ThinkLaser SigmaClean vafeļu lāzera marķēšanas iekārta

ThinkLaser SigmaClean ir pilnībā automatizēta lāzera marķēšanas sistēma ar “mīksto marķēšanu”, kas īpaši izstrādāta 100 mm līdz 200 mm plāksnēm un pilnībā atbilst 1. klases tīrtelpu standartiem. Tās galvenais uzdevums ir izmantot patentētu lāzertehnoloģiju, lai nodrošinātu pusvadītāju plāksnēm efektīvu, izturīgu un viegli salasāmu marķējumu, neradot daļiņu piesārņojumu, tādējādi nodrošinot automatizētu izsekojamību visā plāksnīšu dzīves ciklā.

**Tehniskie principi**

SigmaClean galvenās stiprās puses ir tā avota kontrolētā tīrības tehnoloģija un stabilā, precīzi konstruētā aparatūras konstrukcija.

**Patentēta SuperSoftMark® tehnoloģija:** Šī ir galvenā atšķirība, kas atšķir SigmaClean no citām iekārtām. Precīzi kontrolējot lāzera enerģiju, tā panāk patiesi “bez gružiem” marķēšanu. Šī funkcija būtiski novērš daļiņu piesārņojuma risku, ļaujot sistēmu droši izvietot ražošanas līnijas priekšgalā (FEOL), kur tīrības prasības ir ārkārtīgi stingras.

**Augsti stabils diodes sūknēts cietvielu lāzers:** Sistēma izmanto patentētu diodes sūknētu cietvielu lāzeru, kam raksturīga izcila impulsu stabilitāte. Tas nodrošina augstu katra marķētā punkta dziļuma un apaļuma konsekvenci, tādējādi garantējot marķēšanas kvalitātes stabilitāti un atkārtojamību.

**Izturīgas optiskās un automatizācijas sistēmas:** Visai iekārtai ir pilnībā automatizēta konstrukcija, tā atbalsta SECS II/GEM rūpnīcas automatizācijas komunikācijas protokolus un nemanāmi integrējas ar galvenajām automatizētajām vafeļu apstrādes sistēmām, piemēram, SMIF (standarta mehāniskās saskarnes) vafeļu podiem.

**Galvenās priekšrocības un funkcijas**

SigmaClean priekšrocības sniedzas tālāk par tā uzlabotajām marķēšanas iespējām, sniedzot arī taustāmu vērtību plākšņu ražošanas rūpnīcām.

**Nepārspējama tīrība:** Atbilst 1. klases (starptautiskā standarta ISO 3. klase) tīrtelpu saderības prasībām, padarot to par vēlamo izvēli priekšējās daļas vafeļu ražošanas rūpnīcām (Fabs) ar ārkārtīgi augstiem tīras vides standartiem.

**Augsta caurlaidspēja un izmaksu efektivitāte:** Šī sistēma izmanto mīkstās marķēšanas procesu, kas īpaši izstrādāts pulētu plākšņu marķēšanai tīrtelpas vidē un tagad ir nozares standarts, lai nodrošinātu ļoti izmaksu ziņā efektīvu risinājumu.

**Vienmērīga marķēšanas kvalitāte un izsekojamība:** Lāzera izcilā impulsa stabilitāte ir galvenais faktors, lai panāktu vienmērīgu punktu dziļumu un apaļumu, kas ir izšķirošs faktors turpmāko mašīnredzes sistēmu (optiskās rakstzīmju atpazīšanas, OCR) atpazīšanas ātruma uzlabošanā. Vienlaikus sistēma rada pastāvīgas, salasāmas atzīmes, nodrošinot izsekojamību katrā ražošanas posmā.

Plaša pielietojuma elastība: Vairākas marķējumu grupas var novietot jebkurā orientācijā uz plāksnītes virsmas, un marķējumu vietas ir ierobežotas gredzenveida zonā 25 mm attālumā no plāksnītes malas.

Specifikācijas un darbība/apkope

Specifikācijas kategorija | Detalizēti parametri un apraksts

Iekārtu klasifikācija | Pilnībā automātiska, ISO 3/1. klases tīrtelpai piemērota, 100–200 mm plākšņu mīkstās marķēšanas sistēma

Plātnes izmērs | Standarta atbalsts 100 mm–200 mm (4–8 collas)

Lāzera tips | Sigma100 IR diodes sūknēšanas cietvielu lāzers

Marķēšanas tehnoloģija | Patentēts SuperSoftMark® (mīkstais marķējums bez gružiem)

Marķējuma vieta | Jebkura orientācija 25 mm gredzenveida zonā pie plāksnes malas

Komunikācijas saskarne | SECS II/GEM, SEMI standarta resursdatora saskarne

Transports/Kasete | 3 atvērtas kasešu stacijas; Papildus pieejams 200 mm SMIF Pod adapteris

Papildu funkcijas | OCR/svītrkodu lasīšana un atkārtota marķēšana

Programmatūras sistēma | Windows® bāzes lietotāja saskarne

Atbilstība un sertifikācija | Atbilst SEMI S2/S8, CE un citiem standartiem

Barošanas un gaisa padeve | Standarta rūpnieciskais vienfāzes 220 V barošanas avots un tīrs saspiests gaiss

SigmaClean ir izstrādāts, ņemot vērā arī vienkāršu apkopi:

**Vienkārša apkope:** Sistēmas konstrukcija atvieglo vienkāršu ikdienas apkopi; ikdienas pārbaudes, piemēram, lēcu tīrīšanu, var veikt aptuveni 5 minūtēs. Turklāt iekārtai ir automatizētas ikdienas pašdiagnostikas iespējas un tā nodrošina skaidrus apkopes protokola norādījumus kļūmes gadījumā, tādējādi atvieglojot lietotāja uzsāktu plānoto apkopi.

**Drošība un tīrība:** Kopējais iekārtas dizains atbilst starptautiskajiem drošības standartiem (piemēram, SEMI S2/S8, CE u. c.) un ir aprīkots ar integrētu putekļu nosūkšanas sistēmu, kas vēl vairāk nodrošina ražošanas vides drošību un higiēnu.

**Galvenās funkcijas un lietošanas scenāriji**

**Priekšējā gala vafeļu ražošana:** Piemērots vafeļu ražošanai no tādiem materiāliem kā silīcijs, SiC un GaAs, kuru izmērs ir no 100 mm līdz 200 mm. Iegravējot unikālu identifikatoru ražošanas sākumposmā, sistēma nodrošina kvalitātes izsekojamību no sākuma līdz beigām un statistisko procesa kontroli (SPC).

**Uzlabots iepakojums:** Nodrošina kritiski svarīgus izsekojamības ID vafeļu līmeņa iepakojuma (WLP) vai rekonstruētu vafeļu procesos.

**Pētniecība un attīstība, kā arī mazu partiju ražošana:** Tā elastīgā, automatizētā konstrukcija padara to ideāli piemērotu pētniecības un attīstības, kā arī pilotražošanas vidēm, kurām raksturīga liela jauktā daudzuma, mazu apjomu ražošana.

**Kopsavilkums un salīdzinājums**

Rezumējot, ThinkLaser SigmaClean ir iekārta, kas atbilst nozarē vadošajiem standartiem tīrības, stabilitātes un automatizācijas ziņā. Izmantojot savu patentēto SuperSoftMark® tehnoloģiju, tā efektīvi novērš galveno problēmu — daļiņu piesārņojumu —, kas bieži vien ir saistīta ar tradicionālajām marķēšanas metodēm, tādējādi kļūstot par etalonu 4–8 collu vafeļu "mīkstās marķēšanas" jomā. Lai intuitīvāk izprastu tās pozicionēšanu produktu līnijā, lūdzu, skatiet šo salīdzinājumu ar SC300 — citu mīkstās marķēšanas ierīci:

**Funkcija** | **SigmaClean** | **SC300**

**Primārā pozicionēšana** | Pilnībā automatizēta mīkstās marķēšanas sistēma 100–200 mm (4–8 collu) plāksnēm | Pilnībā automatizēta mīkstās marķēšanas sistēma 300 mm (12 collu) plāksnēm

**Tirgus pielietojums** | Orientēts uz pusvadītāju plākšņu rūpnīcām un iepakošanas rūpnīcām, kas apstrādā 8 collu un mazākas plāksnītes; kalpo kā vadošais risinājums šajā tirgus segmentā | Plaši pieņemts visu 300 mm integrēto ierīču ražotāju (IDM) un plākšņu lietuvju vidū

**Tehniskās īpašības** | Saderīgs ar 1. klases tīrtelpu; izmanto patentētu SuperSoftMark® tehnoloģiju, lai panāktu marķējumu bez gružiem | Izmanto arī mīkstās marķēšanas tehnoloģiju, kas nodrošina nepieciešamo saderību, tīrību, marķēšanas kvalitāti un uzticamību 300 mm masveida ražošanai

**Transportēšanas sistēma** | Parasti konfigurēta ar 3 atvērtām kasešu stacijām; SMIF podi pieejami kā opcija | Parasti saderīga ar priekšpusē atveramiem vienotajiem podiem (FOUP); atbalsta OHT (virszemes pacēlāja transporta) sistēmas

**Nozares statuss** | Nozares vadošais risinājums 4–8 collu plākšņu mīkstajai marķēšanai | Nozares standarts mīkstajai marķēšanai 300 mm plākšņu rūpnīcās ar milzīgu uzstādīto iekārtu bāzi (vairāk nekā 140 vienības)