SEMES waferrenser BLUEICE PRIME

SEMES' BLUEICE PRIME er et 300 mm helautomatisk rengjøringssystem for én wafer, designet for avansert prosessteknologi (LPT) logikk og minnebrikkeproduksjon. Utviklet og produsert av SEMES, en kjerneutstyrsleverandør under Samsung Electronics, er det et viktig utstyr for å forbedre masseproduksjonsutbyttet fra banebrytende prosesser som 2nm.

Kjerneytelse: Balansering av avanserte prosesser og kapasitet

Overlegen prosessytelse: Kan fjerne partikler på 19 nm-nivå, noe som forbedrer etsningsuniformiteten betydelig med over 40 %.

Høyeffektiv kapasitetsdesign: Som et 300 mm rengjøringssystem for én wafer håndterer det over 500 wafere i timen (WPH), og oppfyller dermed effektivt kravene til storskala masseproduksjon.

Tekniske funksjoner: Flere uavhengig utviklede innovative design

Innovativ høytemperaturfosforsyreprosess: Kjerneprosessen bruker høytemperaturfosforsyre til waferetsing og -stripping. Presis kontroll av sprøyting og temperatur reduserer effektivt prosessdispersjon og defektrater, noe som forbedrer 2nm-brikkeutbyttet betydelig.

**Uavhengig utviklet høytemperaturchuck:** Denne teknologien forbedrer temperaturjevnheten under waferoppvarming, reduserer prosessfeil betydelig og overvinner begrensningene ved tradisjonelle våtrengjøringsmetoder.

**Omfattende kontamineringskontroll:** NIC-kammeret (Non-Interaction Clean) forhindrer effektivt krysskontaminering, kombinert med SF-Aerosol-teknologi (høyhastighets/uniforme dråper) for fysisk rengjøring.

**Svært integrert intelligent system:** Utstyrt med APAC, AIS (automatisk deteksjonssystem) og SEAS (smart utstyrsanalysesystem), oppnår den presis flytkontroll og intelligent analyse av utstyrsstatus.

**Bruksområder:** Basert hos Samsung, og betjener ledende globale kunder.

BLUEICE PRIME retter seg primært mot ledende globale logikkbrikker og minneprodusenter. Ved å utnytte morselskapet SEMES' status som et datterselskap av Samsung Group, er dette utstyret dypt integrert i Samsungs mest avanserte waferfabrikkproduksjonslinjer. Våtrengjøringsløsningen deres danner et komplett økosystem med annet kjerneutstyr som litografi (OMEGA-serien) og etsning (MICHELAN-serien). Det er verdt å merke seg at SEMES har utvidet forretningsområdet sitt til hele HBM-produksjonsfeltet (High Bandwidth Memory), og har med hell utviklet og masseprodusert en termisk bindingsmaskin (TC Bonder) for HBM-brikkestabling.

Oppsummert demonstrerer BLUEICE PRIME SEMES' store teknologiske styrke innen halvlederutstyr. Det er en avgjørende del av Samsung-gruppens arbeid med å befeste sin posisjon som en global leder innen avanserte prosessteknologier og et nøkkelverktøy som støtter banebrytende produksjon under 2nm.