Moedor de obleas DISCO DGP8761

A DISCO DGP8761 é unha máquina de rectificado/pulido totalmente automatizada que representa o cumio da súa tecnoloxía, deseñada especificamente para procesos de adelgazamento de obleas de 12 polgadas (300 mm) de alta eficiencia. A súa característica principal é a súa capacidade para completar todo o proceso, desde a rectificación en bruto e a rectificación fina da parte traseira ata a eliminación de tensións, nunha única operación continua, procesando obleas de forma consistente ata grosores ultrafinos por debaixo de 25 μm.

Como actualización oficial do coñecido e máis vendido DGP8760, conta cun excelente rendemento de vendas entre os principais fabricantes de todo o mundo e é un equipo crucial para envases avanzados, dispositivos de enerxía e outros procesos que requiren a fabricación de obleas ultrafinas.

Núcleo de hardware: o enxeño e a evolución do deseño de tres eixes

O núcleo da evolución do rendemento do DGP8761 reside na súa arquitectura precisa de tres eixes (3 eixes) e catro mesas de mandril (4 mesas de mandril).

División do traballo en tres eixes:

Eixe Z1 (Rectificación aproximada): Encargado de eliminar rapidamente a maior parte do material da parte traseira da oblea.

Eixe Z2 (Molición fina): Realiza unha molición fina na superficie da oblea, conseguindo un control preciso do grosor.

Eixo Z3 (procesamento versátil): isto é fundamental para a súa flexibilidade. Os usuarios poden seleccionar o pulido en seco (alivio de tensión), a rectificación de ultraprecisión (Poligrind/UltraPoligrind) ou módulos CMP especiais para lograr a eliminación de tensión, a eliminación de getters e outras funcións, dependendo dos requisitos do proceso.

Eixo de novo desenvolvemento: o novo eixo admite a moenda a alta velocidade, o que acurta eficazmente o tempo de procesamento de obleas delgadas. Ao mesmo tempo, a disposición de transporte optimizada reduce o tempo de non procesamento, mellorando a eficiencia xeral.

Especificacións de maior rendemento do fuso:

Eixo Z1/Z2: Potencia do fuso aumentada a 6,3 kW, velocidade de 1.000 a 4.000 min⁻¹, percorrido do eixo Z de 120 mm.

Eixo Z3: Potencia do fuso 5,3 kW, percorrido do eixo Z 65 mm.

Precisión do eixe Z: velocidade de avance vertical de 0,0001 a 0,08 mm/s, percorrido mínimo de 0,1 μm que garante a precisión do mecanizado.

Visión xeral detallada das especificacións

Categoría de parámetros | Indicadores específicos

Tamaño da peza aplicable: Φ200 mm / Φ300 mm (8 polgadas / 12 polgadas)

Método de moenda: Eixe Z1/Z2: Moenda de alimentación (rotación de obleas)

Eixe Z3: Rectificado anómalo de alimentación (rotación especial da oblea)

Configuración do fuso: Tres fusos (3 eixes)

Configuración da mesa de traballo: catro mesas de mandril (4 mesas de mandril), usando un sistema de mesa rotatoria

Ferramentas de rectificado/pulido: Eixe Z1/Z2: rebarbadora de diamante Φ300 mm

Eixo Z3 (DP): almofada de pulido en seco de Φ450 mm

Eixo Z3 (CMP): almofada de pulido CMP de Φ450 mm

Dimensións do equipo: 1.690 mm (ancho) × 3.315 mm (profundidade) × 1.800 mm (alto)

Modelo montado en FOUP: × 3.452 mm (D)

Peso do equipo: Aprox. 6.700 kg (DP, configuración Poligrind)

Aprox. 6.900 kg (configuración CMP)

Requisitos de alimentación: Trifásico 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Aire comprimido: superior a 0,5 MPa, limpo e sen aceite, punto de orballo inferior a -15 ℃

Funcións principais e vantaxes do proceso:

A principal competitividade do DGP8761 reside na súa exitosa integración de múltiples procesos, conseguindo un efecto "1+1>2".

Solución integral: Mediante un brazo robótico interno, a oblea pode completar automaticamente todo o proceso de moenda grosa → moenda fina → pulido en seco → limpeza e secado, evitando o risco de fragmentación causado pola manipulación múltiple e acurtando significativamente o ciclo de produción. O DGP8761 pode lograr unha variación de espesor total (TTV) de menos de 3 μm, mantendo ao mesmo tempo unha alta resistencia á flexión.

Pulido en seco e captación de material pegañento (Getting): esta é unha das características máis aclamadas do DGP8761. Utiliza o pulido en seco no eixe Z3 para eliminar a capa de tensión de moenda, o que non só é máis respectuoso co medio ambiente que os procesos húmidos tradicionais (non se usan produtos químicos nin auga), senón que tamén crea unha capa de microdanos controlable dentro da oblea, actuando como unha "zona getter" para capturar as impurezas metálicas, mellorando o rendemento e a fiabilidade do chip. A exclusiva tecnoloxía microabrasiva UltraPoligrind de DISCO mantén o efecto getter ao mesmo tempo que consegue unha alta resistencia do chip antes inalcanzable.

Configuración flexible e ecosistema de aplicacións

O DGP8761 non é un dispositivo illado; pode integrarse perfectamente en varios sistemas de automatización.

Expansión da conectividade: Pódese conectar ao dispositivo de fixación de obleas multifuncional DFM2800 para a fixación directa de película DAF (Die Attach Film) despois do adelgazamento. Tamén se pode usar para construír sistemas de proceso avanzados como DBG (Dicing Before Grinding) para mellorar o rendemento de obleas delgadas.

Mantemento e pezas de reposto: Compatible con DISCO A serie 8000 mantén unha alta compatibilidade, con compoñentes clave como as rebarbas e as placas de rectificado intercambiables, o que facilita o mantemento e reduce os custos das pezas de reposto.

Software e funcionamento: Ao utilizar unha interface gráfica de usuario baseada na tecnoloxía madura da serie 8000, a lóxica operativa unificada acurta o tempo de formación do operador.

Posición no mercado e aplicacións: O DGP8761 úsase amplamente en envases avanzados (HPC/IA/CI 3D), semicondutores de potencia e dispositivos MEMS. DISCO tamén ofrece servizos de fundición de corte en cubos e moenda utilizando este equipo nos seus centros tecnolóxicos globais (como en China e Singapur).

Consideracións de mantemento: Para garantir a precisión, é esencial o cumprimento estrito dos requisitos ambientais (temperatura e humidade dentro de ±1 °C, aire comprimido limpo) e de consumibles de DISCO. Ademais, a lóxica de movemento do eixe Z3 (incluíndo 5 secuencias de mecanizado e parámetros de posición) inflúe directamente no rendemento do mecanizado; uns axustes incorrectos dos parámetros poden provocar problemas no proceso.

Resumo: DISCO A DGP8761 é unha máquina de rectificado/pulido de alta gama que combina á perfección alta precisión, alta eficiencia e flexibilidade de procesos. Non só abre o camiño para a fabricación de chips ultrafinos de vangarda, senón que, grazas á súa potente escalabilidade do sistema, convértese nun compoñente fundamental na construción de fábricas intelixentes de semicondutores avanzados. Para os principais fabricantes que buscan o máximo rendemento e estabilidade de procesos, representa un investimento estratéxico significativo.