Čistič doštičiek SEMES BLUEICE PRIME

SEMES' BLUEICE PRIME je 300 mm plne automatizovaný systém čistenia jednotlivých doštičiek určený na výrobu logiky a pamäťových čipov s pokročilou procesnou technológiou (LPT). Vyvinutý a vyrobený spoločnosťou SEMES, hlavným dodávateľom zariadení v rámci spoločnosti Samsung Electronics, je kľúčovým zariadením na zlepšenie výťažnosti hromadnej výroby špičkových procesov, ako je 2nm.

Základný výkon: Vyváženie pokročilých procesov a kapacity

Vynikajúci výkon procesu: Dokáže odstraňovať častice na úrovni 19 nm, čo výrazne zlepšuje rovnomernosť leptania o viac ako 40 %.

Vysokoúčinná konštrukcia s kapacitou: Ako 300 mm systém čistenia jednotlivých doštičiek spracováva viac ako 500 doštičiek za hodinu (WPH), čím efektívne spĺňa požiadavky veľkovýroby.

Technické vlastnosti: Viaceré nezávisle vyvinuté inovatívne dizajny

Inovatívny proces s kyselinou fosforečnou pri vysokých teplotách: Jeho základný proces využíva kyselinu fosforečnú pri vysokých teplotách na leptanie a odstraňovanie vrstiev doštičiek. Presná kontrola striekania a teploty účinne znižuje rozptyl procesu a mieru chybovosti, čím výrazne zlepšuje výťažnosť 2nm čipov.

**Nezávisle vyvinutý vysokoteplotný upínač:** Táto technológia zlepšuje rovnomernosť teploty počas ohrevu doštičiek, výrazne znižuje procesné chyby a prekonáva obmedzenia tradičných metód mokrého čistenia.

**Komplexná kontrola kontaminácie:** Komora NIC (Non-Interaction Clean) účinne zabraňuje krížovej kontaminácii v kombinácii s technológiou SF-Aerosól (vysokorýchlostné/jednotné kvapky) pre fyzické čistenie.

**Vysoko integrovaný inteligentný systém:** Vďaka systémom APAC, AIS (automatický detekčný systém) a SEAS (inteligentný systém analýzy zariadení) dosahuje presné riadenie prietoku a inteligentnú analýzu stavu zariadení.

**Oblasti použitia:** Pôsobí v spoločnosti Samsung a slúži popredným globálnym klientom.

Spoločnosť BLUEICE PRIME sa primárne zameriava na popredné svetové zlievarne logických čipov a výrobcov pamätí. Vďaka postaveniu svojej materskej spoločnosti SEMES ako dcérskej spoločnosti skupiny Samsung je toto zariadenie hlboko integrované do najmodernejších výrobných liniek spoločnosti Samsung na výrobu doštičiek. Jeho riešenie mokrého čistenia tvorí kompletný ekosystém s ďalšími kľúčovými zariadeniami, ako je litografia (séria OMEGA) a leptanie (séria MICHELAN). Za zmienku stojí, že spoločnosť SEMES rozšírila svoje obchodné zameranie na celú oblasť výroby HBM (High Bandwidth Memory) a úspešne vyvinula a sériovo vyrába stroj na tepelné spájanie (TC Bonder) na stohovanie čipov HBM.

Stručne povedané, BLUEICE PRIME demonštruje výraznú technologickú silu spoločnosti SEMES v oblasti polovodičových zariadení. Je kľúčovou súčasťou úsilia skupiny Samsung upevniť si pozíciu globálneho lídra v oblasti pokročilých procesných technológií a kľúčového nástroja podporujúceho špičkovú výrobu pod 2 nm.