ACCRETECH UF200R är en helautomatiserad, kostnadseffektiv halvledarprob från ACCRETECH (Japan) för 120–200 mm (5–8 tum) wafers. Den används för elektrisk testning (CP-testning) av chips på wafernivå före uppdelning.
Vad gör den?
Enkelt uttryckt: Innan wafern delas upp i individuella chip, kommer sonder i kontakt med chipplattorna för att utföra elektrisk/funktionell testning, där man separerar bra och defekta chip. Steg: Wafertestning (CP)
Mål: Primärt 200 mm (8 tum), även lämplig för 5/6-tums wafers
Typiska kretsar: Logik, analog, kraftkomponenter, diskreta komponenter, MEMS
II. Kärnspecifikationer (i korthet)
Waferstorlek: 120/150/200 mm (5–8 tum)
Positioneringsnoggrannhet: ±1,5 μm (XY)
Rörelsehastighet:
XY: Upp till 300 mm/s
Z: Upp till 30 mm/s
Temperaturområde: -40 ℃ ~ +150 ℃ (valfri temperaturkontroll)
Steg: Z/θ-plattform med hög styvhet, kompatibel med ultratunna/skevade wafers
Drift: Helautomatisk lastning och lossning, automatisk uppriktning, probinspektion
III. Huvudfunktioner
Helautomatiserad testprocess
Automatisk waferladdning → Bildjustering → Probkontakt → Elektrisk testning → Segmentering och inspelning → Automatisk urladdning
Kompatibilitet med flera kategorier
Standardlogik, analog, effekt, MOSFET, diod, transistor, MEMS. Alla kan mätas. Brett temperaturområde och specialtester. Kompletta alternativ för låg/hög temperatur, mikroström, högspänningstestning etc. Bearbetning av ultratunna/böjda wafers. Baksidesadsorption + speciell hanteringsmekanism, stöd för ultratunna (≤50 μm) och mycket böjda wafers.
IV. Fördelar (jämfört med liknande produkter)
Högt kostnads-prestandaförhållande: Nära precisionen och plattformen hos den avancerade UF2000 (samma som MMI), men till ett mer överkomligt pris.
Hög genomströmning: XY höghastighets- + snabbt pinbyteskort, lämpligt för 8-tums produktionslinjer med hög volym.
Stabil och pålitlig: Mogen ACCRETECH-plattform, lågt underhåll, lång livslängd.
Flexibel expansion: Modulär design, kan läggas till senare med temperaturkontroll, högspänning, mikroström, dubbelbehållare etc.
V. Vanliga jämförelser (hjälper dig att snabbt hitta rätt produkt)
UF200R: Allmän 8-tums massproduktion, logik/kraft/diskret, prioritet för kostnadseffektivitet.
UF190R: Mer kompakt, instegsmodell, inriktad på diskreta enheter/små batcher.
UF2000: Avancerad 8-tumsskärm, högre precision, bredare temperaturkontroll, MEMS/avancerad teknik
Kort sagt: UF200R är den "mekaniska och kostnadseffektiva probstationen" på marknaden för mellanstora 8-tums test – den erbjuder tillräcklig noggrannhet, hög hastighet, stabilitet, hållbarhet och utbyggningsmöjligheter, vilket gör den lämplig för högvolyms- och mångsidiga 8-tums produktionslinjer.


