Pembersih wafer SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME dari SEMES adalah sistem pembersihan wafer tunggal otomatis sepenuhnya berukuran 300mm yang dirancang untuk manufaktur chip logika dan memori teknologi proses canggih (LPT). Dikembangkan dan diproduksi oleh SEMES, pemasok peralatan inti di bawah Samsung Electronics, ini adalah peralatan kunci untuk meningkatkan hasil produksi massal dari proses mutakhir seperti 2nm.

Kinerja Inti: Menyeimbangkan Proses dan Kapasitas Tingkat Lanjut

Performa Proses Unggul: Mampu menghilangkan partikel pada tingkat 19nm, secara signifikan meningkatkan keseragaman etsa hingga lebih dari 40%.

Desain Kapasitas Efisiensi Tinggi: Sebagai sistem pembersihan wafer tunggal 300mm, sistem ini mampu menangani lebih dari 500 wafer per jam (WPH), secara efektif memenuhi tuntutan produksi massal skala besar.

Fitur Teknis: Berbagai Desain Inovatif yang Dikembangkan Secara Independen

Proses Asam Fosfat Suhu Tinggi yang Inovatif: Proses intinya menggunakan asam fosfat suhu tinggi untuk etsa dan pengupasan wafer. Kontrol penyemprotan dan suhu yang tepat secara efektif mengurangi dispersi proses dan tingkat cacat, sehingga secara signifikan meningkatkan hasil chip 2nm.

**Chuck Suhu Tinggi yang Dikembangkan Secara Mandiri:** Teknologi ini meningkatkan keseragaman suhu selama pemanasan wafer, secara signifikan mengurangi cacat proses, dan mengatasi keterbatasan metode pembersihan basah tradisional.

**Pengendalian Kontaminasi Komprehensif:** Ruang NIC (Non-Interaction Clean) secara efektif mencegah kontaminasi silang, dikombinasikan dengan teknologi SF-Aerosol (tetesan berkecepatan tinggi/seragam) untuk pembersihan fisik.

**Sistem Cerdas yang Sangat Terintegrasi:** Dilengkapi dengan APAC, AIS (Sistem Deteksi Otomatis), dan SEAS (Sistem Analisis Peralatan Cerdas), sistem ini mencapai kontrol aliran yang presisi dan analisis cerdas terhadap status peralatan.

**Bidang Aplikasi:** Berbasis di Samsung, melayani klien global terkemuka.

BLUEICE PRIME terutama menargetkan pabrik chip logika dan produsen memori global terkemuka. Dengan memanfaatkan status perusahaan induknya, SEMES, sebagai anak perusahaan Samsung Group, peralatan ini terintegrasi secara mendalam ke dalam lini produksi pabrik wafer tercanggih Samsung. Solusi pembersihan basahnya membentuk ekosistem lengkap dengan peralatan front-end inti lainnya seperti litografi (seri OMEGA) dan etsa (seri MICHELAN). Perlu dicatat bahwa SEMES telah memperluas ruang lingkup bisnisnya ke seluruh bidang manufaktur HBM (High Bandwidth Memory), dan berhasil mengembangkan serta memproduksi secara massal mesin pengikat termal (TC Bonder) untuk penumpukan chip HBM.

Singkatnya, BLUEICE PRIME menunjukkan kekuatan teknologi SEMES yang mendalam di bidang peralatan semikonduktor. Ini merupakan bagian penting dari upaya Samsung Group untuk memperkuat posisinya sebagai pemimpin global dalam teknologi proses canggih dan alat utama yang mendukung manufaktur mutakhir di bawah 2nm.