Stesen Probe ACCRETECH UF3000EX ialah peranti pengesan isyarat elektrik untuk setiap cip pada setiap wafer, direka untuk memastikan kualiti produk semikonduktor. Peranti ini menggunakan teknologi generasi akan datang, yang meningkatkan kapasiti pengeluaran dengan ketara melalui algoritma baharu dan teknologi pengendalian wafer. Platform paksi X dan Y berkelajuan tinggi, hingar rendahnya mendapat manfaat daripada sistem pemacu baharu, manakala paksi Z memastikan kapasiti beban bertaraf dunia dan ketepatan tinggi. Struktur reka bentuk peranti dengan pasti menghilangkan daya pada satah melalui gabungan reka bentuk struktur dan topologi yang optimum. Selain itu, sistem pemprosesan kedudukan OTS termaju dan sistem penjajaran imej wafer warna, serta fungsi pembesaran maksimum kecil yang dilengkapi, menjadikan UF3000EX sebagai peranti berketepatan tinggi dan boleh dikendalikan dalam industri.
Ciri-ciri Utama
Kelajuan tinggi dan hingar rendah: Sistem pemacu baharu menjadikan platform paksi X dan Y berjalan dengan cekap dan senyap.
Ketepatan tinggi: Paksi Z memastikan kapasiti beban bertaraf dunia dan ketepatan tinggi.
Pengoptimuman struktur: Daya pada satah dihapuskan melalui gabungan reka bentuk struktur dan topologi yang optimum.
Sistem penentududukan lanjutan: Dilengkapi dengan sistem pemprosesan kedudukan OTS termaju dan sistem penjajaran imej wafer warna, dengan fungsi pembesaran pembesaran maksimum yang kecil.
Keserasian: Sesuai untuk wafer diameter besar (φ300 mm, sehingga 12 inci), dengan sistem pengendalian automatik, pengesanan ketepatan tinggi, daya pemprosesan tinggi, getaran rendah, dsb.
Medan permohonan
Stesen probe UF3000EX digunakan secara meluas dalam ujian wafer dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam barisan pengeluaran LSI dan VLSI, yang boleh memberikan pengesanan isyarat elektrik yang cekap dan tepat untuk memastikan kualiti produk dan kecekapan pengeluaran
