ເຄື່ອງບົດເວເຟີ DISCO DGP8761

DISCO DGP8761 ເປັນເຄື່ອງບົດ/ຂັດອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມຮູບແບບ ເຊິ່ງເປັນຕົວແທນຂອງຈຸດສູງສຸດຂອງເຕັກໂນໂລຢີຂອງມັນ, ຖືກອອກແບບມາສະເພາະສຳລັບຂະບວນການບາງແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 12 ນິ້ວ (300 ມມ). ຄຸນສົມບັດຫຼັກຂອງມັນແມ່ນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດສຳເລັດຂະບວນການທັງໝົດ - ຕັ້ງແຕ່ການບົດຫຍາບດ້ານຫຼັງ ແລະ ການບົດລະອຽດ ຈົນເຖິງການກຳຈັດຄວາມຕຶງຄຽດ - ໃນການດຳເນີນງານຄັ້ງດຽວຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ໂດຍການປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃຫ້ມີຄວາມໜາບາງພິເສດຕ່ຳກວ່າ 25μm.

ໃນຖານະທີ່ເປັນການຍົກລະດັບຢ່າງເປັນທາງການໃຫ້ແກ່ DGP8760 ທີ່ມີຊື່ສຽງ ແລະ ຂາຍດີທີ່ສຸດ, ມັນມີປະສິດທິພາບການຂາຍທີ່ໂດດເດັ່ນໃນບັນດາຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາທົ່ວໂລກ ແລະ ເປັນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ, ອຸປະກອນພະລັງງານ ແລະ ຂະບວນການອື່ນໆທີ່ຕ້ອງການການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີບາງພິເສດ.

ແກນຮາດແວ: ຄວາມສະຫຼາດຫຼັກແຫຼມ ແລະ ວິວັດທະນາການຂອງການອອກແບບສາມແກນ

ຫຼັກຂອງວິວັດທະນາການປະສິດທິພາບຂອງ DGP8761 ແມ່ນຢູ່ໃນສະຖາປັດຕະຍະກຳສາມແກນ (3 ແກນ) ແລະສີ່ໂຕະ chuck (4 ໂຕະ chuck) ທີ່ຊັດເຈນ.

ພະແນກແຮງງານສາມແກນ:

ແກນ Z1 (ການບົດຫຍາບ): ຮັບຜິດຊອບໃນການເອົາວັດສະດຸສ່ວນໃຫຍ່ອອກຈາກດ້ານຫຼັງຂອງແຜ່ນເວເຟີຢ່າງວ່ອງໄວ.

ແກນ Z2 (ການບົດລະອຽດ): ປະຕິບັດການບົດລະອຽດເທິງໜ້າແຜ່ນເວເຟີ, ບັນລຸການຄວບຄຸມຄວາມໜາທີ່ຊັດເຈນ.

ແກນ Z3 (ການປະມວນຜົນທີ່ຫຼາກຫຼາຍ): ນີ້ແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນຕໍ່ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຂອງມັນ. ຜູ້ໃຊ້ສາມາດເລືອກການຂັດແຫ້ງ (ການບັນເທົາຄວາມຕຶງຄຽດ), ການຂັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (Poligrind/UltraPoligrind), ຫຼືໂມດູນ CMP ພິເສດເພື່ອບັນລຸການກຳຈັດຄວາມຕຶງຄຽດ, ການກຳຈັດ getter, ແລະໜ້າທີ່ອື່ນໆ, ຂຶ້ນກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ.

ແກນໝູນທີ່ພັດທະນາໃໝ່: ແກນໝູນໃໝ່ຮອງຮັບການບົດດ້ວຍຄວາມໄວສູງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດເວລາໃນການປະມວນຜົນສຳລັບແຜ່ນບາງໆໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຮູບແບບການຂົນສົ່ງທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ບໍ່ໄດ້ປະມວນຜົນ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບໂດຍລວມ.

ຂໍ້ມູນຈຳເພາະຂອງປະສິດທິພາບ Spindle ທີ່ສູງຂຶ້ນ:

ແກນ Z1/Z2: ພະລັງງານແກນໝູນໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນເປັນ 6.3 kW, ຄວາມໄວ 1,000 - 4,000 ນາທີ⁻¹, ໄລຍະການເຄື່ອນທີ່ຂອງແກນ Z 120 ມມ.

ແກນ Z3: ພະລັງງານແກນ 5.3 kW, ໄລຍະການເຄື່ອນທີ່ແກນ Z 65 ມມ.

ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງແກນ Z: ອັດຕາການປ້ອນແນວຕັ້ງ 0.0001 - 0.08 ມມ/ວິນາທີ, ການເຄື່ອນຍ້າຍຂັ້ນຕ່ຳ 0.1 μm ຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍຳຂອງເຄື່ອງຈັກ.

ພາບລວມຂອງລາຍລະອຽດສະເພາະ

ໝວດໝູ່ພາລາມິເຕີ | ຕົວຊີ້ວັດສະເພາະ

ຂະໜາດຊິ້ນວຽກທີ່ໃຊ້ໄດ້: Φ200 ມມ / Φ300 ມມ (8 ນິ້ວ / 12 ນິ້ວ)

ວິທີການບົດ: ແກນ Z1/Z2: ການບົດໃນອາຫານ (ການໝຸນແຜ່ນ)

ແກນ Z3: ການບົດເຂົ້າທີ່ຜິດປົກກະຕິ (ການໝຸນແຜ່ນເວເຟີພິເສດ)

ການຕັ້ງຄ່າ Spindle: ສາມ spindles (3 ແກນ)

ການຕັ້ງຄ່າໂຕະເຮັດວຽກ: ໂຕະ chuck ສີ່ໂຕ (ໂຕະ chuck 4 ໂຕ), ໂດຍໃຊ້ລະບົບໂຕະໝູນວຽນ

ເຄື່ອງມືຂັດ/ຂັດເງົາ: ແກນ Z1/Z2: ແຜ່ນຂັດເພັດ Φ300 ມມ

ແກນ Z3 (DP): ແຜ່ນຂັດແຫ້ງ Φ450 ມມ

ແກນ Z3 (CMP): ແຜ່ນຂັດ CMP Φ450 ມມ

ຂະໜາດອຸປະກອນ: 1,690 ມມ (ກວ້າງ) × 3,315 ມມ (ເລິກ) × 1,800 ມມ (ສູງ)

ຮຸ່ນຕິດຕັ້ງ FOUP: × 3,452 ມມ (ເລິກ)

ນ້ຳໜັກອຸປະກອນ: ປະມານ 6,700 ກິໂລກຣາມ (DP, ການຕັ້ງຄ່າ Poligrind)

ປະມານ 6,900 ກິໂລກຣາມ (ການຕັ້ງຄ່າ CMP)

ຄວາມຕ້ອງການພະລັງງານ: ສາມເຟສ 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

ອາກາດທີ່ຖືກບີບອັດ: ສູງກວ່າ 0.5 MPa, ສະອາດ ແລະ ບໍ່ມີນໍ້າມັນ, ຈຸດນໍ້າຄ້າງຕໍ່າກວ່າ -15 ℃

ໜ້າທີ່ຫຼັກ ແລະ ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຂະບວນການ:

ຄວາມສາມາດໃນການແຂ່ງຂັນຫຼັກຂອງ DGP8761 ແມ່ນຢູ່ໃນການເຊື່ອມໂຍງທີ່ປະສົບຜົນສໍາເລັດຂອງຫຼາຍຂະບວນການ, ເຊິ່ງບັນລຸຜົນກະທົບ "1+1>2".

ວິທີແກ້ໄຂແບບຄົບວົງຈອນ: ຜ່ານແຂນຫຸ່ນຍົນພາຍໃນ, ແຜ່ນເວເຟີສາມາດເຮັດສຳເລັດຂະບວນການທັງໝົດຂອງການບົດຫຍາບ → ການບົດລະອຽດ → ການຂັດແຫ້ງ → ການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການອົບແຫ້ງໂດຍອັດຕະໂນມັດ, ຫຼີກລ່ຽງຄວາມສ່ຽງຂອງການແຕກຫັກທີ່ເກີດຈາກການຈັດການຫຼາຍຄັ້ງ ແລະ ເຮັດໃຫ້ວົງຈອນການຜະລິດສັ້ນລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. DGP8761 ສາມາດບັນລຸການປ່ຽນແປງຄວາມໜາທັງໝົດ (TTV) ໜ້ອຍກວ່າ 3μm ໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍສູງ.

ການຂັດແຫ້ງ ແລະ ການເອົາຄວາມໜຽວ (ການຂັດ): ນີ້ແມ່ນໜຶ່ງໃນຄຸນສົມບັດທີ່ໄດ້ຮັບການຍ້ອງຍໍຫຼາຍທີ່ສຸດຂອງ DGP8761. ມັນໃຊ້ການຂັດແຫ້ງແບບ Z3 ແກນເພື່ອກຳຈັດຊັ້ນຄວາມກົດດັນຂອງການຂັດ, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມຫຼາຍກວ່າຂະບວນການປຽກແບບດັ້ງເດີມ (ບໍ່ໃຊ້ສານເຄມີ ຫຼື ນ້ຳ), ແຕ່ຍັງສ້າງຊັ້ນຄວາມເສຍຫາຍຂະໜາດນ້ອຍທີ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ພາຍໃນແຜ່ນເວເຟີ, ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນ "ເຂດດູດຊັບ" ເພື່ອດັກຈັບສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະ, ປັບປຸງຜົນຜະລິດ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຊິບ. ເທັກໂນໂລຢີການຂັດຈຸນລະພາກ UltraPoligrind ທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ DISCO ຮັກສາຜົນກະທົບຂອງການດູດຊັບໄວ້ ໃນຂະນະທີ່ບັນລຸຄວາມແຂງແຮງຂອງຊິບທີ່ສູງທີ່ບໍ່ເຄີຍບັນລຸໄດ້ມາກ່ອນ.

ລະບົບນິເວດການຕັ້ງຄ່າ ແລະ ແອັບພລິເຄຊັນທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ

DGP8761 ບໍ່ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໂດດດ່ຽວ; ມັນສາມາດປະສົມປະສານເຂົ້າກັບລະບົບອັດຕະໂນມັດຕ່າງໆໄດ້ຢ່າງບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ.

ການຂະຫຍາຍການເຊື່ອມຕໍ່: ມັນສາມາດເຊື່ອມຕໍ່ກັບເຄື່ອງຕິດຕັ້ງເວເຟີຫຼາຍໜ້າທີ່ DFM2800 ສຳລັບການຕິດ DAF (Die Attach Film) ໂດຍກົງຫຼັງຈາກການເຮັດໃຫ້ບາງລົງ. ມັນຍັງສາມາດໃຊ້ເພື່ອສ້າງລະບົບຂະບວນການທີ່ກ້າວໜ້າເຊັ່ນ DBG (ການຫັ່ນກ່ອນບົດ) ເພື່ອປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງເວເຟີບາງໆ.

ການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ອາໄຫຼ່: ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບ DISCO ຊຸດ 8000 ຮັກສາຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ສູງ, ໂດຍມີອົງປະກອບຫຼັກເຊັ່ນ: ລໍ້ບົດ ແລະ ແຜ່ນແຕ່ງຕົວທີ່ສາມາດແລກປ່ຽນກັນໄດ້, ອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍອາໄຫຼ່.

ຊອບແວ ແລະ ການດຳເນີນງານ: ໂດຍການນຳໃຊ້ອິນເຕີເຟດ GUI ໂດຍອີງໃສ່ເທັກໂນໂລຢີຊຸດ 8000 ທີ່ພັດທະນາແລ້ວ, ເຫດຜົນການດຳເນີນງານແບບລວມສູນຈະຊ່ວຍຫຼຸດເວລາການຝຶກອົບຮົມຜູ້ປະຕິບັດງານລົງ.

ຕຳແໜ່ງຕະຫຼາດ ແລະ ການນຳໃຊ້: DGP8761 ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວໜ້າ (HPC/AI/3D IC), ເຄິ່ງຕົວນຳໄຟຟ້າ ແລະ ອຸປະກອນ MEMS. DISCO ຍັງໃຫ້ບໍລິການຫຼໍ່ໂລຫະໂດຍໃຊ້ອຸປະກອນນີ້ໃນສູນເຕັກໂນໂລຊີທົ່ວໂລກຂອງຕົນ (ເຊັ່ນໃນປະເທດຈີນ ແລະ ສິງກະໂປ).

ການພິຈາລະນາການບຳລຸງຮັກສາ: ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງ, ການຍຶດໝັ້ນຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມ (ອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພາຍໃນ ±1°C, ອາກາດບີບອັດທີ່ສະອາດ) ແລະ ຂໍ້ກຳນົດການບໍລິໂພກຂອງ DISCO ແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເຫດຜົນການເຄື່ອນໄຫວຂອງແກນ Z3 (ລວມທັງລຳດັບເຄື່ອງຈັກ 5 ຢ່າງ ແລະ ພາລາມິເຕີຕຳແໜ່ງ) ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຜົນຜະລິດຂອງເຄື່ອງຈັກ; ການຕັ້ງຄ່າພາລາມິເຕີທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງສາມາດນຳໄປສູ່ບັນຫາຂະບວນການ.

ສະຫຼຸບ: DISCO ເຄື່ອງ DGP8761 ເປັນເຄື່ອງບົດ/ຂັດລະດັບສູງທີ່ລວມເອົາຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ປະສິດທິພາບສູງ, ແລະ ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຂອງຂະບວນການເຂົ້າກັນຢ່າງສົມບູນແບບ. ມັນບໍ່ພຽງແຕ່ປູທາງໃຫ້ແກ່ການຜະລິດຊິບບາງໆທີ່ທັນສະໄໝເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງຜ່ານຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍລະບົບທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງມັນ, ກາຍເປັນອົງປະກອບຫຼັກໃນການສ້າງໂຮງງານຜະລິດສະຫຼາດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ. ສຳລັບຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນຳທີ່ຊອກຫາປະສິດທິພາບສູງສຸດ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ມັນເປັນຕົວແທນໃຫ້ແກ່ການລົງທຶນຍຸດທະສາດທີ່ສຳຄັນ.