Очиститель вафель SEMES BLUEICE PRIME

Система SEMES BLUEICE PRIME — это полностью автоматизированная система очистки отдельных пластин диаметром 300 мм, разработанная для производства логических микросхем и микросхем памяти по передовым технологическим процессам (LPT). Разработанная и произведенная компанией SEMES, основным поставщиком оборудования в составе Samsung Electronics, она является ключевым элементом оборудования для повышения выхода годной продукции в серийном производстве по передовым технологическим процессам, таким как 2-нм техпроцесс.

Ключевые показатели эффективности: баланс между передовыми процессами и производственными мощностями.

Превосходные технологические характеристики: способность удалять частицы размером до 19 нм, что значительно улучшает равномерность травления более чем на 40%.

Высокоэффективная конструкция: Эта система очистки однопластинчатых чипов диаметром 300 мм обрабатывает более 500 пластин в час, эффективно удовлетворяя потребности крупномасштабного массового производства.

Технические характеристики: Множество независимо разработанных инновационных конструкций.

Инновационный высокотемпературный процесс обработки фосфорной кислотой: в основе процесса лежит использование высокотемпературной фосфорной кислоты для травления и удаления покрытия с кремниевых пластин. Точный контроль распыления и температуры эффективно снижает дисперсию процесса и количество дефектов, значительно повышая выход годных изделий для 2-нм чипов.

**Разработанный нами высокотемпературный зажим:** Эта технология улучшает равномерность температуры во время нагрева пластин, значительно снижает количество дефектов в процессе производства и преодолевает ограничения традиционных методов влажной очистки.

**Комплексный контроль загрязнения:** Камера NIC (Non-Interaction Clean) эффективно предотвращает перекрестное загрязнение в сочетании с технологией SF-Aerosol (высокоскоростное/равномерное распыление капель) для физической очистки.

**Высокоинтегрированная интеллектуальная система:** Оснащенная системами APAC, AIS (автоматическая система обнаружения) и SEAS (интеллектуальная система анализа оборудования), она обеспечивает точное управление потоком и интеллектуальный анализ состояния оборудования.

**Области применения:** Компания Samsung, обслуживающая ведущих мировых клиентов.

BLUEICE PRIME ориентирована в первую очередь на ведущих мировых производителей логических микросхем и памяти. Используя статус материнской компании SEMES как дочерней компании Samsung Group, это оборудование глубоко интегрировано в самые передовые производственные линии Samsung по изготовлению кремниевых пластин. Решение для влажной очистки образует полную экосистему с другим основным оборудованием для обработки на начальном этапе, таким как литография (серия OMEGA) и травление (серия MICHELAN). Стоит отметить, что SEMES расширила сферу своей деятельности на всю область производства HBM (высокоскоростной памяти), успешно разработав и запустив в серийное производство термосварочный аппарат (TC Bonder) для многослойной сборки HBM-чипов.

В заключение, BLUEICE PRIME демонстрирует значительный технологический потенциал SEMES в области оборудования для производства полупроводников. Это важная часть усилий Samsung Group по укреплению своих позиций в качестве мирового лидера в области передовых технологических процессов и ключевой инструмент, поддерживающий передовое производство с размером элементов менее 2 нм.