Grinder tal-wejfer DISCO DFG8560

Bħala aġġornament għas-serje DFG800, id-DISCO DFG8560 hija magna tat-tnaqqija tal-wejfers kompletament awtomatizzata. Hija ddisinjata speċifikament biex tilqa' l-isfidi tat-tnaqqija tal-wejfers ta' 12-il pulzier. Il-prinċipju operattiv ewlieni tagħha huwa bbażat fuq konfigurazzjoni ta' żewġ magħżel u tliet mandrini, li tlesti kemm l-istadji ta' "tħin mhux maħdum" kif ukoll ta' "tħin fin" tal-proċess tat-tnaqqija f'operazzjoni waħda ta' kklampjar tal-wejfer. Dan id-disinn itejjeb b'mod sinifikanti l-effiċjenza tal-ipproċessar u l-kontroll tal-preċiżjoni.

**Prinċipju ta' Ħidma**

Id-DFG8560 jikseb irqiq tal-wejfer permezz ta' moviment mekkaniku ta' preċiżjoni għolja:

**Struttura ta' Riġidità Għolja:** Il-magna timpjega magħżel li jżomm l-arja b'riġidità għolja, li jiżgura stabbiltà eċċellenti matul il-proċess tat-tħin.

**Proċess tat-Tħin f'Żewġ Passi:**

**Tħin mhux maħdum:** L-ewwel magħżel juża rota b'ramel aktar oħxon (eż., rota tad-djamanti marbuta bir-reżina). Ir-rotazzjoni b'veloċità għolja tneħħi malajr il-biċċa l-kbira tal-materjal min-naħa ta' wara tal-wejfer, u b'hekk timmassimizza l-effiċjenza.

**Tħin Fin:** It-tieni magħżel juża rota b'ramel aktar fin (eż., rota tad-djamanti marbuta biċ-ċeramika) għat-tħin preċiż tal-wejfer. Dan il-proċess joħloq wiċċ lixx u ċatt u jneħħi s-saff bil-ħsara prodott matul l-istadju tat-tħin mhux maħdum.

Fl-operazzjoni attwali, il-wejfer jinżamm f'postu fuq ċokk li jdur permezz ta' ġbid bil-vakwu. Iċ-ċokk idur fid-direzzjoni opposta għar-rota tat-tħin b'veloċità għolja; ir-rota tiċċaqlaq vertikalment 'l isfel, u taqta' l-wiċċ tal-wejfer.

**Karatteristiċi Ewlenin**

Il-funzjoni ewlenija tad-DFG8560 hija t-tnaqqija tal-wejfer. Għal dan il-għan, jintegra serje ta' funzjonijiet ewlenin:

**Tħaddim Kompletament Awtomatizzat:** Dan it-tagħmir jawtomatizza l-fluss tax-xogħol kollu mit-tagħbija tal-wejfer, l-allinjament, it-tħin, it-tindif sal-ħatt, u b'hekk inaqqas b'mod sinifikanti l-intervent manwali u jtejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni.

**Kontroll tal-Ħxuna bi Preċiżjoni Għolja:** Billi tintegra sistema ta' kejl tal-ħxuna online b'riżoluzzjoni għolja (0.1 μm), it-tagħmir jikseb kontroll b'ċirkwit magħluq tal-proċess tat-tħin, u jiżgura l-eżattezza tal-ħxuna finali tal-wejfer.

**Ipproċessar ta' Wejfers Irqaq Ħafna:** Billi jottimizza l-parametri tas-sistema tat-tħin u l-ipproċessar, id-DFG8560 jista' jipproċessa b'mod stabbli wejfers irqaq ħafna bi ħxuna ta' 100 μm jew inqas, filwaqt li jimminimizza r-riskju ta' ksur tal-wejfer.

**Sejbien ta' Difetti:** Din is-sistema tista' tidentifika difetti fuq il-wiċċ tal-wejfer, u tipprovdi l-appoġġ tad-dejta meħtieġ għal proċessi ta' tiswija sussegwenti jew linji ta' feedback.

**Interfaċċja Faċli għall-Utent:** Mgħammra b'LCD touchscreen u interfaċċja grafika għall-utent (GUI), is-sistema turi l-istat tal-ipproċessar u tat-tagħmir f'ħin reali, u b'hekk tagħmel l-operazzjoni u l-manutenzjoni aktar sempliċi u intuwittivi.

**Integrazzjoni u Espansjoni Online:** Id-DFG8560 jista' jiġi integrat bla xkiel f'linji ta' produzzjoni awtomatizzati aktar kumplessi, bħal:

**Sistema DBG (Post-Die Grinding):** Tintegra proċessi ta' tqattigħ f'kubi u rqiq, u b'hekk tagħmilha partikolarment adattata għall-manifattura ta' laqx ultra-rqaq.

**Magna tal-Lustrar Niexef (eż., DFP8160):** Tifforma sistema integrata li twettaq illustrar niexef wara l-proċessi tat-tħin, u b'hekk tnaqqas aktar il-ħruxija tal-wiċċ tal-wejfer (valur Ry) u telimina l-ħsara kkawżata mit-tħin.

**Laminatur/Stripper tal-Wafer:** Integrat biex japplika jew ineħħi awtomatikament films protettivi tal-lostru, u joħloq fluss tax-xogħol awtomatizzat kompletament.

**Komunikazzjoni SECS/GEM:** Dan l-apparat jappoġġja l-protokoll ta' komunikazzjoni SECS/GEM, li jippermetti konnessjoni ma' Sistema ta' Eżekuzzjoni tal-Manifattura (MES) tal-fabbrika għal monitoraġġ mill-bogħod u akkwist awtomatizzat tad-dejta tal-produzzjoni.

**Applikazzjonijiet u Funzjonijiet:**

Il-funzjoni primarja tad-DFG8560 hija li tipprovdi wejfers bi ħxuna uniformi u kwalità tal-wiċċ eċċellenti għal proċessi sussegwenti bħat-tqattigħ f'dadi u l-ippakkjar; il-kompatibilità wiesgħa tal-materjali tagħha tagħmilha wkoll adattata għal firxa wiesgħa ta' applikazzjonijiet.

**Irqaq tal-Wafer:** Tnaqqis tal-ħxuna tal-wafer mill-ħxuna oriġinali tiegħu għal ħxuna fil-mira—rekwiżit fundamentali għal kważi l-applikazzjonijiet kollha.

**Tneħħija tas-Saff tal-Ħsara:** L-eliminazzjoni tas-saffi bil-ħsara mill-istress iġġenerati fi proċessi upstream (bħal tħin fin-naħa ta' wara)—pass kritiku biex tiġi żgurata s-saħħa mekkanika taċ-ċippa.

**Planarizzazzjoni tal-Wiċċ:** Tipprovdi sottostrat ċatt ħafna għal proċessi ta' preċiżjoni sussegwenti (bħal fotolitografija u twaħħil)—prerekwiżit għal manifattura ta' preċiżjoni għolja.

**Ippakkjar 3D u Espożizzjoni TSV:** Jipprovdu l-wejfers irqaq meħtieġa biex tirrealizza t-teknoloġija Through-Silicon Vias (TSV) u jesponu b'mod preċiż il-qiegħ tal-istruttura TSV—komponent ewlieni tal-ippakkjar avvanzat.

Manifattura ta' Apparati tal-Enerġija u RF: Użata għat-tnaqqija ta' SiC, GaN, u wejfers semikondutturi komposti oħra biex tnaqqas ir-reżistenza għall-użu u ttejjeb id-dissipazzjoni tas-sħana.

Fabbrikazzjoni ta' Apparati Ottiċi u Filtri: Użat għat-tnaqqija preċiża u l-planarizzazzjoni ta' materjali iebsin u fraġli bħal żaffir (sottostrat LED) u tantalat tal-litju/nijobat tal-litju (filtru RF).

Speċifikazzjonijiet Dettaljati

Speċifikazzjonijiet Speċifikazzjonijiet

Daqs tal-Biċċa tax-Xogħol Applikabbli: Φ300 mm (12-il pulzier). Iċ-ċokk universali jappoġġja wejfers Φ200 mm/Φ300 mm.

Metodu tat-tħin: Tħin lonġitudinali tal-għalf bir-rotazzjoni tal-wejfer.

Konfigurazzjoni tal-magħżel: Magħżel doppju (2 assi). Magħżel statiku tal-arja mħaddem b'mutur ta' frekwenza għolja integrat.

Konfigurazzjoni tal-Mejda taċ-Ċokk: Tliet mejdiet taċ-ċokk, bl-użu ta' sistema ta' mejda rotatorja. Veloċità taċ-ċokk: 0-300 rpm.

Qawwa tal-magħżel: Qawwa nominali tal-ħruġ 4.8 kW.

Veloċità tal-magħżel: 1,000 - 4,000 min⁻¹ (rpm).

Ivvjaġġar tal-assi Z: 120 mm (inkluża l-oriġini).

Rata ta' alimentazzjoni tat-tħin fuq l-assi Z: 0.0001 - 0.08 mm/s (0.1 - 80 μm/s).

Moviment minimu tal-assi Z: 0.1 μm.

Firxa tal-kejl tal-ħxuna: 0 - 1,800 μm.

Riżoluzzjoni tal-kejl tal-ħxuna: 0.1 μm.

Ripetibbiltà tal-kejl tal-ħxuna: ±0.5 μm.

Speċifikazzjonijiet tar-rota tat-tħin: Rota tat-tħin tad-djamanti Φ300 mm.

Devjazzjoni tal-ħxuna intra-wejfer (TTV): Inqas minn 3.0 μm (bl-użu ta' mejda tax-xogħol iddedikata, wejfer ta' φ300 mm).

Devjazzjoni tal-ħxuna bejn il-wejfers: Inqas minn ±3.0 μm.

Ħruxija tal-wiċċ wara l-irfinar: Ry madwar 0.13 μm (bl-użu ta' mola tat-tħin #2000); Ry madwar 0.15 μm (bl-użu ta' mola tat-tħin #1400).

Dimensjonijiet tat-tagħmir (W × D × H): Madwar 1,400 × 3,190 × 1,800 mm.

Piż tat-tagħmir: Madwar 4,000 kg.

Qawwa meħtieġa: Tliet fażijiet 200/220/380/400 V, 50/60 Hz, konsum massimu ta' enerġija madwar 22 kVA.

Arja kkompressata meħtieġa: 'Il fuq minn 0.5 MPa, nadifa u ħielsa miż-żejt, punt tan-nida taħt -15℃, rata tal-fluss ta' madwar 1,000 NL/min.

Rekwiżiti tal-provvista tal-ilma: Ilma DI (ilma dejonizzat), temperatura 23±1℃, rata tal-fluss 6-10 L/min.

Vantaġġi Ewlenin

Id-DFG8560 ikompli jsaħħaħ il-pożizzjoni tiegħu fis-suq bħala tagħmir ta' rqaq tal-wejfers ta' prestazzjoni għolja bil-vantaġġi li ġejjin:

Preċiżjoni għolja tat-tħin: Permezz ta' disinn ottimizzat, il-kwalità tat-tħin titjieb b'mod effettiv, u b'hekk tinkiseb uniformità eċċellenti tal-ħxuna intra-wejfer (TTV) u konsistenza inter-wejfer, u b'hekk tiġi żgurata prestazzjoni għal proċessi impenjattivi bħall-ippakkjar avvanzat.

Kwalità Stabbli tat-Tħin: Parametri ottimizzati tat-tħin u l-immaniġġjar jippermettu tħin stabbli ta' wejfer ultra-rqiq, u jikkontrollaw b'mod effettiv ir-rata ta' ksur, li hija kruċjali għal wejfers ta' daqs kbir u ta' valur għoli.

Skalabbiltà Superjuri: Toffri għadd kbir ta' għażliet ta' integrazzjoni onlajn (bħal DBG u illustrar niexef), tadatta b'mod flessibbli għall-aġġornamenti tal-linja tal-produzzjoni u tipproteġi bis-sħiħ l-investiment tal-utent.

Kompatibilità Qawwija: Kapaċi timmaniġġja diversi materjali (bħal silikon, SiC, GaN, żaffir, LT/LN), u tipprovdi flessibbiltà sinifikanti fil-proċess għall-manifattura ta' diversi semikondutturi u apparati optoelettroniċi.

Faċli għall-Utent u għall-Manteniment: GUI u touchscreen faċli għall-utent inaqqsu ħafna l-limitu operattiv. Sadanittant, il-komponenti ewlenin huma interkambjabbli mas-serje 800, u b'hekk jitnaqqsu l-ispejjeż tal-inventarju tal-ispare parts u r-riskji ta' waqfien.

Disinn Ħafif: Inkiseb tnaqqis fil-piż ta' tunnellata waħda (madwar 20%) filwaqt li nżammu l-ispeċifikazzjonijiet u l-prestazzjoni. It-tagħmir eħfef jissimplifika l-proċess ta' installazzjoni u jnaqqas ir-rekwiżiti tat-tagħbija tal-art tal-fabbrika.

Sommarju tal-Karatteristiċi Tekniċi: Disinn ta' Tazza ta' Ġbid b'Żewġ Assi u Tliet Assi: Jissepara t-tħin mhux maħdum u t-tħin fin, u jlestihom f'operazzjoni waħda ta' kklampjar, u b'hekk itejjeb l-effiċjenza filwaqt li jiżgura l-eżattezza.

Mandrin statiku bl-arja: Billi juża mandrin statiku bl-arja, dan id-disinn jelimina l-kuntatt mekkaniku, li jirriżulta f'użu minimu u jżomm preċiżjoni rotazzjonali għolja fuq perjodi twal. Huwa komponent ewlieni biex tinkiseb preċiżjoni tal-magni ultra-għolja.

Teknoloġija ta' allinjament ta' punti ta' tħin doppji: Din it-teknoloġija tippermetti li żewġ mandrini jaqsmu l-istess pożizzjoni fiżika tat-tħin, u b'hekk jeliminaw żbalji sistematiċi kkawżati minn allinjament ħażin tal-punt tal-ipproċessar. Dan itejjeb simultanjament l-uniformità tal-ħxuna (TTV) f'wejfer wieħed u l-konsistenza tal-ħxuna bejn il-wejfers, u b'hekk jagħmilha teknoloġija ewlenija biex jinkiseb tħin ultra-rqiq stabbli.

Sommarju: Bħala konklużjoni, id-DISCO DFG8560 hija soluzzjoni ta' rqiq ta' wejfer ta' 12-il pulzier kompletament awtomatizzata ddisinjata għall-produzzjoni tal-massa. Il-karatteristiċi ewlenin tagħha jinkludu arkitettura preċiża b'żewġ spindle u stabbiltà superjuri tas-sistema, li jippermettu uniformità għolja u kwalità tal-wiċċ meta jiġu pproċessati wejfers kbar u ultra-rqaq, flimkien ma' kapaċitajiet qawwija ta' integrazzjoni tal-awtomazzjoni.