Kisafishaji cha wafer cha SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME ya SEMES ni mfumo wa kusafisha wafer moja wa 300mm unaojiendesha kikamilifu ulioundwa kwa ajili ya utengenezaji wa teknolojia ya juu ya mchakato (LPT) na chips za kumbukumbu. Imetengenezwa na kutengenezwa na SEMES, muuzaji mkuu wa vifaa chini ya Samsung Electronics, ni kifaa muhimu cha kuboresha uzalishaji wa wingi wa michakato ya kisasa kama vile 2nm.

Utendaji Mkuu: Kusawazisha Michakato ya Juu na Uwezo

Utendaji Bora wa Mchakato: Inaweza kuondoa chembe katika kiwango cha 19nm, ikiboresha kwa kiasi kikubwa usawa wa kung'oa kwa zaidi ya 40%.

Ubunifu wa Uwezo wa Ufanisi wa Juu: Kama mfumo wa kusafisha wafer moja wa 300mm, hushughulikia zaidi ya wafer 500 kwa saa (WPH), na kukidhi mahitaji ya uzalishaji mkubwa wa wingi.

Vipengele vya Kiufundi: Miundo Bunifu Mingi Iliyotengenezwa kwa Kujitegemea

Mchakato Bunifu wa Asidi ya Fosforasi ya Joto la Juu: Mchakato wake mkuu hutumia asidi ya fosforasi ya joto la juu kwa ajili ya kung'oa na kuondoa wafer. Udhibiti sahihi wa kunyunyizia na halijoto hupunguza kwa ufanisi utawanyiko wa mchakato na viwango vya kasoro, na kuboresha kwa kiasi kikubwa mavuno ya chip ya 2nm.

**Chuck ya Joto la Juu Iliyotengenezwa kwa Ubinafsi:** Teknolojia hii inaboresha usawa wa halijoto wakati wa kupasha joto kwa wafer, hupunguza kwa kiasi kikubwa kasoro za mchakato, na inashinda mapungufu ya njia za jadi za kusafisha kwa maji.

**Udhibiti Kamili wa Uchafuzi:** Chumba cha NIC (Usafi Usiohusisha Maingiliano) huzuia uchafuzi mtambuka kwa ufanisi, pamoja na teknolojia ya SF-Aerosol (droplet ya kasi ya juu/sawa) kwa ajili ya usafi wa kimwili.

**Mfumo wa Akili Uliounganishwa Sana:** Ukiwa na APAC, AIS (Mfumo wa Kugundua Kiotomatiki), na SEAS (Mfumo wa Uchambuzi wa Vifaa Mahiri), unafanikisha udhibiti sahihi wa mtiririko na uchambuzi wa hali ya vifaa kwa busara.

**Maeneo ya Matumizi:** Inapatikana Samsung, ikihudumia wateja bora wa kimataifa.

BLUEICE PRIME inalenga hasa viwanda vikuu vya kimataifa vya kutengeneza chip za mantiki na watengenezaji wa kumbukumbu. Kwa kutumia hadhi ya kampuni yake mama SEMES kama kampuni tanzu ya Samsung Group, kifaa hiki kimeunganishwa kwa undani katika mistari ya uzalishaji wa wafer fab ya hali ya juu zaidi ya Samsung. Suluhisho lake la kusafisha kwa mvua huunda mfumo ikolojia kamili na vifaa vingine vya msingi vya mbele kama vile lithography (mfululizo wa OMEGA) na etching (mfululizo wa MICHELAN). Inafaa kuzingatia kwamba SEMES imepanua wigo wake wa biashara hadi uwanja mzima wa utengenezaji wa HBM (High Bandwidth Memory), ikifanikiwa kutengeneza na kutengeneza kwa wingi mashine ya kuunganisha joto (TC Bonder) kwa ajili ya kuweka chip za HBM.

Kwa muhtasari, BLUEICE PRIME inaonyesha nguvu kubwa ya kiteknolojia ya SEMES katika uwanja wa vifaa vya nusu-semiconductor. Ni sehemu muhimu ya juhudi za Samsung Group kuimarisha nafasi yake kama kiongozi wa kimataifa katika teknolojia za michakato ya hali ya juu na zana muhimu inayounga mkono utengenezaji wa kisasa chini ya 2nm.