DISCO mlinac za oblatne DGP8761

DISCO DGP8761 je potpuno automatizirani stroj za brušenje/poliranje koji predstavlja vrhunac svoje tehnologije, posebno dizajniran za visokoučinkovite procese stanjivanja pločica od 12 inča (300 mm). Njegova ključna značajka je sposobnost da cijeli proces - od grubog brušenja stražnje strane i finog brušenja do uklanjanja naprezanja - završi u jednom, kontinuiranom postupku, dosljedno obrađujući pločice do ultra tankih debljina ispod 25 μm.

Kao službena nadogradnja dobro poznatog i najprodavanijeg DGP8760, može se pohvaliti izvanrednim prodajnim rezultatima među vodećim proizvođačima diljem svijeta i ključni je dio opreme za napredno pakiranje, energetske uređaje i druge procese koji zahtijevaju izradu ultra tankih pločica.

Hardverska jezgra: Domišljatost i evolucija troosnog dizajna

Srž evolucije performansi DGP8761 leži u njegovoj preciznoj arhitekturi s tri osi (3 osi) i četiri stezne glave (4 stezne glave).

Troosna podjela rada:

Z1 os (grubo brušenje): Odgovorna za brzo uklanjanje većine materijala sa stražnje strane pločice.

Z2 os (fino brušenje): Vrši fino brušenje površine pločice, postižući preciznu kontrolu debljine.

Z3 os (svestrana obrada): Ovo je ključ njegove fleksibilnosti. Korisnici mogu odabrati suho poliranje (ublažavanje naprezanja), ultraprecizno brušenje (Poligrind/UltraPoligrind) ili posebne CMP module za postizanje uklanjanja naprezanja, uklanjanja getera i drugih funkcija, ovisno o zahtjevima procesa.

Novo razvijeno vreteno: Novo vreteno podržava brušenje velikom brzinom, učinkovito skraćujući vrijeme obrade tankih pločica. Istovremeno, optimizirani raspored transporta smanjuje vrijeme neobrade, poboljšavajući ukupnu učinkovitost.

Specifikacije za veće performanse vretena:

Os Z1/Z2: Snaga vretena povećana na 6,3 kW, brzina 1000 - 4000 min⁻¹, hod osi Z 120 mm.

Os Z3: Snaga vretena 5,3 kW, hod osi Z 65 mm.

Točnost Z-osi: Vertikalna brzina pomaka od 0,0001 - 0,08 mm/s, minimalni pomak od 0,1 μm osigurava točnost obrade.

Detaljni pregled specifikacija

Kategorija parametra | Specifični pokazatelji

Primjenjiva veličina obratka: Φ200 mm / Φ300 mm (8 inča / 12 inča)

Metoda brušenja: Os Z1/Z2: Brušenje u smjeru dodavanja (rotacija pločice)

Os Z3: Anomalno brušenje ulaznog materijala (posebna rotacija pločice)

Konfiguracija vretena: Tri vretena (3 osi)

Konfiguracija radnog stola: Četiri stezna stola (4 stezna stola), korištenjem sustava rotacijskog stola

Alati za brušenje/poliranje: Os Z1/Z2: Dijamantna brusna ploča Φ300 mm

Z3 os (DP): Φ450 mm jastučić za suho poliranje

Z3 os (CMP): Φ450 mm CMP polirajuća ploča

Dimenzije opreme: 1.690 mm (Š) × 3.315 mm (D) × 1.800 mm (V)

FOUP model s montažom: × 3.452 mm (D)

Težina opreme: cca. 6.700 kg (DP, konfiguracija Poligrinda)

Približno 6.900 kg (CMP konfiguracija)

Zahtjevi za napajanje: Trofazni 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Komprimirani zrak: Iznad 0,5 MPa, čist i bez ulja, točka rosišta ispod -15 ℃

Osnovne funkcije i prednosti procesa:

Osnovna konkurentnost DGP8761 leži u uspješnoj integraciji više procesa, postižući učinak "1+1>2".

Rješenje na jednom mjestu: Pomoću unutarnje robotske ruke, pločica može automatski dovršiti cijeli proces grubog brušenja → finog brušenja → suhog poliranja → čišćenja i sušenja, izbjegavajući rizik od fragmentacije uzrokovane višestrukim rukovanjem i značajno skraćujući proizvodni ciklus. DGP8761 može dosljedno postići ukupnu varijaciju debljine (TTV) manju od 3 μm uz održavanje visoke čvrstoće na savijanje.

Suho poliranje i skupljanje ljepljive tvari (Getting): Ovo je jedna od najcjenjenijih značajki DGP8761. Koristi suho poliranje po Z3 osi za uklanjanje sloja naprezanja brušenja, što je ne samo ekološki prihvatljivije od tradicionalnih mokrih procesa (ne koriste se kemikalije ili voda), već i stvara kontrolirani sloj mikro oštećenja unutar pločice, djelujući kao "zona hvatanja" za hvatanje metalnih nečistoća, poboljšavajući prinos i pouzdanost čipa. DISCO-ova jedinstvena UltraPoligrind mikroabrazivna tehnologija zadržava getter efekt, a istovremeno postiže prethodno nedostižnu visoku čvrstoću čipa.

Fleksibilna konfiguracija i ekosustav aplikacija

DGP8761 nije izolirani uređaj; može se besprijekorno integrirati u različite sustave automatizacije.

Proširenje povezivosti: Može se spojiti na višenamjenski pričvršćivač pločica DFM2800 za izravno pričvršćivanje DAF-a (Die Attach Film) nakon stanjivanja. Također se može koristiti za izgradnju naprednih procesnih sustava kao što je DBG (Dicing Before Grinding) za poboljšanje prinosa tankih pločica.

Održavanje i rezervni dijelovi: Kompatibilno s DISCO-om. Serija 8000 održava visoku kompatibilnost, s ključnim komponentama poput brusnih ploča i ploča za poravnavanje koje su zamjenjive, što olakšava održavanje i smanjuje troškove rezervnih dijelova.

Softver i rad: Korištenjem GUI sučelja temeljenog na zreloj tehnologiji serije 8000, ujedinjena logika rada skraćuje vrijeme obuke operatera.

Tržišna pozicija i primjene: DGP8761 se široko koristi u naprednim pakiranjima (HPC/AI/3D IC), energetskim poluvodičima i MEMS uređajima. DISCO također pruža usluge rezanja i mljevenja u ljevaonicama koristeći ovu opremu u svojim globalnim tehnološkim centrima (kao što su Kina i Singapur).

Razmatranja održavanja: Kako bi se osigurala točnost, ključno je strogo pridržavanje DISCO-ovih okolišnih (temperatura i vlažnost unutar ±1°C, čisti komprimirani zrak) i potrošnih materijala. Nadalje, logika kretanja osi Z3 (uključujući 5 sekvenci obrade i parametara položaja) izravno utječe na prinos obrade; nepravilne postavke parametara mogu dovesti do problema u procesu.

Sažetak: DISCO DGP8761 je vrhunski stroj za brušenje/poliranje koji savršeno kombinira visoku preciznost, visoku učinkovitost i fleksibilnost procesa. Ne samo da utire put vrhunskoj proizvodnji ultra tankih čipova, već i, zahvaljujući svojoj snažnoj skalabilnosti sustava, postaje ključna komponenta u izgradnji naprednih pametnih tvornica poluvodiča. Za vodeće proizvođače koji traže najviše performanse i stabilnost procesa, predstavlja značajno strateško ulaganje.