ACCRETECH Probe Station UF3000EX er en elektrisk signaldeteksjonsenhet for hver brikke på hver wafer, designet for å sikre kvaliteten på halvlederprodukter. Enheten bruker neste generasjons teknologi, som forbedrer produksjonskapasiteten betydelig gjennom nye algoritmer og waferhåndteringsteknologi. Dens høyhastighets, støysvake X- og Y-akseplattformer drar nytte av det nye drivsystemet, mens Z-aksen sikrer lastekapasitet og høy presisjon i verdensklasse. Designstrukturen til enheten eliminerer pålitelig kraften på flyet gjennom den gode kombinasjonen av optimal strukturell design og topologi. I tillegg gjør det avanserte OTS-posisjonsbehandlingssystemet og fargewafer-bildejusteringssystemet, samt den lille maksimale forstørrelsesfunksjonen utstyrt, UF3000EX til en høypresisjon og brukbar enhet i bransjen.
Hovedfunksjoner
Høy hastighet og lav støy: Det nye drivsystemet gjør at X- og Y-akseplattformene kjører effektivt og stillegående.
Høy presisjon: Z-aksen sikrer lastekapasitet og høy presisjon i verdensklasse.
Strukturell optimalisering: Kraften på flyet elimineres gjennom den gode kombinasjonen av optimal strukturell design og topologi.
Avansert posisjoneringssystem: Utstyrt med avansert OTS posisjonsbehandlingssystem og fargewafer bildejusteringssystem, med liten maksimal forstørrelsesforstørrelsesfunksjon.
Kompatibilitet: Egnet for wafere med stor diameter (φ300 mm, opptil 12 tommer), med automatisk operativsystem, høypresisjonsdeteksjon, høy gjennomstrømning, lav vibrasjon, etc. .
Søknadsfelt
UF3000EX sondestasjon er mye brukt i wafertesting i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt i produksjonslinjene til LSI og VLSI, som kan gi effektiv og nøyaktig elektrisk signaldeteksjon for å sikre produktkvalitet og produksjonseffektivitet
