Nitto DR3000III uređaj za montažu poluvodičkih pločica

Ovo je detaljan uvod u NEL SYSTEM™ DR3000III tvrtke Nitto Denko. To je potpuno automatizirani stroj za nanošenje zaštitnih traka na pločice koji igra ključnu ulogu u proizvodnji poluvodiča.

Osnovna konfiguracija i tehničke specifikacije

Glavne tehničke specifikacije DR3000III su sljedeće:

Specifikacije/parametri stavke

Vrsta opreme: Potpuno automatizirani aplikator zaštitne trake za pločice od 300 mm

Primjenjiva veličina pločice: 300 mm (12 inča) / ​​200 mm (8 inča)

Primjenjiva debljina pločice: 400μm ili deblja

Propusnost: 68 pločica/sat

Tehnologija nanošenja trake: Integrirani mehanizam za kontrolu nanošenja bez napetosti

Kompatibilni standardi: Ispunjava CE oznaku i specifikacije SEMI S2/S8

Napomena: Gore navedene specifikacije podložne su promjenama na temelju uvjeta pločice, trake i drugih uvjeta, a mogu uključivati ​​i dodatne značajke.

Ključne značajke i prednosti

Snažne značajke DR3000III izdvajaju ga u području precizne proizvodnje:

Tehnologija nanošenja bez napetosti: Ovo je jedna od njegovih ključnih tehnoloških prednosti. Minimiziranje napetosti trake prije laminiranja učinkovito kontrolira savijanje pločice nakon brušenja stražnje strane, što je ključno za rukovanje velikim, ultra tankim pločicama.

Kontrola laminacije s niskim naponom: Oprema ima lijepljenje s niskim naponom i kontrolu ljepljivog napona, što značajno smanjuje rizik od oštećenja uzorka pločice tijekom laminacije.

Kompatibilnost s pločicama: Iako je dizajniran za pločice od 300 mm, unatrag je kompatibilan s pločicama od 200 mm i podržava posebne procese s dodatnim značajkama kao što su grijani stol za stezanje (maks. 100 °C) i grijani valjci (maks. 60 °C). Nadalje, učinkovito obrađuje neravne pločice i pločice s određenim stupnjem savijanja.

Visoka automatizacija i inteligencija: Oprema je opremljena sa:

Automatizirano rukovanje materijalom: Podržava kasete s pločicama koje se otvaraju sprijeda (FOUP) / otvorene kasete, s ugrađenom robotskom rukom za potpuno automatizirano utovar i istovar.

Precizno poravnanje: Koristi beskontaktni CCD sustav poravnanja kako bi se osigurala točnost laminacije.

Inteligentno praćenje: Opremljeno funkcijom zapisnika za praćenje podataka; detekcija savijanja trake sprječava kvarove. Opcionalni skener mapiranja pločica omogućuje automatsku inspekciju ulaznog materijala.

U skladu s visokim industrijskim standardima: Oprema je u skladu sa sigurnosnim i ekološkim standardima SEMI S2/S8 te je dostupna s opcionalnim komunikacijskim protokolima SECS/GEM za besprijekornu integraciju u moderne sustave automatizacije tvornica poluvodiča.

Jednostavno rukovanje: Veliki zaslon osjetljiv na dodir u kombinaciji s funkcijom recepta čini rukovanje jednostavnim i intuitivnim. Korisnici samo trebaju pozvati recept za odgovarajući proizvod kako bi automatski dovršili sve postavke parametara.

Princip rada: Prije procesa brušenja, DR3000III precizno lijepi zaštitnu traku na uzorkovanu stranu pločice metodom bez naprezanja kako bi se spriječila mehanička oštećenja ili kemijska kontaminacija prednje strane pločice tijekom naknadnog brušenja velikom brzinom.

Područja primjene: DR3000III se prvenstveno koristi u sljedećim ključnim područjima:

Proizvodnja poluvodiča: Logički čipovi i memorijski čipovi (DRAM, NAND Flash, itd.): Zaštita osjetljive strukture kruga na prednjoj strani pločice u naprednim procesima. Napredno pakiranje: Pruža zaštitu pločice tijekom sve većih procesa pakiranja na razini pločice od 300 mm (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, itd.).

MEMS i senzori: Štiti mikromehaničke strukture i područja senzora tijekom procesa stanjivanja stražnje strane.

Poluvodički uređaji za napajanje: Obrađuje pločice za uređaje za napajanje kao što su IGBT-i i MOSFET-i, smanjujući otpor uključenja i poboljšavajući odvođenje topline stanjivanjem.

Suradnja s drugom opremom: Na linijama za pakiranje poluvodiča, DR3000III obično radi zajedno sa sljedećom opremom:

Suradnja s opremom za nanošenje filma: Radi zajedno s Nitto NEL-MA3000-III opremom za uklanjanje trake prije i nakon procesa stanjivanja. DR3000III prvo nanosi zaštitnu traku kako bi zaštitio pločicu od oštećenja tijekom stanjivanja; nakon stanjivanja, NEL-MA3000-III precizno uklanja zaštitnu traku, osiguravajući integritet i sigurnost ultra tanke pločice tijekom cijelog procesa.

Suradnja s opremom za poliranje: Usko surađuje sa strojevima za poliranje kao zaštitni korak. Nakon što DR3000III premaze pločice zaštitnim filmovima, one se zatim ubacuju u stroj za brušenje radi stanjivanja stražnje strane, pouzdano osiguravajući sigurnost i stabilnost procesa brušenja.

Sveukupno, Nitto DR3000III je visoko specijalizirani, automatizirani i visokoučinkoviti sustav za zaštitu pločica. Zahvaljujući tehnologiji laminiranja filma bez napetosti, učinkovito rješava uobičajene probleme savijanja i kidanja koji se javljaju kod pločica velikih dimenzija tijekom procesa stanjivanja stražnje strane. Igra ključnu ulogu u industriji poluvodiča, služeći kao ključni dio opreme za osiguranje prinosa i pouzdanosti napredne proizvodnje čipova. Za ponude ili tehničke upite obratite se izravno službenim predstavnicima ili ovlaštenim distributerima tvrtke Nitto u Kini.