ThinkLaser SigmaClean vahvliga lasermärgistusmasin

ThinkLaser SigmaClean on täisautomaatne "pehme märgistamise" lasermärgistussüsteem, mis on spetsiaalselt loodud 100–200 mm vahvlitele ja vastab täielikult 1. klassi puhasruumi standarditele. Selle põhimissioon on kasutada patenteeritud lasertehnoloogiat, et pakkuda pooljuhtvahvlitele tõhusaid, vastupidavaid ja hästi loetavaid märgistusi – ilma osakeste saastumist tekitamata – võimaldades seeläbi automatiseeritud jälgitavust kogu vahvli elutsükli vältel.

**Tehnilised põhimõtted**

SigmaCleani peamised tugevused peituvad allikapõhises puhastustehnoloogias ja stabiilses, täppis-projekteeritud riistvaradisainis.

**Patenteeritud SuperSoftMark® tehnoloogia:** See on peamine eristav omadus, mis eristab SigmaCleani teistest seadmetest. Laserenergia täpse juhtimise abil saavutatakse tõeliselt prahivaba märgistus. See funktsioon välistab põhimõtteliselt osakeste saastumise ohu, võimaldades süsteemi ohutult kasutada tootmisliini algfaasis (FEOL), kus puhtusnõuded on äärmiselt ranged.

**Väga stabiilne dioodpumbaga tahkislaser:** Süsteem kasutab patenteeritud dioodpumbaga tahkislaserit, mida iseloomustab erakordne impulssidevaheline stabiilsus. See tagab iga märgistatud punkti sügavuse ja ümaruse kõrge järjepidevuse, garanteerides seeläbi märgistuskvaliteedi stabiilsuse ja korduvuse.

**Tugevad optika- ja automatiseerimissüsteemid:** Kogu masin on täisautomatiseeritud, toetab SECS II/GEM tehase automatiseerimise kommunikatsiooniprotokolle ja integreerub sujuvalt tavapäraste automatiseeritud kiipide käitlemise süsteemidega, näiteks SMIF (Standard Mechanical Interface) kiipide podidega.

**Põhilised eelised ja omadused**

SigmaCleani eelised ulatuvad lisaks täiustatud märgistusvõimalustele ka käegakatsutava väärtuseni, mida see pakub kiipide tootmistehastele.

**Võrratu puhtus:** Vastab 1. klassi (rahvusvaheline standard ISO klass 3) puhasruumi ühilduvusnõuetele, mistõttu on see eelistatud valik esiotsa kiipide tootmistehastes (Fab-ides), kus kehtivad äärmiselt ranged puhta keskkonna standardid.

**Suur läbilaskevõime ja kulutõhusus:** See süsteem kasutab pehme märgistamise protsessi – mis on spetsiaalselt välja töötatud poleeritud vahvlite märgistamiseks puhasruumis ja mis on nüüdseks tööstusstandard –, et pakkuda väga kulutõhusat lahendust.

**Ühtlane märgistuskvaliteet ja jälgitavus:** Laseri erakordne impulsi stabiilsus on ühtlase punktisügavuse ja ümaruse saavutamise võti, mis on kriitilise tähtsusega tegur järgnevate masinnägemissüsteemide (optilise märgituvastus, OCR) tuvastusmäärade suurendamisel. Samal ajal loob süsteem püsivad ja loetavad märgid, mis tagavad jälgitavuse igas tootmisetapis.

Lai rakendusvõimaluste valik: mitu märgistusgruppi saab kiibi pinnale paigutada mis tahes orientatsioonis, kusjuures märgistuskohad piirduvad rõngakujulise tsooniga 25 mm raadiuses kiibi servast.

Spetsifikatsioonid ja kasutamine/hooldus

Spetsifikatsiooni kategooria | Üksikasjalikud parameetrid ja kirjeldus

Seadmete klassifikatsioon | Täisautomaatne, ISO 3 / klass 1 puhasruumiga ühilduv, 100–200 mm vahvliga pehme märgistussüsteem

Kiibi suurus | Standardtugi 100 mm – 200 mm (4–8 tolli) jaoks

Laseri tüüp | Sigma100 IR-dioodiga pumbatav tahkislaser

Märgistustehnoloogia | Patenteeritud SuperSoftMark® (prügivaba pehme märgistus)

Märgistuse asukoht | Mis tahes suund 25 mm rõngakujulises tsoonis vahvli serval

Sideliides | SECS II/GEM, SEMI-standardile vastav hostliides

Transport/kassett | 3 avatud kassetialust; valikuline 200 mm SMIF Pod-adapter

Lisafunktsioonid | OCR/triipkoodi lugemine ja uuesti märgistamine

Tarkvarasüsteem | Windows®-põhine kasutajaliides

Vastavus ja sertifitseerimine | Vastab SEMI S2/S8, CE ja muudele standarditele

Toite- ja suruõhuvarustus | Standardne tööstuslik ühefaasiline 220 V toiteallikas ja puhas suruõhk

SigmaClean on loodud ka hoolduse lihtsust silmas pidades:

**Hoolduslihtsus:** Süsteemi disain hõlbustab lihtsat igapäevast hooldust; rutiinsed kontrollid – näiteks läätse puhastamine – saab teha umbes 5 minutiga. Lisaks on seadmel automaatne igapäevane enesediagnostika ja see pakub rikke korral selgeid hooldusprotokolli juhiseid, hõlbustades seeläbi kasutaja algatatud plaanilist hooldust.

**Ohutus ja puhtus:** Masina üldine konstruktsioon vastab rahvusvahelistele ohutusstandarditele (nt SEMI S2/S8, CE jne) ja on varustatud integreeritud tolmueemaldussüsteemiga, mis tagab veelgi tootmiskeskkonna ohutuse ja hügieeni.

**Peamised funktsioonid ja rakendusstsenaariumid**

**Eesmise otsa vahvlite tootmine:** Sobib sellistest materjalidest nagu räni, SiC ja GaAs valmistatud vahvlite jaoks, mille suurus on vahemikus 100 mm kuni 200 mm. Süsteem võimaldab tootmise algstaadiumis unikaalse identifikaatori graveerimist, mis tagab otsast lõpuni kvaliteedi jälgitavuse ja statistilise protsessikontrolli (SPC).

**Täiustatud pakendamine:** Pakub olulisi jälgitavus-ID-sid vahvlitaseme pakendamise (WLP) või taastatud vahvli protsesside raames.

**Teadus- ja arendustegevus ning väikepartiide tootmine:** Selle paindlik ja automatiseeritud disain sobib ideaalselt teadus- ja arendustegevuse ning piloottootmise keskkondadesse, mida iseloomustab suure segu ja väikesemahuline tootmine.

**Kokkuvõte ja võrdlus**

Kokkuvõttes on ThinkLaser SigmaClean seade, mis saavutab puhtuse, stabiilsuse ja automatiseerimise osas tööstusharu juhtivad standardid. Kasutades oma patenteeritud SuperSoftMark® tehnoloogiat, lahendab see tõhusalt traditsiooniliste märgistusmeetoditega sageli seotud põhiprobleemi – osakeste saastumise –, kehtestades seeläbi endale 4–8-tolliste vahvlite „pehme märgistamise“ valdkonna etaloni staatuse. Selle tootesarjas paiknemise intuitiivsemaks mõistmiseks vaadake järgmist võrdlust SC300-ga – teise pehme märgistusseadmega:

**Omadus** | **SigmaClean** | **SC300**

**Peamine positsioneerimine** | Täisautomaatne pehme märgistussüsteem 100–200 mm (4–8-tollistele) vahvlitele | Täisautomaatne pehme märgistussüsteem 300 mm (12-tollistele) vahvlitele

**Tururakendus** | Suunatud pooljuhtplaatide tehastele ja pakendamistehastele, mis käitlevad 8-tolliseid ja väiksemaid plaate; on selles turusegmendis juhtiv lahendus | Laialdaselt kasutusele võetud kõigi 300 mm integreeritud seadmete tootjate (IDM-ide) ja plaatide valukodade poolt

**Tehnilised omadused** | Ühildub 1. klassi puhasruumiga; kasutab patenteeritud SuperSoftMark® tehnoloogiat prahivaba märgistuse saavutamiseks | Kasutab ka pehme märgistuse tehnoloogiat, mis tagab 300 mm masstootmiseks vajaliku ühilduvuse, puhtuse, märgistuse kvaliteedi ja töökindluse

**Transpordisüsteem** | Tavaliselt konfigureeritud 3 avatud kassetijaamaga; SMIF-kapslid on saadaval lisavarustusena | Tavaliselt ühildub eest avatavate ühendatud kapslitega (FOUP); toetab OHT (ülevalt tõstetava transpordi) süsteeme

**Tööstusharu staatus** | Tööstusharu juhtiv lahendus 4–8-tolliste vahvlite pehmeks märgistamiseks | Tööstusstandard pehmeks märgistamiseks 300 mm vahvlite tehastes, millel on tohutu paigaldusbaas (üle 140 seadme)