DISCO vahvliveski DGP8761

DISCO DGP8761 on täisautomaatne lihvimis-/poleerimismasin, mis esindab oma tehnoloogia tipptaset ja on loodud spetsiaalselt suure tõhususega 12-tolliste (300 mm) vahvlite õhendamise protsesside jaoks. Selle peamine omadus on võime läbi viia kogu protsess – alates tagakülje jämedast lihvimisest ja peenlihvimisest kuni pingete eemaldamiseni – ühe pideva toiminguga, töödeldes vahvleid järjepidevalt üliõhukestena, alla 25 μm paksusega.

Tuntud ja enimmüüdud DGP8760 ametliku uuendusena on sellel silmapaistvad müügitulemused maailma tipptootjate seas ning see on ülioluline seade täiustatud pakendite, toiteseadmete ja muude üliõhukeste vahvlite valmistamist nõudvate protsesside jaoks.

Riistvara tuum: kolmeteljelise disaini leidlikkus ja areng

DGP8761 jõudluse evolutsiooni tuumaks on selle täpne kolmeteljeline (3 telge) ja nelja padruniga (4 padruniga) arhitektuur.

Kolmeteljeline tööjaotus:

Z1-telg (jämeda lihvimise telg): vastutab suurema osa materjali kiire eemaldamise eest vahvli tagaküljelt.

Z2 telg (peenlihvimine): teostab vahvli pinna peenlihvimist, saavutades täpse paksuse kontrolli.

Z3-telg (mitmekülgne töötlemine): See on selle paindlikkuse võti. Kasutajad saavad valida kuiva poleerimise (pingete leevendamine), ülitäpse lihvimise (Poligrind/UltraPoligrind) või spetsiaalsed CMP-moodulid pingete eemaldamiseks, getter-i eemaldamiseks ja muudeks funktsioonideks, olenevalt protsessi nõuetest.

Uus spindel: Uus spindel toetab kiiret lihvimist, lühendades tõhusalt õhukeste vahvlite töötlemisaega. Samal ajal vähendab optimeeritud transpordi paigutus töötlemisvälist aega, parandades üldist efektiivsust.

Suurema spindli jõudluse spetsifikatsioonid:

Z1/Z2 telg: Spindli võimsus suurendatud 6,3 kW-ni, kiirus 1000–4000 min⁻¹, Z-telje käik 120 mm.

Z3-telg: Spindli võimsus 5,3 kW, Z-telje käik 65 mm.

Z-telje täpsus: vertikaalne etteandekiirus 0,0001–0,08 mm/s, minimaalne liikumistee 0,1 μm tagab töötlemise täpsuse.

Üksikasjalike spetsifikatsioonide ülevaade

Parameetri kategooria | Spetsiifilised näitajad

Kohaldatav tooriku suurus: Φ200 mm / Φ300 mm (8 tolli / 12 tolli)

Lihvimismeetod: Z1/Z2 telg: etteande lihvimine (vahvli pöörlemine)

Z3 telg: anomaalne söötmise ajal lihvimine (spetsiaalne kiibi pöörlemine)

Spindli konfiguratsioon: kolm spindlit (3 telge)

Töölaua konfiguratsioon: Neli padrunilauda (4 padrunilauda), kasutades pöördlaua süsteemi

Lihvimis-/poleerimisvahendid: Z1/Z2 Telg: Φ300 mm teemantlihvketas

Z3 telg (DP): Φ450 mm kuivpoleerimispadi

Z3 telg (CMP): Φ450 mm CMP poleerimispadi

Seadme mõõtmed: 1690 mm (L) × 3315 mm (S) × 1800 mm (K)

FOUP-kinnitusega mudel: × 3452 mm (S)

Seadme kaal: Ligikaudu 6700 kg (DP, Poligrindi konfiguratsioon)

Ligikaudu 6900 kg (CMP-konfiguratsioon)

Toitevajadus: kolmefaasiline 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Suruõhk: üle 0,5 MPa, puhas ja õlivaba, kastepunkt alla -15 ℃

Põhifunktsioonid ja protsessi eelised:

DGP8761 peamine konkurentsivõime seisneb mitme protsessi edukas integreerimises, saavutades "1+1>2" efekti.

Ühekordne lahendus: sisemise robotkäe abil saab vahvel automaatselt läbida kogu protsessi – jämeda lihvimise, peenlihvimise, kuiva poleerimise, puhastamise ja kuivatamise –, vältides mitmekordsest käitlemisest tingitud killustumise ohtu ja lühendades oluliselt tootmistsüklit. DGP8761 suudab järjepidevalt saavutada kogupaksuse kõikumise (TTV) alla 3 μm, säilitades samal ajal kõrge paindetugevuse.

Kuivpoleerimine ja kleepuva materjali kogumine (saamine): See on DGP8761 üks kiiduväärsemaid omadusi. See kasutab Z3-teljelist kuivpoleerimist lihvimispingekihi eemaldamiseks, mis on mitte ainult keskkonnasõbralikum kui traditsioonilised märgprotsessid (kemikaale ega vett ei kasutata), vaid loob ka kiibi sisse kontrollitava mikrokahjustuste kihi, mis toimib "getter-tsoonina" metalliliste lisandite püüdmiseks, parandades saagikust ja kiibi töökindlust. DISCO ainulaadne UltraPoligrind mikroabrasiivtehnoloogia säilitab getter-efekti, saavutades samal ajal varem saavutamatu kõrge kiibi tugevuse.

Paindlik konfiguratsioon ja rakenduste ökosüsteem

DGP8761 ei ole isoleeritud seade; see saab sujuvalt integreeruda erinevatesse automatiseerimissüsteemidesse.

Ühenduvuse laiendamine: Selle saab ühendada DFM2800 multifunktsionaalse kiipide kinnitusseadmega, et pärast hõrenemist otse DAF-i (stantskinnituskile) kinnitada. Seda saab kasutada ka täiustatud protsessisüsteemide, näiteks DBG (tükkideks lõikamine enne jahvatamist), loomiseks, et parandada õhukeste kiipide saagikust.

Hooldus ja varuosad: Ühildub DISCO-ga. 8000 seeria ühildub väga hästi, kusjuures põhikomponendid, näiteks lihvkettad ja lihvplaadid, on omavahel vahetatavad, mis hõlbustab hooldust ja vähendab varuosade kulusid.

Tarkvara ja kasutamine: Kasutades küpsel 8000-seeria tehnoloogial põhinevat graafilist kasutajaliidest, lühendab ühtne tööloogika operaatori koolitusaega.

Turupositsioon ja rakendused: DGP8761 kiipi kasutatakse laialdaselt täiustatud pakendites (HPC/AI/3D IC), võimsuspooljuhtides ja MEMS-seadmetes. DISCO pakub oma globaalsetes tehnoloogiakeskustes (näiteks Hiinas ja Singapuris) ka tükeldamis- ja lihvimisvaluteenuseid, kasutades seda seadet.

Hoolduskaalutlused: Täpsuse tagamiseks on oluline rangelt järgida DISCO keskkonnanõudeid (temperatuur ja niiskus ±1 °C piires, puhas suruõhk) ja kulumaterjalide nõudeid. Lisaks mõjutab Z3-telje liikumisloogika (sh 5 töötlemisjärjestust ja positsiooniparameetrit) otseselt töötlemise saagikust; valed parameetrite sätted võivad põhjustada protsessiprobleeme.

Kokkuvõte: DISCO DGP8761 on tipptasemel lihvimis-/poleerimismasin, mis ühendab ideaalselt suure täpsuse, suure efektiivsuse ja protsessi paindlikkuse. See mitte ainult ei silluta teed tipptasemel üliõhukeste kiipide tootmisele, vaid tänu oma võimsale süsteemi skaleeritavusele saab sellest ka põhikomponent täiustatud pooljuhtide nutikate tehaste ehitamisel. Juhtivatele tootjatele, kes otsivad suurimat jõudlust ja protsessi stabiilsust, kujutab see endast olulist strateegilist investeeringut.