Nitto DR3000III pusvadītāju plākšņu stiprinājums

Šis ir detalizēts ievads Nitto Denko ražotajā NEL SYSTEM™ DR3000III iekārtā. Tā ir pilnībā automatizēta vafeļu aizsarglentes uzklāšanas iekārta, kurai ir galvenā loma pusvadītāju ražošanā.

Galvenā konfigurācija un tehniskās specifikācijas

DR3000III galvenās tehniskās specifikācijas ir šādas:

Preces specifikācijas/parametri

Iekārtas tips: Pilnībā automatizēts aizsarglentes aplikators 300 mm plāksnēm

Piemērojamais vafeļu izmērs: 300 mm (12 collas) / 200 mm (8 collas)

Piemērojamais vafeļu biezums: 400 μm vai biezāks

Caurlaidspēja: 68 vafeles/stundā

Lentes uzklāšanas tehnoloģija: integrēts spriegojuma nesaturošs uzklāšanas vadības mehānisms

Saderīgi standarti: Atbilst CE marķējumam un SEMI S2/S8 specifikācijām

Lūdzu, ņemiet vērā: iepriekš minētās specifikācijas var mainīties atkarībā no plāksnes, lentes un citiem apstākļiem, un tās var ietvert arī papildu funkcijas.

Galvenās funkcijas un priekšrocības

DR3000III jaudīgās funkcijas to atšķir precīzās ražošanas jomā:

Spriegojuma nesaturoša uzklāšanas tehnoloģija: šī ir viena no tās galvenajām tehnoloģiskajām priekšrocībām. Lentes spriegojuma samazināšana pirms laminēšanas efektīvi kontrolē vafeļu deformāciju pēc aizmugures slīpēšanas, kas ir ļoti svarīgi, apstrādājot liela izmēra, īpaši plānas vafeles.

Zema sprieguma laminēšanas kontrole: Iekārtai ir zema sprieguma līmēšana un līmes sprieguma kontrole, kas ievērojami samazina vafeļu raksta bojājumu risku laminēšanas laikā.

Saderība ar plāksnēm: Lai gan tā ir paredzēta 300 mm plāksnēm, tā ir atpakaļsaderīga ar 200 mm plāksnēm un atbalsta īpašus procesus ar papildu funkcijām, piemēram, apsildāmu patronu galdu (maks. 100 °C) un apsildāmiem veltņiem (maks. 60 °C). Turklāt tā efektīvi apstrādā plāksnītes ar nelīdzenumiem un plāksnītes ar zināmu deformācijas pakāpi.

Augsta automatizācijas un intelekta pakāpe: Iekārta ir aprīkota ar:

Automatizēta materiālu apstrāde: Atbalsta priekšpusē atveramas vafeļu kasetes (FOUP)/atvērtas kasetes ar iebūvētu robotizētu roku pilnībā automatizētai iekraušanai un izkraušanai.

Precīza izlīdzināšana: Izmanto bezkontakta CCD izlīdzināšanas sistēmu, lai nodrošinātu laminēšanas precizitāti.

Inteliģenta uzraudzība: Aprīkota ar žurnālfaila funkciju datu izsekojamībai; lentes noslīdēšanas noteikšana novērš darbības traucējumus. Papildu vafeļu kartēšanas skeneris nodrošina automātisku ienākošo materiālu pārbaudi.

Atbilst augstiem nozares standartiem: Iekārta atbilst SEMI S2/S8 drošības un vides standartiem un ir pieejama ar papildu SECS/GEM komunikācijas protokoliem, lai nodrošinātu nemanāmu integrāciju modernās pusvadītāju rūpnīcu automatizācijas sistēmās.

Lietotājam draudzīga darbība: liels skārienekrāns apvienojumā ar recepšu funkciju padara darbību vienkāršu un intuitīvu. Lietotājiem tikai jāatver atbilstošā produkta recepte, lai automātiski pabeigtu visu parametru iestatījumus.

Darbības princips: Pirms slīpēšanas procesa DR3000III precīzi pielīmē aizsarglenti pie vafeles rakstainās puses, izmantojot spriegošanas nesaturošu metodi, lai novērstu mehāniskus bojājumus vai ķīmisku piesārņojumu vafeles priekšpusē sekojošās ātrgaitas slīpēšanas laikā.

Pielietojuma jomas: DR3000III galvenokārt tiek izmantots šādās galvenajās jomās:

Pusvadītāju ražošana: loģiskās mikroshēmas un atmiņas mikroshēmas (DRAM, NAND Flash u. c.): aizsargā jutīgo shēmas struktūru plāksnītes priekšpusē progresīvos procesos. Uzlabots iepakojums: nodrošina plāksnītes aizsardzību aizvien lielākos 300 mm plāksnīšu līmeņa iepakošanas procesos (Fan-In WLP, Fan-Out WLP u. c.).

MEMS un sensori: Aizsargā mikromehāniskās struktūras un sensoru zonas aizmugurējās puses retināšanas procesos.

Jaudas pusvadītāju ierīces: Apstrādā vafeles jaudas ierīcēm, piemēram, IGBT un MOSFET, samazinot ieslēgšanās pretestību un uzlabojot siltuma izkliedi, to retinot.

Sadarbība ar citām iekārtām: Pusvadītāju iepakošanas līnijās DR3000III parasti darbojas kopā ar šādām iekārtām:

Sadarbība ar plēves uzklāšanas aprīkojumu: darbojas kopā ar Nitto NEL-MA3000-III lentes noņemšanas aprīkojumu pirms un pēc retināšanas procesa. DR3000III vispirms uzklāj aizsarglenti, lai pasargātu plāksni no bojājumiem retināšanas laikā; pēc retināšanas NEL-MA3000-III precīzi noņem aizsarglenti, nodrošinot īpaši plānās plāksnītes integritāti un drošību visa procesa laikā.

Sadarbība ar pulēšanas iekārtām: Cieši sadarbojas ar pulēšanas mašīnām kā aizsardzības pasākumu. Pēc tam, kad DR3000III pārklāj vafeles ar aizsargplēvēm, tās tiek padotas slīpmašīnā aizmugurējās puses retināšanai, droši nodrošinot slīpēšanas procesa drošību un stabilitāti.

Kopumā Nitto DR3000III ir augsti specializēta, automatizēta un augstas veiktspējas plākšņu aizsardzības sistēma. Pateicoties tās bezspriegotās plēves laminēšanas tehnoloģijai, tā efektīvi atrisina bieži sastopamās deformācijas un šķembu problēmas, ar kurām saskaras liela izmēra plāksnītes aizmugurējās puses retināšanas procesā. Tai ir izšķiroša nozīme pusvadītāju nozarē, kalpojot kā kritiski svarīgs aprīkojums, kas nodrošina progresīvas mikroshēmu ražošanas ražību un uzticamību. Lai saņemtu cenu piedāvājumus vai tehniskus jautājumus, lūdzu, sazinieties tieši ar Nitto oficiālajiem pārstāvjiem vai pilnvarotajiem izplatītājiem Ķīnā.