Mașină de marcat cu laser ThinkLaser SigmaDSC Wafer

Poziționarea centrală a ThinkLaser SigmaDSC este cea a unui sistem de marcare laser complet automatizat, de tip „Hard Marking”, special conceput pentru napolitane de 100 mm până la 200 mm (4 până la 8 inci) – care respectă pe deplin standardele pentru camere sterile din Clasa 1 (ISO Clasa 3).

Valoarea sa fundamentală constă în utilizarea tehnologiei laser cu control programabil al adâncimii pentru a crea coduri de identificare permanente și ușor de citit pe napolitane. Aceste coduri sunt proiectate să reziste rigorilor proceselor ulterioare de fabricație de mare intensitate - cum ar fi subțierea spatelui, tratamentele la temperaturi înalte și curățarea chimică - asigurând astfel o trasabilitate strictă a produsului pe tot parcursul ciclului său de viață.

**Principii de bază**

Nucleul tehnologic al SigmaDSC se învârte în jurul „Marcării dure”:

**Marcare termică cu matrice de puncte:** Această tehnică utilizează un fascicul laser focalizat, cu densitate energetică ridicată, direcționat către locații specifice de pe suprafața plachetei. Aceasta face ca materialul să se topească sau să se vaporizeze instantaneu și local, formând adâncituri fizice (gropituri) cu o adâncime specifică (până la 110 microni).

**Stabilitate extremă a impulsurilor:** Cheia obținerii unui marcaj dur și uniform constă în stabilitatea excepțională impuls-impuls a sursei laser. Laserul în stare solidă, pompat cu diodă și patentat de ThinkLaser, controlează stabilitatea impulsurilor la un nivel de <0,5% la o frecvență de 1 kHz. Acest lucru asigură un grad ridicat de consecvență în ceea ce privește adâncimea și circularitatea fiecărui punct, servind drept piatră de temelie pentru garantarea unui raport de aspect (raportul dintre axa majoră și cea minoră) de <1,1 și asigurarea unei lizibilități superioare.

**Optică cu două puncte™:** O caracteristică esențială de design care oferă flexibilitate sporită, această tehnologie permite utilizatorilor să comute între două dimensiuni distincte ale spotului - de la 50 µm la 110 µm - prin intermediul controlului software în cadrul aceluiași sistem, adaptându-se astfel la o varietate de materiale de marcare și cerințe de aplicație.

**Avantaje și specificații principale**

SigmaDSC este proiectat să gestioneze o gamă largă de materiale de substrat (inclusiv siliciu, carbură de siliciu, arseniură de galiu, nitrură de galiu, sticlă, ceramică etc.) și să reziste mediilor solicitante ale fabricării semiconductorilor. Parametrii săi principali de performanță sunt clar definiți:

**Categorie de caracteristici** | **Descriere detaliată / Specificații specifice**

**Capacitate de marcare fermă** | **Control programabil al adâncimii:** Ajustează automat adâncimea de marcare, ajungând până la 110 µm.

**Precizie adâncime:** ±10%.

**Debit:** Până la 250 de napolitane pe oră. Precizie și compatibilitate | Compatibilitate și proces: Compatibil cu napolitane de 100 mm până la 200 mm, precum și cu panouri de 300 mm/310 mm.

Precizia marcajului: Într-o zonă de 50x50 mm după alinierea plachetei, repetabilitatea este de ±0,125 mm.

Aplicabilitate largă: Potrivit pentru o gamă largă de materiale, inclusiv siliciu (Si), carbură de siliciu (SiC), arseniură de galiu (GaAs), nitrură de galiu (GaN) și altele.

Automatizare și comunicare | Funcționare complet automatizată: Minimizează intervenția manuală și permite manipularea casetelor deschise.

Interfață de automatizare a fabricii: Acceptă protocoalele SECS II/GEM pentru o integrare perfectă în sistemele MES ale fabricii.

Monitorizare completă a sistemului: Înregistrează cu precizie toate datele privind performanța laserului până la nivelul SPC (control statistic al procesului).

Specificații hardware | Tip laser: Laser în stare solidă pompat cu diodă Nd:YLF.

Lungime de undă laser: 1053 nm.

Locația marcajului: În interiorul unei benzi inelare de 25 mm de la marginea plachetei, permițând plasarea mai multor grupuri de marcaje în orice orientare.

Sistem de operare: Windows 7 Pro SP1 (32 biți).

Standarde industriale | Standarde SEMI: Complet conforme cu standardele SEMI, acceptând specificații de marcare precum T7, M12 și M13.

Certificări internaționale: Respectă standardele de siguranță și mediu, inclusiv CE, SEMI S2, S8 și S14.

Funcții și aplicații cheie

SigmaDSC este utilizat în principal în mediile de fabricație a semiconductorilor, unde menținerea unei trasabilități ridicate pe parcursul întregului ciclu de viață al produsului este esențială:

Fabricarea de plachete semiconductoare frontale: Imediat la intrarea în camera curată, pe plachetă este înscris un cod de identificare unic și permanent - un cod de identificare conceput pentru a rezista rigorilor tuturor etapelor ulterioare de procesare (cum ar fi subțierea părții posterioare). Acesta servește drept linie de salvare pentru trasabilitatea calității și datele de control statistic al procesului (SPC) pe întregul flux de lucru de producție - acoperind fabricarea de plachete de siliciu, turnătorii și producătorii de dispozitive integrate (IDM).

Ambalare avansată: Oferă marcaje de identificare fiabile pentru napolitane sau panouri reconstituite în cadrul proceselor de ambalare la nivel de napolitană tip Fan-out (Fan-out WLP).

**Comparație între echipamente și linii de produse complementare**

SigmaDSC constituie o componentă esențială în cadrul soluției complete de identificare a plachetelor ThinkLaser. Sistemul SigmaClean pe care l-ați menționat servește ca o completare distinctă a acesteia:

**Funcție** | **SigmaDSC (Marcare puternică)** | **SigmaClean (Marcare fină)**

**Proces de bază** | Marcare fixă ​​| Marcare ușoară

**Avantaje cheie** | Marcajele au profunzime fizică; sunt capabile să reziste celor mai riguroase etape de post-procesare, cum ar fi șlefuirea mecanică. | Fără reziduuri, cu curățenie ultra-înaltă; îndeplinește cele mai stricte cerințe pentru camere sterile.

**Scenarii tipice de aplicare** | Utilizat pentru napolitane care sunt supuse unor procese „dificile” - cum ar fi subțierea spatelui - pentru a asigura trasabilitatea permanentă. | Utilizat în mediile de fabricație a napolitanelor frontale, unde zero deteriorări ale suprafeței și curățenie extrem de ridicată sunt primordiale.

**Rezumat**

ThinkLaser SigmaDSC este un sistem de marcare laser complet automatizat, dedicat asigurării unei „marcaje dure” ultra-durabile pentru napolitane de 200 mm. Principalele sale avantaje tehnologice constau în controlul programabil al adâncimii, tehnologia Dual-Spot Optics™ și interfața SECS/GEM pentru automatizare completă. Utilizând un sistem laser stabil, un control în buclă închisă și funcții avansate de automatizare, acesta asigură o uniformitate excepțională a adâncimii marcajului și o circularitate pe o varietate de materiale substrat. În loc să efectueze sarcini de curățare sau asamblare, acesta îndeplinește funcția critică de a oferi autentificare globală a identității pentru napolitane.