ACCRETECH UF200R er en helautomatisert og kostnadseffektiv halvlederprobe fra ACCRETECH (Japan) for 120–200 mm (5–8 tommer) wafere. Den brukes til elektrisk testing (CP-testing) av wafernivåbrikker før dicing.
Hva gjør den?
Enkelt sagt: Før waferen deles opp i individuelle brikker, kommer prober i kontakt med brikkeputene for å utføre elektrisk/funksjonell testing, og separerer gode og defekte brikker. Fase: Wafertesting (CP)
Mål: Primært 200 mm (8 tommer), også egnet for 5/6-tommers wafere
Typiske brikker: Logikk, analog, strømforsyningsenheter, diskrete enheter, MEMS
II. Kjernespesifikasjoner (kort fortalt)
Waferstørrelse: 120/150/200 mm (5–8 tommer)
Posisjoneringsnøyaktighet: ±1,5 μm (XY)
Bevegelseshastighet:
XY: Opptil 300 mm/s
Z: Opptil 30 mm/s
Temperaturområde: -40 ℃ ~ +150 ℃ (valgfri temperaturkontroll)
Fase: Z/θ-plattform med høy stivhet, kompatibel med ultratynne/skårne wafere
Drift: Helautomatisk lasting og lossing, automatisk justering, sondeinspeksjon
III. Hovedfunksjoner
Helautomatisert testprosess
Automatisk waferinnlasting → Bildejustering → Probekontakt → Elektrisk testing → Segmentering og opptak → Automatisk lossing
Kompatibilitet med flere kategorier
Standard logikk, analog, effekt, MOSFET, diode, transistor, MEMS. Alle kan måles. Bredt temperaturområde og spesialtester. Komplette alternativer for testing av lav/høy temperatur, mikrostrøm, høyspenning, osv. Prosessering av ultratynne/skjeve wafere. Baksideadsorpsjon + spesiell håndteringsmekanisme, støtter ultratynne (≤50 μm) og svært skjeve wafere.
IV. Fordeler (Sammenlignet med lignende produkter)
Høyt kostnad-ytelsesforhold: Nesten like presisjons- og plattformmessig som den avanserte UF2000 (samme som MMI), men til en rimeligere pris.
Høy gjennomstrømning: XY høyhastighets + raskt pinbyttekort, egnet for 8-tommers produksjonslinjer med stort volum.
Stabil og pålitelig: Moden ACCRETECH-plattform, lite vedlikehold, lang levetid.
Fleksibel utvidelse: Modulær design, kan legges til senere med temperaturkontroll, høyspenning, mikrostrøm, dobbel beholder, osv.
V. Vanlige sammenligninger (hjelper deg med å raskt finne riktig produkt)
UF200R: Generell 8-tommers masseproduksjon, logikk/strøm/diskret, prioritet for kostnadseffektivitet.
UF190R: Mer kompakt, innstegsnivå, partisk mot diskrete enheter/små partier.
UF2000: Avansert 8-tommers skjerm med høyere presisjon, bredere temperaturkontroll, MEMS/avansert teknologi
Kort sagt: UF200R er den «ledende kostnadseffektive probestasjonen» i markedet for mellomstore 8-tommers testinstrumenter – den tilbyr tilstrekkelig nøyaktighet, høy hastighet, stabilitet, holdbarhet og utvidelsesmuligheter, noe som gjør den egnet for store 8-tommers produksjonslinjer med flere varianter.


