SEMES ဝေဖာသန့်စင်ဆေး BLUEICE PRIME

SEMES ရဲ့ BLUEICE PRIME သည် အဆင့်မြင့်လုပ်ငန်းစဉ်နည်းပညာ (LPT) ယုတ္တိဗေဒနှင့် မှတ်ဉာဏ်ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော 300mm အပြည့်အဝအလိုအလျောက် single-wafer သန့်ရှင်းရေးစနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ Samsung Electronics အောက်ရှိ အဓိကပစ္စည်းပေးသွင်းသူ SEMES မှ တီထွင်ထုတ်လုပ်ထားသော ၎င်းသည် 2nm ကဲ့သို့သော ခေတ်မီလုပ်ငန်းစဉ်များ၏ အစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် အဓိကပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။

အဓိကစွမ်းဆောင်ရည်- အဆင့်မြင့်လုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် စွမ်းရည်ကို ဟန်ချက်ညီစေခြင်း

သာလွန်ကောင်းမွန်သော လုပ်ငန်းစဉ်စွမ်းဆောင်ရည်- 19nm အဆင့်တွင် အမှုန်အမွှားများကို ဖယ်ရှားပေးနိုင်ပြီး etching uniformity ကို 40% ကျော် သိသိသာသာ တိုးတက်ကောင်းမွန်စေပါသည်။

မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ဒီဇိုင်း- ၃၀၀ မီလီမီတာ single-wafer သန့်ရှင်းရေးစနစ်တစ်ခုအနေဖြင့် ၎င်းသည် တစ်နာရီလျှင် wafer ၅၀၀ ကျော် (WPH) ကို ကိုင်တွယ်ပြီး အကြီးစားအစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှု၏ လိုအပ်ချက်များကို ထိထိရောက်ရောက် ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာ အင်္ဂါရပ်များ- သီးခြားစီ တီထွင်ထားသော ဆန်းသစ်သော ဒီဇိုင်းများစွာ

ဆန်းသစ်သော အပူချိန်မြင့်ဖော့စဖောရစ်အက်ဆစ် လုပ်ငန်းစဉ်- ၎င်း၏ အဓိကလုပ်ငန်းစဉ်သည် ဝေဖာထစ်ခြင်းနှင့် ခွာချခြင်းအတွက် အပူချိန်မြင့်ဖော့စဖောရစ်အက်ဆစ်ကို အသုံးပြုသည်။ ဖြန်းခြင်းနှင့် အပူချိန်ကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ခြင်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်ပျံ့နှံ့မှုနှင့် ချို့ယွင်းချက်နှုန်းကို ထိရောက်စွာလျှော့ချပေးပြီး 2nm ချစ်ပ်အထွက်နှုန်းကို သိသိသာသာတိုးတက်စေသည်။

**လွတ်လပ်စွာ တီထွင်ထားသော အပူချိန်မြင့် Chuck:** ဤနည်းပညာသည် wafer အပူပေးစဉ် အပူချိန်တပြေးညီဖြစ်မှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပြီး၊ လုပ်ငန်းစဉ်ချို့ယွင်းချက်များကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးကာ ရိုးရာစိုစွတ်သော သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများ၏ ကန့်သတ်ချက်များကို ကျော်လွှားပါသည်။

**ဘက်စုံညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်ခြင်း-** NIC (Non-Interaction Clean) အခန်းသည် ညစ်ညမ်းမှုဖြတ်ကျော်မှုကို ထိရောက်စွာ ကာကွယ်ပေးပြီး ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ သန့်ရှင်းရေးအတွက် SF-Aerosol (မြန်နှုန်းမြင့်/တစ်ပြေးညီစက်စက်) နည်းပညာနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသည်။

**အဆင့်မြင့်ပေါင်းစပ်ထားသော ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်သည့်စနစ်-** APAC၊ AIS (အလိုအလျောက် ထောက်လှမ်းစနစ်) နှင့် SEAS (စမတ်ပစ္စည်း ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုစနစ်) တို့ တပ်ဆင်ထားသောကြောင့် ၎င်းသည် တိကျသော စီးဆင်းမှုထိန်းချုပ်မှုနှင့် ပစ္စည်းကိရိယာအခြေအနေကို ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်စွာ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုကို ရရှိစေသည်။

**အသုံးချနယ်ပယ်များ-** Samsung တွင် အခြေစိုက်ပြီး ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ထိပ်တန်းဖောက်သည်များကို ဝန်ဆောင်မှုပေးပါသည်။

BLUEICE PRIME သည် အဓိကအားဖြင့် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ထိပ်တန်း logic chip foundry များနှင့် memory ထုတ်လုပ်သူများကို ပစ်မှတ်ထားသည်။ ၎င်း၏ မိခင်ကုမ္ပဏီ SEMES ၏ Samsung Group လက်အောက်ခံကုမ္ပဏီအဖြစ် ရပ်တည်မှုကို အသုံးချကာ ဤပစ္စည်းကိရိယာများကို Samsung ၏ အဆင့်မြင့်ဆုံး wafer fab ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများနှင့် နက်နက်ရှိုင်းရှိုင်း ပေါင်းစပ်ထားသည်။ ၎င်း၏ wet cleaning solution သည် lithography (OMEGA series) နှင့် etching (MICHELAN series) ကဲ့သို့သော အခြား core front-end ပစ္စည်းကိရိယာများဖြင့် ပြီးပြည့်စုံသော ဂေဟစနစ်တစ်ခုကို ဖန်တီးပေးသည်။ SEMES သည် ၎င်း၏ လုပ်ငန်းနယ်ပယ်တစ်ခုလုံးကို HBM (High Bandwidth Memory) ထုတ်လုပ်မှုနယ်ပယ်အထိ တိုးချဲ့ခဲ့ပြီး HBM chip stacking အတွက် thermal bonding machine (TC Bonder) ကို အောင်မြင်စွာ တီထွင်ထုတ်လုပ်နိုင်ခဲ့သည်ကို သတိပြုသင့်သည်။

အကျဉ်းချုပ်အားဖြင့် BLUEICE PRIME သည် SEMES ၏ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာနယ်ပယ်တွင် နက်ရှိုင်းသော နည်းပညာအစွမ်းသတ္တိကို ပြသနေပါသည်။ ၎င်းသည် အဆင့်မြင့်လုပ်ငန်းစဉ်နည်းပညာများတွင် ကမ္ဘာ့ဦးဆောင်သူအဖြစ် ၎င်း၏ရပ်တည်ချက်ကို ခိုင်မာစေရန်နှင့် 2nm အောက် ခေတ်မီထုတ်လုပ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အဓိကကိရိယာတစ်ခုအဖြစ် Samsung Group ၏ ကြိုးပမ်းအားထုတ်မှုများ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။