁ ଏକ "ଗେଟର ଜୋନ୍" ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଚିପ୍ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ। DISCO ର ଅନନ୍ୟ ଅଲଟ୍ରାପଲିଗ୍ରାଇଣ୍ଡ ମାଇକ୍ରୋ-ଆବ୍ରାସିଭ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପୂର୍ବରୁ ଅପ୍ରାପ୍ତ ଉଚ୍ଚ ଚିପ୍ ଶକ୍ତି ହାସଲ କରିବା ସମୟରେ ଗେଟର ପ୍ରଭାବକୁ ବଜାୟ ରଖେ।

ନମନୀୟ ବିନ୍ୟାସ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ଇକୋସିଷ୍ଟମ

DGP8761 ଏକ ପୃଥକ ଉପକରଣ ନୁହେଁ; ଏହା ବିଭିନ୍ନ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପ୍ରଣାଳୀରେ ସୁଗମ ହୋଇପାରିବ।

ସଂଯୋଗ ବିସ୍ତାର: ପତଳା ହେବା ପରେ ସିଧାସଳଖ DAF (ଡାଇ ଆଟାଚ୍ ଫିଲ୍ମ) ସଂଲଗ୍ନ ପାଇଁ ଏହାକୁ DFM2800 ବହୁମୁଖୀ ୱେଫର ଆଟାଚର ସହିତ ସଂଯୋଗ କରାଯାଇପାରିବ। ପତଳା ୱେଫରର ଉତ୍ପାଦନ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଏହାକୁ DBG (ଡାଇସିଂ ବିଫୋର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ) ଭଳି ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରଣାଳୀ ନିର୍ମାଣ କରିବାକୁ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ।

ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଏବଂ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍: DISCO ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତ 8000 ସିରିଜ୍ ଉଚ୍ଚ ସୁସଙ୍ଗତତା ବଜାୟ ରଖେ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଏବଂ ଡ୍ରେସିଂ ପ୍ଲେଟ୍ ଭଳି ପ୍ରମୁଖ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ବିନିମୟଯୋଗ୍ୟ, ଯାହା ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣକୁ ସହଜ କରିଥାଏ ଏବଂ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।

ସଫ୍ଟୱେର୍ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ: ପରିପକ୍ୱ 8000 ସିରିଜ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଉପରେ ଆଧାରିତ ଏକ GUI ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ବ୍ୟବହାର କରି, ଏକୀକୃତ କାର୍ଯ୍ୟ ଲଜିକ୍ ଅପରେଟର ତାଲିମ ସମୟକୁ କମ କରିଥାଏ।

ବଜାର ସ୍ଥିତି ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ: DGP8761 ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ (HPC/AI/3D IC), ପାୱାର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ MEMS ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। DISCO ଏହାର ବିଶ୍ୱ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା କେନ୍ଦ୍ରଗୁଡ଼ିକରେ (ଯେପରିକି ଚୀନ୍ ଏବଂ ସିଙ୍ଗାପୁରରେ) ଏହି ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରି ଡାଇସିଂ ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଫାଉଣ୍ଡ୍ରି ସେବା ମଧ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରେ।

ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ବିଚାର: ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ, DISCO ର ପରିବେଶଗତ (±1°C ମଧ୍ୟରେ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା, ସଫା ସଙ୍କୁଚିତ ବାୟୁ) ଏବଂ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକର କଠୋର ପାଳନ ଜରୁରୀ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, Z3 ଅକ୍ଷ ଗତି ଲଜିକ୍ (5ଟି ମେସିନିଂ କ୍ରମ ଏବଂ ସ୍ଥିତି ପାରାମିଟର ସହିତ) ସିଧାସଳଖ ମେସିନିଂ ଉପଜକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ; ଅନୁପଯୁକ୍ତ ପାରାମିଟର ସେଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ।

ସାରାଂଶ: DISCO DGP8761 ହେଉଛି ଏକ ଉଚ୍ଚମାନର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ/ପଲିସିଂ ମେସିନ୍ ଯାହା ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା, ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନମନୀୟତାକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ମିଶ୍ରଣ କରେ। ଏହା କେବଳ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପତଳା ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ପଥ ପ୍ରଶସ୍ତ କରେ ନାହିଁ ବରଂ ଏହାର ଶକ୍ତିଶାଳୀ ସିଷ୍ଟମ୍ ସ୍କେଲେବିଲିଟି ମାଧ୍ୟମରେ, ଉନ୍ନତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସ୍ମାର୍ଟ କାରଖାନା ନିର୍ମାଣରେ ଏକ ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ ହୋଇଯାଏ। ସର୍ବୋଚ୍ଚ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଖୋଜୁଥିବା ଅଗ୍ରଣୀ ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ପାଇଁ, ଏହା ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ରଣନୈତିକ ନିବେଶକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ।