TEL CELLESTA™ -i MD waferreiniger

De TEL CELLESTA™ -i MD is het vlaggenschip van Tokyo Electron (TEL) op het gebied van 300mm single-wafer reinigingssystemen voor 10nm en geavanceerdere procestechnologieën. Het is specifiek ontworpen om belangrijke procesuitdagingen aan te pakken, zoals de gevoeligheid van micropatterned structuren voor beschadiging tijdens het reinigen en drogen in geavanceerde processen, en is een essentieel onderdeel dat bijdraagt ​​aan een hogere opbrengst voor hoogwaardige chips.

Kernprestaties: Technische problemen en gegevensondersteuning

Om een ​​beter inzicht te geven, worden de belangrijkste technische kenmerken hieronder samengevat:

Belangrijkste kenmerken, prestatie-indicatoren en technische details

Procespositionering gericht op 10nm en geavanceerdere procestechnologieën, gespecialiseerd in niet-destructieve reiniging en verwijdering van deeltjes van gepatroonde waferoppervlakken.

Kerntechnologieën: Reiniging en droging. Bereikt patroonvervalsingsvrije droging door middel van gecontroleerde kameratmosfeer en geoptimaliseerde prestaties van de IPA-sproeier (isopropylalcohol); kan chemische oplossingen zoals SC-1 en DHF gebruiken voor nat etsen; en kan fysieke reinigingsfuncties zoals borstelen en dual-fluid sprayen integreren.

Hoge efficiëntie en modulariteit: Configureerbaar met maximaal 20 reinigingskamers, waardoor een capaciteit van maximaal 1000 wafers per uur (WPH) wordt bereikt, en flexibele uitbreiding van de afschuiningsreinigingseenheden mogelijk is.

Lage bedrijfskosten: Het ingebouwde chemische recyclingsysteem verlaagt de bedrijfskosten aanzienlijk en bespaart effectief op het verbruik van zwavelzuur.

Betrouwbaarheid: Het transportsysteem heeft 750 miljoen waferverwerkingscycli doorstaan ​​zonder fouten, wat een extreem hoge stabiliteit bij massaproductie garandeert.

Toepassingen: Dankzij de toonaangevende technologie en stabiele prestaties wordt CELLESTA™ -i MD veelvuldig gebruikt bij de productie van geavanceerde halfgeleidercomponenten en speelt het een onmisbare rol in de volgende gebieden:

Logische chips: zorgen voor schone waferoppervlakken voor de productie van hoogwaardige logische chips zoals CPU's, GPU's en AI-processoren.

Geheugenchips: Worden gebruikt bij de productie van geheugenchips zoals DRAM en 3D NAND Flash, en garanderen de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van de geheugencellen.

Geavanceerde verpakkingstechnieken: Veel gebruikt in de reinigingsstappen van geavanceerde verpakkingsprocessen zoals BSI (back-illuminated), 3D-stapeling, back-powered en SoIC (system-on-chip).

Industrie-evaluatie en marktpositie

Als topmodel in de CELLESTA-serie vertegenwoordigt de -i MD het hoogste niveau van TEL op het gebied van reiniging van individuele wafers. Met zijn superieure reinigingsprestaties en erkende hoge betrouwbaarheid bekleedt deze serie platforms, samen met SCREEN, een leidende positie op de wereldwijde markt voor halfgeleiderreinigingsapparatuur, waardoor het een onmisbaar onderdeel is van de massaproductie van geavanceerde chips.