यो निट्टो डेन्कोको NEL SYSTEM™ DR3000III को विस्तृत परिचय हो। यो एक पूर्ण स्वचालित वेफर सुरक्षात्मक टेप अनुप्रयोग मेसिन हो जसले अर्धचालक निर्माणमा प्रमुख भूमिका खेल्छ।
कोर कन्फिगरेसन र प्राविधिक विशिष्टताहरू
DR3000III को मुख्य प्राविधिक विशिष्टताहरू निम्नानुसार छन्:
वस्तु निर्दिष्टीकरण/प्यारामिटरहरू
उपकरणको प्रकार: ३०० मिमी वेफरहरूको लागि पूर्ण स्वचालित सुरक्षात्मक टेप एप्लिकेटर
लागू हुने वेफर साइज: ३०० मिमी (१२ इन्च) / २०० मिमी (८ इन्च)
लागू हुने वेफर मोटाई: ४००μm वा मोटो
थ्रुपुट: ६८ वेफर्स/घण्टा
टेप अनुप्रयोग प्रविधि: एकीकृत तनाव-मुक्त अनुप्रयोग नियन्त्रण संयन्त्र
मिल्दो मापदण्डहरू: CE मार्किंग र SEMI S2/S8 विशिष्टताहरू पूरा गर्दछ।
कृपया ध्यान दिनुहोस्: माथिका विशिष्टताहरू वेफर, टेप, र अन्य अवस्थाहरूको आधारमा परिवर्तन हुन सक्छन्, र वैकल्पिक सुविधाहरू पनि समावेश हुन सक्छन्।
मुख्य सुविधाहरू र लाभहरू
DR3000III का शक्तिशाली विशेषताहरूले यसलाई परिशुद्धता उत्पादन क्षेत्रमा अलग राखेका छन्:
तनावमुक्त अनुप्रयोग प्रविधि: यो यसको मुख्य प्राविधिक फाइदाहरू मध्ये एक हो। ल्यामिनेशन अघि टेप तनाव कम गर्नाले ब्याक-साइड ग्राइन्डिङ पछि वेफर वारपेजलाई प्रभावकारी रूपमा नियन्त्रण गर्दछ, जुन ठूला आकारका, अति-पातलो वेफरहरू ह्यान्डल गर्न महत्त्वपूर्ण छ।
कम-तनाव ल्यामिनेशन नियन्त्रण: उपकरणमा कम-तनाव बन्धन र टाँसिने तनाव नियन्त्रण सुविधा छ, जसले ल्यामिनेशनको समयमा वेफर ढाँचा क्षतिको जोखिमलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्दछ।
वेफर अनुकूलता: ३०० मिमी वेफरहरूको लागि डिजाइन गरिएको भए तापनि, यो २०० मिमी वेफरहरूसँग पछाडि उपयुक्त छ र तातो चक टेबल (अधिकतम १०० डिग्री सेल्सियस) र तातो रोलरहरू (अधिकतम ६० डिग्री सेल्सियस) जस्ता वैकल्पिक सुविधाहरू सहित विशेष प्रक्रियाहरूलाई समर्थन गर्दछ। यसबाहेक, यसले बम्प्ड वेफरहरू र निश्चित डिग्रीको वारपेज भएका वेफरहरूलाई प्रभावकारी रूपमा ह्यान्डल गर्दछ।
उच्च स्वचालन र बुद्धिमत्ता: उपकरण निम्नसँग सुसज्जित छ:
स्वचालित सामग्री ह्यान्डलिङ: पूर्ण स्वचालित लोडिङ र अनलोडिङको लागि निर्मित रोबोटिक हातको साथ, अगाडि-खोल्ने वेफर क्यासेटहरू (FOUP) / खुला क्यासेटहरूलाई समर्थन गर्दछ।
सटीक पङ्क्तिबद्धता: ल्यामिनेशन शुद्धता सुनिश्चित गर्न गैर-सम्पर्क CCD पङ्क्तिबद्धता प्रणाली प्रयोग गर्दछ।
बुद्धिमान अनुगमन: डेटा ट्रेसेबिलिटीको लागि लग फाइल प्रकार्यले सुसज्जित; टेप स्यागिङ पत्ता लगाउनाले खराबीलाई रोक्छ। वैकल्पिक वेफर म्यापिङ स्क्यानरले स्वचालित आगमन सामग्री निरीक्षण सक्षम बनाउँछ।
उच्च उद्योग मापदण्डहरूको अनुपालन: उपकरणले SEMI S2/S8 सुरक्षा र वातावरणीय मापदण्डहरूको पालना गर्दछ र आधुनिक अर्धचालक कारखाना स्वचालन प्रणालीहरूमा निर्बाध एकीकरणको लागि वैकल्पिक SECS/GEM सञ्चार प्रोटोकलहरूसँग उपलब्ध छ।
प्रयोगकर्ता-मैत्री सञ्चालन: रेसिपी प्रकार्यसँग जोडिएको ठूलो टचस्क्रिनले सञ्चालनलाई सरल र सहज बनाउँछ। प्रयोगकर्ताहरूले सबै प्यारामिटर सेटिङहरू स्वचालित रूपमा पूरा गर्न सम्बन्धित उत्पादनको लागि रेसिपी कल गर्न मात्र आवश्यक छ।
कार्य सिद्धान्त: ब्याकग्राइन्डिङ प्रक्रिया अघि, DR3000III ले उच्च-गतिको ग्राइन्डिङको समयमा वेफरको अगाडिको भागमा मेकानिकल क्षति वा रासायनिक प्रदूषण रोक्नको लागि तनाव-मुक्त विधि प्रयोग गरेर वेफरको ढाँचाको छेउमा सुरक्षात्मक टेपलाई ठीकसँग टाँस्छ।
प्रयोग क्षेत्रहरू: DR3000III मुख्यतया निम्न प्रमुख क्षेत्रहरूमा प्रयोग गरिन्छ:
अर्धचालक उत्पादन: तर्क चिप्स र मेमोरी चिप्स (DRAM, NAND Flash, आदि): उन्नत प्रक्रियाहरूमा वेफरको अगाडिको भागमा नाजुक सर्किट संरचनाको सुरक्षा गर्ने। उन्नत प्याकेजिङ: बढ्दो रूपमा ठूला ३०० मिमी वेफर-स्तर प्याकेजिङ प्रक्रियाहरू (फ्यान-इन WLP, फ्यान-आउट WLP, आदि) को समयमा वेफर सुरक्षा प्रदान गर्दछ।
MEMS र सेन्सरहरू: पछाडिको भाग पातलो हुने प्रक्रियाहरूमा माइक्रोमेकानिकल संरचनाहरू र सेन्सर क्षेत्रहरूलाई सुरक्षित गर्दछ।
पावर सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू: IGBTs र MOSFETs जस्ता पावर उपकरणहरूको लागि वेफरहरू प्रशोधन गर्दछ, अन-प्रतिरोध कम गर्दछ र पातलो मार्फत ताप अपव्यय सुधार गर्दछ।
अन्य उपकरणहरूसँग सहकार्य: अर्धचालक प्याकेजिङ लाइनहरूमा, DR3000III सामान्यतया निम्न उपकरणहरूसँग संयोजनमा काम गर्दछ:
फिल्म एप्लिकेसन उपकरणसँग सहकार्य: पातलो बनाउने प्रक्रिया अघि र पछि निट्टो NEL-MA3000-III टेप हटाउने उपकरणसँग संयोजनमा काम गर्दछ। DR3000III ले पहिले पातलो बनाउने क्रममा वेफरलाई क्षतिबाट जोगाउन सुरक्षात्मक टेप लागू गर्दछ; पातलो बनाएपछि, NEL-MA3000-III ले सुरक्षात्मक टेपलाई ठीकसँग हटाउँछ, जसले गर्दा सम्पूर्ण प्रक्रियाभरि अल्ट्रा-पातलो वेफरको अखण्डता र सुरक्षा सुनिश्चित हुन्छ।
पालिसिङ उपकरणसँगको सहकार्य: सुरक्षात्मक कदमको रूपमा पालिसिङ मेसिनहरूसँग नजिकबाट काम गर्दछ। DR3000III द्वारा वेफरहरूलाई सुरक्षात्मक फिल्महरूले लेपित गरिसकेपछि, तिनीहरूलाई पछाडिको भाग पातलो पार्नको लागि ग्राइन्डिङ मेसिनमा खुवाइन्छ, जसले गर्दा ग्राइन्डिङ प्रक्रियाको सुरक्षा र स्थिरता विश्वसनीय रूपमा सुनिश्चित हुन्छ।
समग्रमा, Nitto DR3000III एक उच्च विशिष्टीकृत, स्वचालित, र उच्च-प्रदर्शन वेफर सुरक्षा प्रणाली हो। यसको तनाव-मुक्त फिल्म ल्यामिनेशन प्रविधि मार्फत, यसले पछाडिको पातलो प्रक्रियाको क्रममा ठूला आकारका वेफरहरूसँग सामना गर्ने वार्पिङ र चिपिङको सामान्य समस्याहरूलाई प्रभावकारी रूपमा समाधान गर्दछ। यसले अर्धचालक उद्योगमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, उन्नत चिप निर्माणको उपज र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्न उपकरणको एक महत्वपूर्ण टुक्राको रूपमा सेवा गर्दछ। उद्धरण वा प्राविधिक सोधपुछको लागि, कृपया Nitto का आधिकारिक प्रतिनिधिहरू वा चीनमा अधिकृत वितरकहरूलाई सिधै सम्पर्क गर्नुहोस्।


