ThinkLaser SigmaClean је потпуно аутоматизовани систем за ласерско обележавање „меког обележавања“ дизајниран посебно за плочице од 100 мм до 200 мм, у потпуности усклађен са стандардима чистих просторија класе 1. Његова основна мисија је да искористи патентирану ласерску технологију како би полупроводничке плочице добиле ефикасне, издржљиве и лако читљиве ознаке – без стварања контаминације честицама – чиме се омогућава аутоматизована праћење током целог животног циклуса плочице.
**Технички принципи**
Главне предности компаније SigmaClean леже у њеној технологији чистоће контролисаног извора и стабилном, прецизно пројектованом дизајну хардвера.
**Патентирана SuperSoftMark® технологија:** Ово је кључна карактеристика која издваја SigmaClean од друге опреме. Прецизном контролом ласерске енергије, постиже се заиста обележавање „без отпадака“. Ова карактеристика у основи елиминише ризик од контаминације честицама, омогућавајући безбедну употребу система у производним окружењима на почетку производне линије (FEOL) где су захтеви за чистоћом изузетно строги.
**Веома стабилан диодно пумпани чврсти ласер:** Систем користи патентирани диодно пумпани чврсти ласер који карактерише изузетна стабилност од импулса до импулса. Ово обезбеђује висок степен конзистентности у дубини и заобљености сваке означене тачке, чиме се гарантује стабилност и поновљивост квалитета обележавања.
**Робустни оптички и аутоматизациони системи:** Читава машина има потпуно аутоматизован дизајн, подржава SECS II/GEM протоколе за комуникацију фабричке аутоматизације и беспрекорно се интегрише са главним аутоматизованим системима за руковање плочицама, као што су SMIF (Стандардни механички интерфејс) плочице.
**Основне предности и карактеристике**
Предности SigmaClean-а протежу се даље од његових напредних могућности обележавања до опипљиве вредности коју пружа постројењима за производњу плочица.
**Ненадмашна чистоћа:** У складу са захтевима компатибилности са чистим просторијама класе 1 (међународни стандард ISO класа 3), што га чини преферираним избором за постројења за производњу плочица (Front-End) са изузетно захтевним стандардима чистог окружења.
**Висок проток и исплативост:** Овај систем користи процес меког обележавања – посебно развијен за обележавање полираних плочица у чистим просторијама и сада индустријски стандард – како би обезбедио веома исплативо решење.
**Константан квалитет обележавања и следљивост:** Изузетна стабилност импулса ласера је кључ за постизање једнолике дубине и заобљености тачке, што је кључни фактор за повећање стопе препознавања наредних система машинског вида (оптичко препознавање знакова, OCR). Истовремено, систем ствара трајне, читљиве ознаке, обезбеђујући следљивост у свакој фази производње.
Велика флексибилност примене: Вишеструке групе ознака могу се поставити у било којој оријентацији на површини плочице, при чему су локације за означавање ограничене на прстенасту зону унутар 25 мм од ивице плочице.
Спецификације и рад/одржавање
Категорија спецификације | Детаљни параметри и опис
Класификација опреме | Потпуно аутоматски, компатибилан са чистим просторијама по ISO 3 / класи 1, систем за меко обележавање плочицама од 100–200 mm
Величина плочице | Стандардна подршка за 100 mm – 200 mm (4–8 inča)
Тип ласера | Sigma100 IR диодно пумпани чврсти ласер
Технологија обележавања | Патентирани SuperSoftMark® (меко обележавање без остатака)
Локација обележавања | Било која оријентација унутар прстенасте зоне од 25 mm на ивици плочице
Комуникациони интерфејс | SECS II/GEM, полустандардни хост интерфејс
Транспорт/Касета | 3 отворене станице за касете; Опциони SMIF Pod адаптер од 200 mm
Опционе функције | OCR/читање бар кодова и поновно обележавање
Софтверски систем | Кориснички интерфејс базиран на Windows®-у
Усклађеност и сертификација | У складу са SEMI S2/S8, CE и другим стандардима
Напајање и напајање ваздухом | Стандардно индустријско једнофазно напајање од 220V и чист компримовани ваздух
SigmaClean је такође дизајниран имајући у виду лакоћу одржавања:
**Једноставност одржавања:** Дизајн система омогућава једноставно свакодневно одржавање; рутинске провере – као што је чишћење сочива – могу се обавити за приближно 5 минута. Штавише, опрема има аутоматизоване могућности дневне самодијагностике и пружа јасне смернице за протокол одржавања у случају квара, чиме се олакшава планирано одржавање које покреће корисник.
**Безбедност и чистоћа:** Целокупан дизајн машине је у складу са међународним безбедносним стандардима (нпр. SEMI S2/S8, CE, итд.) и опремљен је интегрисаним системом за усисавање прашине, што додатно обезбеђује безбедност и хигијену производног окружења.
**Кључне функције и сценарији примене**
**Производња плочица на почетку производње:** Погодно за плочице направљене од материјала као што су силицијум, SiC и GaAs, величине од 100 mm до 200 mm. Гравирањем јединственог идентификатора током почетних фаза производње, систем омогућава праћење квалитета од почетка до краја и статистичку контролу процеса (SPC).
**Напредно паковање:** Пружа критичне идентификационе бројеве праћења у оквиру процеса паковања на нивоу плочице (WLP) или реконституисаних плочица.
**Истраживање и развој и производња малих серија:** Његов флексибилан, аутоматизован дизајн чини га идеалним за окружења за истраживање и развој и пилот производњу која карактерише производња са великим бројем различитих производа и малим количинама.
**Резиме и поређење**
Укратко, ThinkLaser SigmaClean је опрема која постиже водеће стандарде у индустрији у погледу чистоће, стабилности и аутоматизације. Коришћењем своје патентиране SuperSoftMark® технологије, ефикасно решава основну болну тачку – контаминацију честицама – која се често повезује са традиционалним методама обележавања, чиме се успоставља као референтна тачка у области „меког обележавања“ за плочице од 4 до 8 инча. Да бисте стекли интуитивније разумевање његовог позиционирања у оквиру производне линије, погледајте следеће поређење са SC300 – још једним уређајем за меко обележавање:
**Карактеристика** | **SigmaClean** | **SC300**
**Примарно позиционирање** | Потпуно аутоматизовани систем за меко обележавање плочица од 100–200 мм (4–8 инча) | Потпуно аутоматизовани систем за меко обележавање плочица од 300 мм (12 инча)
**Примена на тржишту** | Намењено фабрикама полупроводничких плочица и постројењима за паковање које рукују плочицама од 8 инча и мањим; служи као водеће решење у овом сегменту тржишта | Широко усвојено од стране свих произвођача интегрисаних уређаја (IDM) од 300 мм и ливница плочица
**Техничке карактеристике** | Компатибилно са чистим просторијама класе 1; користи патентирану SuperSoftMark® технологију за постизање обележавања без остатака | Такође користи технологију меког обележавања, пружајући неопходну компатибилност, чистоћу, квалитет обележавања и поузданост потребне за масовну производњу од 300 мм
**Транспортни систем** | Типично конфигурисан са 3 отворене касетне станице; SMIF подови доступни као опција | Типично компатибилан са обједињеним подовима који се отварају предњим делом (FOUP); подржава OHT (Overhead Hoist Transport) системе
**Статус индустрије** | Водеће решење у индустрији за меко обележавање плочица од 4–8 инча | Индустријски стандард за меко обележавање у фабрикама плочица од 300 мм, са огромном инсталираном базом (преко 140 јединица)



