ASM flip-chip līmētājs AMICRA NANO

ASM AMICRA NANO ir augstākās klases, īpaši augstas precizitātes flip-chip līmēšanas iekārta. Patiesībā tā nav tikai vienkārša flip-chip līmēšanas iekārta, bet gan ierīce, kas apvieno gan mikroshēmu līmēšanas, gan flip-chip līmēšanas funkcijas, elastīgi apstrādājot dažādus līmēšanas procesus.

AMICRA NANO galvenās funkcijas un tehniskās specifikācijas

Funkciju detalizēts apraksts

Iekārtas tips: Īpaši precīzs presformu līmētājs / apgriežamo čipu līmētājs

Kodola precizitāte: Novietojuma/izlīdzināšanas precizitāte: ±0,2 µm @ 3σ

Līmēšanas metodes: hibrīdlīmēšana, eutektiskā līmēšana, lāzerlīmēšana, termostatiskā līmēšana (TCB), UV sacietēšana

Līmēšanas spiediena diapazons: no 0,1 N līdz 20 N (aptuveni no 10 g līdz 2 kg)

Čipa izmērs: apstrādā ļoti mazas čipsus, piemēram, 0,1 mm x 0,1 mm

Substrāta izmērs: paredzēts substrātiem līdz 300 mm x 300 mm

Ražošanas ātrums (UPH): aptuveni 200–400 skaidas stundā

Operētājsistēma: Windows saskarne

Iekārtas izmēri: Tikai pamatnes laukums 2,23 x 1,0 m (aptuveni 7,3 x 3,3 pēdas)

Procesa vide Aprīkota ar HEPA filtriem un jonu ģeneratoru, kas nodrošina augstas tīrības tīrtelpas vidi.

Vairāk tehnisku detaļu un salīdzinājums ar līdzīgiem modeļiem

Princips

AMICRA NANO ārkārtīgā precizitāte izriet no tā unikālā dizaina: četras augstas izšķirtspējas attēlveidošanas sistēmas ir piestiprinātas pie dabīga granīta pamatnes, savukārt citas kustības vadības sistēmas pārvietojas ap šīm fiksētajām kamerām. Apvienojumā ar aktīvu vibrāciju slāpēšanu un dinamisko izlīdzināšanas sistēmu tas nodrošina precīzu izvietojumu.

Pielietojuma jomas

Tas ir paredzēts progresīvām iepakošanas lietojumprogrammām ar ārkārtīgi augstām precizitātes prasībām, īpaši izceļoties silīcija fotonikā, optisko ierīču iepakošanā, mikroshēmu un plāksnīšu integrācijā un 2,5D/3D IC integrācijā.

Procesa priekšrocības

Papildus ārkārtīgi augstajai novietošanas precizitātei, AMICRA NANO atbalsta arī ātrdarbīgus AuSn eitektiskās savienošanas procesus un tam ir in-situ eitektiskās savienošanas iespējas, efektīvi uzlabojot caurlaidspēju un savienojuma kvalitāti.

Citi atvasinātie modeļi

Papildus NANO, ASMPT AMICRA sērijā ietilpst arī:

NOVA Pro: Atbalsta arī flip-chip savienošanu ar precizitāti ±1,0 µm, panākot līdzsvaru starp ātrumu un precizitāti.

AFC Plus: Šis ir universāls presformu līmētājs ar precizitāti ±1,5 µm, kas paredzēts, lai papildinātu augstākās klases NANO sēriju.

Rezumējot, ASM AMICRA NANO ir izstrādāts, lai apmierinātu visstingrākās iepakojuma prasības. Atšķirībā no iekārtām, kurām prioritāte ir efektivitāte, tas koncentrējas uz ārkārtīgi augstas precizitātes sasniegšanu ±0,2 µm, kalpojot pētniecībai un attīstībai, kā arī plaša spektra, mazapjoma progresīvai ražošanai tādās progresīvās jomās kā silīcija fotonika un mākslīgā intelekta skaitļošana.