Grinder tal-wejfer DISCO DGP8761

Id-DISCO DGP8761 hija magna tat-tħin/illustrar kompletament awtomatizzata li tirrappreżenta l-quċċata tat-teknoloġija tagħha, iddisinjata speċifikament għal proċessi ta' rqiq ta' wejfers ta' 12-il pulzier (300mm) b'effiċjenza għolja. Il-karatteristika ewlenija tagħha hija l-abbiltà tagħha li tlesti l-proċess kollu—mit-tħin mhux maħdum minn wara u t-tħin fin sat-tneħħija tal-istress—f'operazzjoni waħda u kontinwa, billi tipproċessa wejfers b'mod konsistenti għal ħxuna ultra-rqiqa taħt il-25μm.

Bħala l-aġġornament uffiċjali għad-DGP8760 magħruf u l-aktar mibjugħ, jiftaħar b'prestazzjoni eċċellenti tal-bejgħ fost il-manifatturi ewlenin madwar id-dinja u huwa biċċa tagħmir kruċjali għall-ippakkjar avvanzat, apparati tal-enerġija, u proċessi oħra li jeħtieġu fabbrikazzjoni ta' wejfers ultra-rqaq.

Qalba tal-Ħardwer: L-Inġenwità u l-Evoluzzjoni tad-Disinn bi Tliet Assi

Il-qalba tal-evoluzzjoni tal-prestazzjoni tad-DGP8761 tinsab fl-arkitettura preċiża tagħha bi tliet assi (3 assi) u erba' mejdiet taċ-chuck (4 mejdiet taċ-chuck).

Diviżjoni tax-Xogħol bi Tliet Assi:

Assi Z1 (Tħin Mhux Maħdum): Responsabbli għat-tneħħija rapida tal-biċċa l-kbira tal-materjal min-naħa ta' wara tal-wejfer.

Assi Z2 (Tħin Fin): Iwettaq tħin fin fuq il-wiċċ tal-wejfer, u jikseb kontroll preċiż tal-ħxuna.

Assi Z3 (Ipproċessar Versatili): Dan huwa essenzjali għall-flessibbiltà tiegħu. L-utenti jistgħu jagħżlu l-illustrar niexef (serħan mill-istress), it-tħin ultra-preċiżjoni (Poligrind/UltraPoligrind), jew moduli CMP speċjali biex jiksbu t-tneħħija tal-istress, it-tneħħija tal-getter, u funzjonijiet oħra, skont ir-rekwiżiti tal-proċess.

Magħżel Żviluppat Ġdid: Il-magħżel il-ġdid jappoġġja tħin b'veloċità għolja, u b'hekk iqassar b'mod effettiv il-ħin tal-ipproċessar għal wejfers irqaq. Fl-istess ħin, it-tqassim ottimizzat tat-trasport inaqqas il-ħin mhux ipproċessat, u b'hekk itejjeb l-effiċjenza ġenerali.

Speċifikazzjonijiet tal-Prestazzjoni tal-Magħżel Ogħla:

Assi Z1/Z2: Il-qawwa tal-magħżel żdiedet għal 6.3 kW, veloċità 1,000 - 4,000 min⁻¹, moviment tal-assi Z 120 mm.

Assi Z3: Qawwa tal-magħżel 5.3 kW, moviment tal-assi Z 65 mm.

Preċiżjoni tal-Assi Z: Rata ta' tmigħ vertikali ta' 0.0001 - 0.08 mm/s, moviment minimu ta' 0.1 μm jiżgura preċiżjoni tal-magni.

Ħarsa Ġenerali Dettaljata tal-Ispeċifikazzjonijiet

Kategorija tal-Parametri | Indikaturi Speċifiċi

Daqs tal-Biċċa tax-Xogħol Applikabbli: Φ200 mm / Φ300 mm (8 pulzieri / 12-il pulzier)

Metodu tat-Tħin: Assi Z1/Z2: Tħin fil-fond (rotazzjoni tal-wejfer)

Assi Z3: Tħin anomalu fl-għalf (rotazzjoni speċjali tal-wejfer)

Konfigurazzjoni tal-magħżel: Tliet magħżel (3 assi)

Konfigurazzjoni tal-Mejda tax-Xogħol: Erba' mwejjed taċ-ċokkijiet (4 mwejjed taċ-ċokkijiet), bl-użu ta' sistema ta' mejda li ddur

Għodda tat-tħin/illustrar: Assi Z1/Z2: Rota tat-tħin tad-djamanti Φ300 mm

Assi Z3 (DP): Kuxxinett tal-lostru niexef Φ450 mm

Assi Z3 (CMP): Kuxxinett tal-lostru CMP Φ450 mm

Dimensjonijiet tat-Tagħmir: 1,690 mm (W) × 3,315 mm (P) × 1,800 mm (Għ)

Mudell Immuntat fuq FOUP: × 3,452 mm (D)

Piż tat-Tagħmir: Madwar 6,700 kg (DP, konfigurazzjoni Poligrind)

Madwar 6,900 kg (konfigurazzjoni CMP)

Rekwiżiti tal-Enerġija: Tliet fażijiet 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Arja Kompressata: 'Il fuq minn 0.5 MPa, nadifa u ħielsa miż-żejt, punt tan-nida taħt -15 ℃

Funzjonijiet Ewlenin u Vantaġġi tal-Proċess:

Il-kompetittività ewlenija tad-DGP8761 tinsab fl-integrazzjoni b'suċċess tagħha ta' proċessi multipli, u b'hekk tikseb effett "1+1>2".

Soluzzjoni b'Waqfa Waħda: Permezz ta' driegħ robotiku intern, il-wejfer jista' awtomatikament jikkompleta l-proċess kollu ta' tħin mhux maħdum → tħin fin → illustrar niexef → tindif u tnixxif, u jevita r-riskju ta' frammentazzjoni kkawżata minn immaniġġjar multiplu u jqassar b'mod sinifikanti ċ-ċiklu tal-produzzjoni. Id-DGP8761 jista' konsistentement jikseb varjazzjoni totali tal-ħxuna (TTV) ta' inqas minn 3μm filwaqt li jżomm saħħa għolja tal-liwi.

Lustrar Niexef u Ġbir ta' Materjal li Jwaħħal (Getting): Din hija waħda mill-aktar karatteristiċi milqugħa tad-DGP8761. Juża l-lustrar niexef fuq l-assi Z3 biex ineħħi s-saff tal-istress tat-tħin, li mhux biss huwa aktar favur l-ambjent mill-proċessi tradizzjonali mxarrbin (l-ebda kimiċi jew ilma ma jintużaw), iżda joħloq ukoll saff ta' mikro-ħsara kontrollabbli ġewwa l-wejfer, li jaġixxi bħala "żona getter" biex jaqbad l-impuritajiet metalliċi, u b'hekk itejjeb ir-rendiment u l-affidabbiltà taċ-ċippa. It-teknoloġija unika ta' mikro-abrażiva UltraPoligrind ta' DISCO żżomm l-effett getter filwaqt li tikseb saħħa għolja taċ-ċippa li qabel ma kinitx tintlaħaq.

Konfigurazzjoni Flessibbli u Ekosistema ta' Applikazzjoni

Id-DGP8761 mhuwiex apparat iżolat; jista' jintegra bla xkiel f'diversi sistemi ta' awtomazzjoni.

Espansjoni tal-Konnettività: Jista' jiġi konness mal-attacher tal-wejfer multifunzjonali DFM2800 għal twaħħil dirett tad-DAF (Die Attach Film) wara t-tnaqqija. Jista' jintuża wkoll biex jinbnew sistemi ta' proċess avvanzati bħal DBG (Dicing Before Grinding) biex tittejjeb ir-rendiment ta' wejfers irqaq.

Manutenzjoni u Spare Parts: Kompatibbli ma' DISCO Is-serje 8000 iżżomm kompatibilità għolja, b'komponenti ewlenin bħar-roti tat-tħin u l-pjanċi tat-dressing li huma interkambjabbli, u b'hekk tiffaċilita l-manutenzjoni u tnaqqas l-ispejjeż tal-ispare parts.

Softwer u Tħaddim: Bl-użu ta' interface GUI bbażata fuq teknoloġija matura tas-serje 8000, il-loġika operattiva unifikata tqassar il-ħin tat-taħriġ tal-operatur.

Pożizzjoni fis-Suq u Applikazzjonijiet: Id-DGP8761 jintuża ħafna f'ippakkjar avvanzat (HPC/AI/3D IC), semikondutturi tal-enerġija, u apparati MEMS. DISCO tipprovdi wkoll servizzi ta' funderija tat-tqattigħ f'dadi u tħin bl-użu ta' dan it-tagħmir fiċ-ċentri tat-teknoloġija globali tagħha (bħal fiċ-Ċina u f'Singapor).

Konsiderazzjonijiet ta' Manutenzjoni: Biex tiġi żgurata l-eżattezza, hija essenzjali l-aderenza stretta mar-rekwiżiti ambjentali (temperatura u umdità fi ħdan ±1°C, arja kkompressata nadifa) u tal-konsumabbli tad-DISCO. Barra minn hekk, il-loġika tal-moviment tal-assi Z3 (inklużi 5 sekwenzi ta' mmaxinjar u parametri tal-pożizzjoni) taffettwa direttament ir-rendiment tal-mmaxinjar; is-settings mhux xierqa tal-parametri jistgħu jwasslu għal problemi fil-proċess.

Sommarju: DISCO Id-DGP8761 hija magna tat-tħin/lustrar ta' kwalità għolja li tgħaqqad perfettament preċiżjoni għolja, effiċjenza għolja, u flessibilità tal-proċess. Din mhux biss twitti t-triq għall-manifattura ta' ċipep ultra-rqaq avvanzati iżda wkoll, permezz tal-iskalabbiltà qawwija tas-sistema tagħha, issir komponent ewlieni fil-bini ta' fabbriki intelliġenti tas-semikondutturi avvanzati. Għall-manifatturi ewlenin li jfittxu l-ogħla prestazzjoni u stabbiltà tal-proċess, din tirrappreżenta investiment strateġiku sinifikanti.