DISCO kiekkomylly DGP8761

DISCO DGP8761 on täysin automatisoitu hioma-/kiillotuskone, joka edustaa teknologiansa huippua ja on suunniteltu erityisesti tehokkaisiin 12 tuuman (300 mm) kiekkojen ohennusprosesseihin. Sen keskeinen ominaisuus on kyky suorittaa koko prosessi – takapuolen karkeasta hionnasta ja hienohiomisesta jännitystenpoistoon – yhdellä jatkuvalla toiminnolla, työstämällä kiekot tasaisesti erittäin ohuiksi, alle 25 μm:n paksuisiksi osiksi.

Tunnetun ja myydyimmän DGP8760-piirin virallisena päivityksenä se ylpeilee erinomaisella myyntimenestyksellä maailmanlaajuisesti huippuvalmistajien keskuudessa ja on ratkaisevan tärkeä laite edistyneille pakkauksille, teholaitteille ja muille erittäin ohuiden kiekkojen valmistusta vaativille prosesseille.

Laitteiston ydin: Kolmiakselisen suunnittelun kekseliäisyys ja kehitys

DGP8761:n suorituskyvyn kehityksen ydin on sen tarkka kolmiakselinen (3 akselia) ja neliistukkainen (4 istukkapöytää) arkkitehtuuri.

Kolmiaksiaalinen työnjako:

Z1-akseli (karkea hionta): Vastaa materiaalin nopeasta poistamisesta kiekon takapuolelta.

Z2-akseli (hienohionta): Suorittaa kiekon pinnan hienohionnan, jolloin saavutetaan tarkka paksuuden säätö.

Z3-akseli (monipuolinen prosessointi): Tämä on avainasemassa joustavuuden kannalta. Käyttäjät voivat valita kuivakiillotuksen (jännitystenpoisto), erittäin tarkan hionnan (Poligrind/UltraPoligrind) tai erityiset CMP-moduulit jännitystenpoiston, getter-hionnan ja muiden toimintojen saavuttamiseksi prosessivaatimusten mukaan.

Uusi kara: Uusi kara tukee nopeaa hiontaa, mikä lyhentää tehokkaasti ohuiden kiekkojen käsittelyaikaa. Samanaikaisesti optimoitu kuljetusjärjestely vähentää käsittelyaikaa ja parantaa kokonaistehokkuutta.

Korkeamman karan suorituskyvyn tekniset tiedot:

Z1/Z2-akseli: Karan teho nostettu 6,3 kW:iin, nopeus 1 000–4 000 min⁻¹, Z-akselin liike 120 mm.

Z3-akseli: Karan teho 5,3 kW, Z-akselin liike 65 mm.

Z-akselin tarkkuus: Pystysuuntainen syöttönopeus 0,0001–0,08 mm/s, vähimmäisliike 0,1 μm takaavat työstötarkkuuden.

Yksityiskohtaiset tekniset tiedot Yleiskatsaus

Parametriluokka | Erityisindikaattorit

Soveltuvan työkappaleen koko: Φ200 mm / Φ300 mm (8 tuumaa / 12 tuumaa)

Hiontamenetelmä: Z1/Z2 Akseli: Syöttöhionta (kiekkojen pyöritys)

Z3-akseli: Epänormaali syöttöhionta (erityinen kiekkojen pyöritys)

Karan kokoonpano: Kolme karaa (3 akselia)

Työpöydän kokoonpano: Neljä istukkapöytää (4 istukkapöytää), joissa käytetään pyöröpöytäjärjestelmää

Hionta-/kiillotustyökalut: Z1/Z2 Akseli: Φ300 mm timanttihiomalaikka

Z3-akseli (DP): Φ450 mm kuiva kiillotustyyny

Z3-akseli (CMP): Φ450 mm CMP-kiillotustyyny

Laitteen mitat: 1 690 mm (L) × 3 315 mm (S) × 1 800 mm (K)

FOUP-kiinnityksellä varustettu malli: × 3 452 mm (S)

Laitteen paino: Noin 6 700 kg (DP, Poligrind-kokoonpano)

Noin 6 900 kg (CMP-kokoonpano)

Virtavaatimukset: Kolmivaiheinen 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Paineilma: Yli 0,5 MPa, puhdas ja öljytön, kastepiste alle -15 ℃

Ydintoiminnot ja prosessien edut:

DGP8761:n ydin kilpailukykyyn kuuluu useiden prosessien onnistunut integrointi, joka saavuttaa "1+1>2" -vaikutuksen.

Kokonaisvaltainen ratkaisu: Sisäisen robottikäsivarren avulla kiekko voi automaattisesti suorittaa koko prosessin karkeahiomisesta hienohiomiseen, kuivakiillotukseen, puhdistukseen ja kuivaukseen, välttäen toistuvasta käsittelystä johtuvan pirstoutumisriskin ja lyhentäen merkittävästi tuotantosykliä. DGP8761 voi jatkuvasti saavuttaa alle 3 μm:n kokonaispaksuuden vaihtelun (TTV) säilyttäen samalla korkean taivutuslujuuden.

Kuiva kiillotus ja tahmean pinnan kerääminen: Tämä on yksi DGP8761:n ylistetyimmistä ominaisuuksista. Se hyödyntää Z3-akselista kuivakiillotusta hiontajännityskerroksen poistamiseen, mikä on paitsi ympäristöystävällisempää kuin perinteiset märkäprosessit (ei käytetä kemikaaleja tai vettä), myös luo kiekon sisään hallittavan mikrovauriokerroksen, joka toimii "getter-vyöhykkeenä" metalliepäpuhtauksien keräämiseksi, parantaen saantoa ja sirun luotettavuutta. DISCOn ainutlaatuinen UltraPoligrind-mikrohiontateknologia säilyttää getter-vaikutuksen ja saavuttaa samalla aiemmin saavuttamattoman korkean lastunlujuuden.

Joustava kokoonpano ja sovellusekosysteemi

DGP8761 ei ole erillinen laite; se voidaan integroida saumattomasti erilaisiin automaatiojärjestelmiin.

Liitettävyyden laajennus: Se voidaan liittää monitoimiseen DFM2800-kiekkojen kiinnityslaitteeseen suoraa DAF-kiinnitystä (Die Attach Film) varten ohennuksen jälkeen. Sitä voidaan käyttää myös edistyneiden prosessijärjestelmien, kuten DBG:n (Dicing Before Grinding), rakentamiseen ohuiden kiekkojen saannon parantamiseksi.

Huolto ja varaosat: Yhteensopiva DISCO:n kanssa. 8000-sarja on erittäin yhteensopiva, ja sen keskeiset komponentit, kuten hiomalaikat ja oikaisulevyt, ovat keskenään vaihdettavissa, mikä helpottaa huoltoa ja alentaa varaosakustannuksia.

Ohjelmisto ja käyttö: Kypsään 8000-sarjan teknologiaan perustuvan graafisen käyttöliittymän ansiosta yhtenäinen käyttölogiikka lyhentää käyttäjän koulutusaikaa.

Markkina-asema ja sovellukset: DGP8761:tä käytetään laajalti edistyneissä koteloissa (HPC/AI/3D IC), tehopuolijohteissa ja MEMS-laitteissa. DISCO tarjoaa myös kuutiointi- ja jauhatusvalimopalveluita tällä laitteistolla globaaleissa teknologiakeskuksissaan (kuten Kiinassa ja Singaporessa).

Kunnossapitoon liittyviä huomioitavia asioita: Tarkkuuden varmistamiseksi on tärkeää noudattaa tarkasti DISCO:n ympäristövaatimuksia (lämpötila ja kosteus ±1 °C:n sisällä, puhdas paineilma) ja kulutusosia koskevia vaatimuksia. Lisäksi Z3-akselin liikelogiikka (mukaan lukien 5 työstösekvenssiä ja sijaintiparametrit) vaikuttaa suoraan työstön saantoon; virheelliset parametriasetukset voivat johtaa prosessiongelmiin.

Yhteenveto: DISCO DGP8761 on huippuluokan hioma-/kiillotuskone, joka yhdistää täydellisesti suuren tarkkuuden, tehokkuuden ja prosessien joustavuuden. Se ei ainoastaan ​​tasoita tietä huippuluokan ultraohuiden sirujen valmistukselle, vaan siitä tulee tehokkaan järjestelmäskaalautuvuutensa ansiosta myös keskeinen osa edistyneiden puolijohdeälytehtaiden rakentamista. Johtaville valmistajille, jotka pyrkivät korkeimpaan suorituskykyyn ja prosessien vakauteen, se edustaa merkittävää strategista investointia.