TEL CELLESTA™ -i MD-waferrenser

TEL CELLESTA™ -i MD er Tokyo Electrons (TEL) flaggskip 300 mm enkeltwafer-rengjøringssystem for 10nm og mer avanserte prosessnoder. Det er spesielt utviklet for å håndtere kjerneprosessutfordringer, som følsomheten til mikromønstrede strukturer for skade under rengjøring og tørking i avanserte prosesser, og er en nøkkelenhet som støtter forbedret utbytte for avanserte brikker.

Kjerneytelse: Teknologianalyse og datastøtte

For å gi en mer intuitiv forståelse, er de viktigste tekniske funksjonene oppsummert nedenfor:

Viktige funksjoner Ytelsesindikatorer og tekniske detaljer

Prosessposisjonering Retter seg mot 10nm og mer avanserte prosessnoder, med spesialisering i ikke-destruktiv rengjøring og partikkelfjerning av mønstrede waferoverflater.

Kjerneteknologier: Rengjøring og tørking Oppnår mønsterfri tørking gjennom kontroll av kammeratmosfæren og optimalisering av IPA-dysenes ytelse (isopropylalkohol); kan bruke kjemiske løsninger som SC-1 og DHF for våtetsing; og kan integrere fysiske rengjøringsfunksjoner som børsting og sprøyting med to væsker.

Høyeffektiv ytelse og modularitet: Konfigurerbar med opptil 20 rengjøringskamre, oppnår en kapasitet på opptil 1000 wafere per time (WPH), og støtter fleksibel utvidelse av avfasingsrengjøringsenheter.

Lavkostnadsdrift: Innebygd kjemisk resirkuleringssystem reduserer driftskostnadene (CoO) betydelig og sparer effektivt svovelsyreforbruket.

Pålitelighet: Transportsystemet har gjennomgått 750 millioner waferhåndteringssykluser med null feilverifisering, noe som sikrer ekstremt høy masseproduksjonsstabilitet.

Bruksområder: Takket være sin ledende teknologi og stabile ytelse er CELLESTA™ -i MD mye brukt i produksjon av avanserte halvlederkomponenter, og spiller en uunnværlig rolle innen følgende områder:

Logikkbrikker: Gir rene waferoverflater for produksjon av høyytelseslogikkbrikker som CPUer, GPUer og AI-prosessorer.

Minnebrikker: Brukes i produksjonen av minnebrikker som DRAM og 3D NAND Flash, og sikrer nøyaktigheten og påliteligheten til minneceller.

Avansert emballasje: Mye brukt i rengjøringstrinnene i avanserte emballasjeprosesser som BSI (bakgrunnsbelyst), 3D-stabling, bakstrømforsynt og SoIC (system-på-brikke).

Bransjeevaluering og markedsposisjon

Som en high-end-modell i CELLESTA-serien representerer -i MD TELs toppnivå innen rengjøring av enkeltskiver. Med sin overlegne rengjøringsytelse og anerkjente høye pålitelighet har denne plattformserien, sammen med SCREEN, en ledende posisjon i det globale markedet for rengjøringsutstyr for halvledere, noe som gjør den til et uunnværlig utstyr som støtter masseproduksjon av banebrytende brikker.