Nitto DR3000III pooljuhtplaatide paigaldaja

See on Nitto Denko NEL SYSTEM™ DR3000III üksikasjalik tutvustus. See on täisautomaatne pooljuhtide kaitsva teibi pealekandmise masin, millel on pooljuhtide tootmises võtmeroll.

Põhikonfiguratsioon ja tehnilised andmed

DR3000III peamised tehnilised andmed on järgmised:

Toote spetsifikatsioonid/parameetrid

Seadme tüüp: Täisautomaatne kaitselindi aplikaator 300 mm vahvlitele

Kohaldatav vahvli suurus: 300 mm (12 tolli) / 200 mm (8 tolli)

Kohaldatav vahvli paksus: 400 μm või paksem

Läbilaskevõime: 68 kiipi tunnis

Teibi pealekandmise tehnoloogia: integreeritud pingevaba pealekandmise juhtimismehhanism

Ühilduvad standardid: Vastab CE-märgisele ja SEMI S2/S8 spetsifikatsioonidele

Pange tähele: ülaltoodud tehnilised andmed võivad muutuda olenevalt kiibilt, lindilt ja muudest tingimustest ning võivad sisaldada ka valikulisi funktsioone.

Peamised omadused ja eelised

DR3000III võimsad omadused eristavad seda täppistöötlemise valdkonnas:

Pingevaba pealekandmistehnoloogia: see on üks selle peamisi tehnoloogilisi eeliseid. Lindi pinge minimeerimine enne lamineerimist kontrollib tõhusalt kiibi kõverdumist pärast tagakülje lihvimist, mis on ülioluline suurte ja üliõhukeste kiipide käsitsemisel.

Madala pingega lamineerimise kontroll: Seadmel on madala pingega liimimine ja liimipinge kontroll, mis vähendab oluliselt kiibi mustri kahjustamise ohtu lamineerimise ajal.

Kiipide ühilduvus: Kuigi see on loodud 300 mm kiipide jaoks, on see tagasiühilduv 200 mm kiipide jaoks ja toetab spetsiaalseid protsesse valikuliste funktsioonidega, nagu kuumutatud padrunlaud (max 100 °C) ja kuumutatud rullid (max 60 °C). Lisaks saab see tõhusalt hakkama ka konarlike kiipide ja teatud määral deformeerunud kiipide puhul.

Kõrge automatiseerituse ja intelligentsuse tase: Seadmed on varustatud järgmisega:

Automatiseeritud materjalikäitlus: Toetab eest avanevaid vahvlikassette (FOUP) / avatud kassette ning sisseehitatud robotkätt täisautomaatseks laadimiseks ja mahalaadimiseks.

Täpne joondamine: Kasutab kontaktivaba CCD-joondussüsteemi, et tagada lamineerimise täpsus.

Nutikas jälgimine: Varustatud logifaili funktsiooniga andmete jälgitavuse tagamiseks; lindi longus tuvastamine hoiab ära talitlushäired. Valikuline kiibikaardistusskanner võimaldab sissetuleva materjali automaatset kontrolli.

Vastab kõrgetele tööstusstandarditele: Seade vastab SEMI S2/S8 ohutus- ja keskkonnastandarditele ning on saadaval valikuliste SECS/GEM sideprotokollidega sujuvaks integreerimiseks kaasaegsetesse pooljuhtide tehase automatiseerimissüsteemidesse.

Kasutajasõbralik kasutamine: Suur puuteekraan koos retseptifunktsiooniga muudab kasutamise lihtsaks ja intuitiivseks. Kasutajad peavad vaid vastava toote retsepti avama, et kõik parameetrite sätted automaatselt lõpule viia.

Tööpõhimõte: Enne tagumise lihvimise alustamist kleepib DR3000III kaitselindi täpselt vahvli mustrilisele küljele pingevaba meetodi abil, et vältida vahvli esikülje mehaanilisi kahjustusi või keemilist saastumist järgneva kiire lihvimise ajal.

Kasutusalad: DR3000III kasutatakse peamiselt järgmistes võtmevaldkondades:

Pooljuhtide tootmine: loogikakiibid ja mälukiibid (DRAM, NAND Flash jne): kiibi esiküljel oleva õrna vooluringistruktuuri kaitsmine täiustatud protsessides. Täiustatud pakendamine: pakub kiibi kaitset üha suuremate 300 mm kiibitaseme pakkimisprotsesside ajal (Fan-In WLP, Fan-Out WLP jne).

MEMS ja andurid: kaitseb mikromehaanilisi struktuure ja andurite alasid tagakülje hõrenemisprotsesside ajal.

Toitepooljuhtseadised: töötleb IGBT-de ja MOSFET-ide sarnaste toiteseadmete plaate, vähendades sisselülitustakistust ja parandades soojuse hajumist hõrenemise teel.

Koostöö teiste seadmetega: Pooljuhtide pakkimisliinidel töötab DR3000III tavaliselt koos järgmiste seadmetega:

Koostöö kile pealekandmise seadmetega: Töötab koos Nitto NEL-MA3000-III lindi eemaldamise seadmetega enne ja pärast õhendamisprotsessi. DR3000III kannab esmalt peale kaitselindi, et kaitsta kiipi õhendamisprotsessi ajal kahjustuste eest; pärast õhendamist eemaldab NEL-MA3000-III kaitselindi täpselt, tagades üliõhukese kiibi terviklikkuse ja ohutuse kogu protsessi vältel.

Koostöö poleerimisseadmetega: Kaitsemeetmena tehakse tihedat koostööd poleerimismasinatega. Pärast seda, kui DR3000III katab vahvlid kaitsekiledega, suunatakse need lihvimismasinasse tagakülje õhendamiseks, tagades usaldusväärselt lihvimisprotsessi ohutuse ja stabiilsuse.

Üldiselt on Nitto DR3000III spetsialiseeritud, automatiseeritud ja suure jõudlusega kiipide kaitsesüsteem. Tänu pingevabale kile lamineerimistehnoloogiale lahendab see tõhusalt suurte kiipide puhul tagakülje õhendamise käigus esinevad levinud deformatsiooni- ja mõranemisprobleemid. Sellel on pooljuhtide tööstuses keskne roll, olles kriitilise tähtsusega seade, mis tagab täiustatud kiipide tootmise saagikuse ja töökindluse. Pakkumiste või tehniliste küsimuste korral võtke otse ühendust Nitto ametlike esindajate või volitatud edasimüüjatega Hiinas.