מתקן הרכבה של פרוסות מוליכים למחצה Nitto DR3000III

זוהי מבוא מפורט ל-NEL SYSTEM™ DR3000III של Nitto Denko. זוהי מכונת יישום אוטומטית לחלוטין של סרטי הגנה על פרוסות סיליקון, הממלאת תפקיד מפתח בייצור מוליכים למחצה.

תצורת ליבה ומפרטים טכניים

המפרט הטכני העיקרי של ה-DR3000III הוא כדלקמן:

מפרט/פרמטרים של הפריט

סוג ציוד: יישום אוטומטי לחלוטין של סרט מגן עבור פרוסות 300 מ"מ

גודל פרוסה רלוונטי: 300 מ"מ (12 אינץ') / 200 מ"מ (8 אינץ')

עובי פרוסה רלוונטי: 400 מיקרומטר או עבה יותר

תפוקה: 68 פרוסות ופלים לשעה

טכנולוגיית יישום סרט: מנגנון בקרת יישום משולב ללא מתח

תקנים תואמים: עומד בסימון CE ובמפרטי SEMI S2/S8

שימו לב: המפרטים לעיל עשויים להשתנות בהתאם לפלריים, לסרט ולתנאים אחרים, ועשויים לכלול גם תכונות אופציונליות.

תכונות ויתרונות עיקריים

התכונות העוצמתיות של ה-DR3000III מבדילות אותו בתחום הייצור המדויק:

טכנולוגיית יישום ללא מתח: זהו אחד היתרונות הטכנולוגיים המרכזיים שלה. מזעור מתח הסרט לפני הלמינציה שולט ביעילות בעיוות הוופל לאחר טחינה בצד האחורי, דבר חיוני לטיפול בופלים גדולים ודקים במיוחד.

בקרת למינציה במתח נמוך: הציוד כולל בקרת דבקות ולחץ דבק במתח נמוך, מה שמפחית משמעותית את הסיכון לנזק לתבנית פרוסת הוופל במהלך הלמינציה.

תאימות ופלים: למרות שתוכנן עבור ופלים בגודל 300 מ"מ, הוא תואם לאחור עם ופלים בגודל 200 מ"מ ותומך בתהליכים מיוחדים עם תכונות אופציונליות כגון שולחן צ'אק מחומם (מקסימום 100°C) וגלילים מחוממים (מקסימום 60°C). יתר על כן, הוא מטפל ביעילות בופלים חבוטים ובופלים עם מידה מסוימת של עיוות.

אוטומציה ואינטליגנציה גבוהות: הציוד מצויד ב:

טיפול אוטומטי בחומרים: תומך בקסטות פרוסות עם פתיחה קדמית (FOUP) / קסטות פתוחות, עם זרוע רובוטית מובנית לטעינה ופריקה אוטומטיות לחלוטין.

יישור מדויק: משתמש במערכת יישור CCD ללא מגע כדי להבטיח דיוק למינציה.

ניטור חכם: מצויד בפונקציית קובץ יומן למעקב אחר נתונים; זיהוי שקיעה של הסרט מונע תקלות. סורק מיפוי פרוסות אופציונלי מאפשר בדיקה אוטומטית של חומרים נכנסים.

תאימות לתקני תעשייה מחמירים: הציוד עומד בתקני הבטיחות והסביבה של SEMI S2/S8 וזמין עם פרוטוקולי תקשורת SECS/GEM אופציונליים לשילוב חלק במערכות אוטומציה מודרניות של מפעלי מוליכים למחצה.

הפעלה ידידותית למשתמש: מסך מגע גדול בשילוב עם פונקציית מתכון הופך את ההפעלה לפשוטה ואינטואיטיבית. המשתמשים צריכים רק לקרוא את המתכון עבור המוצר המתאים כדי להשלים אוטומטית את כל הגדרות הפרמטרים.

עקרון עבודה: לפני תהליך השחזה האחורית, ה-DR3000III מדביק במדויק סרט מגן לצד המעוצב של הוופל באמצעות שיטה ללא מתח כדי למנוע נזק מכני או זיהום כימי לצד הקדמי של הוופל במהלך השחזה במהירות גבוהה לאחר מכן.

תחומי יישום: ה-DR3000III משמש בעיקר בתחומים המרכזיים הבאים:

ייצור מוליכים למחצה: שבבי לוגיקה ושבבי זיכרון (DRAM, NAND Flash וכו'): הגנה על מבנה המעגל העדין בצד הקדמי של הוופל בתהליכים מתקדמים. אריזה מתקדמת: מספקת הגנה על וופלים במהלך תהליכי אריזה ברמת וופל של 300 מ"מ, ההולכים וגדלים (Fan-In WLP, Fan-Out WLP וכו').

MEMS וחיישנים: מגן על מבנים מיקרו-מכניים ואזורי חיישנים במהלך תהליכי דילול בצד האחורי.

התקני מוליכים למחצה להספק: מעבד ופלים עבור התקני הספק כגון IGBTs ו-MOSFETs, תוך הפחתת התנגדות במצב פעיל ושיפור פיזור חום באמצעות דילול.

שיתוף פעולה עם ציוד אחר: בקווי אריזה של מוליכים למחצה, ה-DR3000III פועל בדרך כלל בשילוב עם הציוד הבא:

שיתוף פעולה עם ציוד ליישום סרטים: פועל בשילוב עם ציוד הסרת הסרט Nitto NEL-MA3000-III לפני ואחרי תהליך הדילול. ה-DR3000III מרחיב תחילה סרט מגן כדי להגן על הוופל מפני נזק במהלך הדילול; לאחר הדילול, ה-NEL-MA3000-III מסיר במדויק את סרט המגן, ומבטיח את שלמותו ובטיחותו של הוופל הדק במיוחד לאורך כל התהליך.

שיתוף פעולה עם ציוד ליטוש: עובד בשיתוף פעולה הדוק עם מכונות ליטוש כשלב מגן. לאחר שהפרוסות מצופות בסרטי מגן על ידי ה-DR3000III, הן מוזנות למכונת השחזה לדילול צד אחורי, מה שמבטיח באופן אמין את הבטיחות והיציבות של תהליך ההשחזה.

בסך הכל, ה-Nitto DR3000III היא מערכת הגנה אוטומטית, בעלת ביצועים גבוהים, המתמחה ביותר עבור פרוסות ופלים. באמצעות טכנולוגיית למינציה ללא מתח, היא פותרת ביעילות את הבעיות הנפוצות של עיוות וסדיקה בהן נתקלים פרוסות ופלים גדולים במהלך תהליך דילול הצד האחורי. היא ממלאת תפקיד מרכזי בתעשיית המוליכים למחצה, ומשמשת כציוד קריטי להבטחת התפוקה והאמינות של ייצור שבבים מתקדם. לקבלת הצעות מחיר או שאלות טכניות, אנא צרו קשר ישירות עם נציגי Nitto הרשמיים או המפיצים המורשים בסין.